���] ���M(j��n)�ͳɱ��t(y��)�����g(sh��)

ǰ�Ե�1�� �wՓ1.1 ��(d��o)��1.2 �t(y��)���l(w��i)���wϵ�İl(f��)չ�ظ�1.3 ����������t(y��)���l(w��i)���F(xi��n)���1.4 �Ї����t(y��)���l(w��i)���F(xi��n)��1.5 �ͳɱ��t(y��)�����g(sh��)�����1.6 �ͳɱ��t(y��)���b�似�g(sh��)�İl(f��)չ��(zh��n)��1.7 ������(n��i)�ݺͿ�܅����īI(xi��n)��2�� �ͳɱ���΢ȫ�t(y��)Ժϵ�y(t��ng)�b�似�g(sh��)2.1 ��(d��o)��2.2 ΢ȫ�t(y��)Ժϵ�y(t��ng)��������2.3 ΢ȫ�t(y��)Ժϵ�y(t��ng)�ă�(n��i)�������x2.3.1 �����t(y��)Ժ�����c2.3.2 �l(f��)չ΢ȫ�t(y��)Ժϵ�y(t��ng)����Ҫ���x2.4 ΢ȫ�t(y��)Ժϵ�y(t��ng)����ģʽ2.5 ���F(xi��n)΢ȫ�t(y��)Ժϵ�y(t��ng)�b��ĵ��ͼ��g(sh��);��2.5.1 ���ܙz���c�O(ji��n)�y�O(sh��)���΢�ͻ���ȫ�漯�ɻ�2.5.2 �t(y��)�W(xu��)Ӱ���O(sh��)���ȫ��΢�ͻ�2.5.3 ΢��(chu��ng)���ί����g(sh��)�c�O(sh��)��2.5.4 ΢��(chu��ng)�\�༼�g(sh��)�c�x��2.6 С�Y(ji��)�����īI(xi��n)��3�� �F(xi��n)����ͥ�t(y��)��ϵ�y(t��ng)�����b�似�g(sh��)3.1 ��(d��o)��3.2 ��ͥ�t(y��)�W(xu��)����Դ�c�F(xi��n)��3.3 ��һ����ͥ�t(y��)��ϵ�y(t��ng)��(g��u)��3.4 ���Ùz�y�x����΢��(chu��ng)��3.5 ���ñO(ji��n)�y�x���ļ��ɻ�3.6 �����t(y��)�W(xu��)Ӱ���O(sh��)���΢�ͻ�3.7 �����ί��x�������ܻ�3.8 �����\��ܛӲ�����_�l(f��)3.9 �{(l��n)��ͨ�ŷ�ʽ�IJ���3.10 ��ͥ�t(y��)Ժ�b��ϵ�y(t��ng)�ijɱ������Ͱl(f��)չ����3.11 С�Y(ji��)�����īI(xi��n)��4�� ��PC���W(w��ng)�j(lu��)���d�w�ĵͳɱ������z�yDIY���g(sh��)4.1 ��(d��o)��4.2 �ͳɱ������z�yDIY���g(sh��)�����4.3 ��Ӌ��C(j��)���W(w��ng)�j(lu��)���d�w�ĵͳɱ������z�yDIY���g(sh��)����4.4 DIY�z�y�h(hu��n)��(ji��)��(sh��)��(j��)�ɼ��K�˵ĵͳɱ������}4.5 �����z�yDIY��Ӌ��C(j��)Ӳ����ܛ�����O(sh��)��Ҫ��4.6 �W(w��ng)�j(lu��)��ݔ���}4.7 �F(xi��n)�м��g(sh��)�cDIY�Y(ji��)�Ϸ���4.8 ����PC�ĵͳɱ������텢��(sh��)���rDIY�ɼ�����4.9 �ͳɱ��@ȡ���w���텢��(sh��)���º��u������4.10 ���w������ϢDIY�z�y���h(yu��n)���{(di��o)��Ӳ�����wģʽ4.11 ǰ���cչ��4.12 С�Y(ji��)�����īI(xi��n)��5�� �����֙C(j��)�ĵͳɱ��\�����g(sh��)5.1 ��(d��o)��5.2 �֙C(j��)�����t(y��)�W(xu��)���̵��d��5.3 �֙C(j��)�����t(y��)�W(xu��)���̌W(xu��)����(n��i)���аl(f��)�B(t��i)��5.4 �֙C(j��)�t(y��)���Ļ�������5.5 �������텢��(sh��)���֙C(j��)�O(ji��n)�y���g(sh��)5.5.1 �y���֙C(j��)5.5.2 �֙C(j��)��늱O(ji��n)�y���g(sh��)5.5.3 �����֙C(j��)�O(ji��n)�y���g(sh��)5.5.4 ��Ѫ���֙C(j��)�O(ji��n)�y���g(sh��)5.5.5 Һ���Ӆ���(sh��)���֙C(j��)�y�����g(sh��)5.6 �֙C(j��)�����t(y��)�W(xu��)�D���g(sh��)5.6.1 �֙C(j��)�t(y��)�W(xu��)Ӱ���g(sh��)�W(xu��)�Ƶ��d��5.6.2 ���y(t��ng)�����t(y��)�W(xu��)Ӱ���g(sh��)�IJ��㼰�֙C(j��)�t(y��)�W(xu��)Ӱ��Ī�����5.6.3 �֙C(j��)ֱ�ӫ@ȡ��W(xu��)�D���g(sh��)5.6.4 �֙C(j��)��W(xu��)�����g(sh��)�İl(f��)չǰ��5.6.5 �֙C(j��)ֱ�ӹ��ܳ����g(sh��)5.6.6 �֙C(j��)���܈D���g(sh��)�l(f��)չǰ��5.6.7 �֙C(j��)�o���D��@ȡ���g(sh��)5.6.8 �֙C(j��)�����t(y��)�W(xu��)�D���g(sh��)�l(f��)չ·���D5.7 ����•�W(xu��)��̖���֙C(j��)�����O(ji��n)�y���g(sh��)5.7.1 ���ðl(f��)•�\�༲��5.7.2 ˯���ϵK�ķǽ��|ʽ�֙C(j��)�O(ji��n)�y����5.7.3  �\���֙C(j��)5.8 ��ģʽ�֙C(j��)�O(ji��n)�y���g(sh��)5.9 �h(hu��n)���֙C(j��)�O(ji��n)�y�c������ʾ���g(sh��)5.10 �߂��ض��t(y��)�����ܵ��֙C(j��)���g(sh��)5.10.1 ���ڽ����������֙C(j��)���ģ�K5.10.2 �I�B(y��ng)��ۙ�֙C(j��)5.10.3 ���w�\�ӻ���Ȼ��B(t��i)���֙C(j��)�O(ji��n)�y���g(sh��)5.11 С�Y(ji��)�����īI(xi��n)��6�� �ͳɱ����ɴ���ʽ�ί����g(sh��)6.1 ��(d��o)��6.2 ���Բ��ί��B(t��i)�ݼ��ɴ����ί����g(sh��)���d��6.3 �O(sh��)��Ŀɴ���ʽ�O(sh��)Ӌ6.4 �ɴ���ʽ�z�yϵ�y(t��ng)�l(f��)չ�śr6.5 �����ڿɴ���ʽ�ί�ϵ�y(t��ng)���ί��C(j��)��6.5.1 늯�6.5.2 �ů�6.5.3 ��•����6.5.4 ͸Ƥ�oˎ6.6 ���Ϳɴ���ʽ�ί�ϵ�y(t��ng)6.6.1 ����ʽ���l���ʹ�ί��x6.6.2 •�������w��(n��i)���ط�����6.6.3 ����Bio-MEMS������ʽѪ�ǿ��ƃx6.6.4 �ɴ��������6.6.5 �ɴ������L(f��ng)����(f��)��6.6.6 ������ϵ�y(t��ng)С�������C��ѥ6.6.7 �ɴ���ʽ�|�������ί�6.6.8 �ɴ���ʽ��׃늈��ί��X��6.6.9 ���`��Һ�w�����������x6.6.10 ����ɭ��̼�ҕ�X��ʾ���R6.7 �C(j��)���c����(zh��n)6.8 С�Y(ji��)�����īI(xi��n)��7�� �����t(y��)���b��ĵͳɱ��l(f��)չ����7.1 ��(d��o)��7.2 �����t(y��)���b�����ԃr���}7.3 ���g(sh��)��Q�ĵͳɱ�������7.4 ͻ��ԭ���ĵͳɱ�������7.4.1 �ɵͳɱ����ij����g(sh��)7.4.2 �ί��O(sh��)��ľGɫ���ͳɱ�׃��7.5 ģʽ��(chu��ng)�µĵͳɱ�������7.5.1 �����b��ĽM����7.5.2 �M�����ܵČ��I(y��)��7.6 С�Y(ji��)�����īI(xi��n)��8�� �[���ί����ͳɱ����ļ��g(sh��)����8.1 ��(d��o)��8.2 �[���l(f��)չ�B(t��i)�ݼ��ί��F(xi��n)��8.3 ͻ�Ƴ�Ҏ(gu��)�[���ί��������O(sh��)����O(sh��)Ӌ����8.4 �[�����ڼ��g(sh��)����������˼·8.4.1 ���y(t��ng)�[���ί�ģʽ�c�������ڼ��g(sh��)�ijɱ�����8.4.2 ���ڼ��g(sh��)����������8.4.3 �ߏ�(qi��ng)�Ȱ���ữ�W(xu��)���������8.5 ������A�кͷ���(y��ng)�ĸߏ�(qi��ng)���[����������ڷ�8.5.1 ����ԭ��8.5.2 ��A�к�ጟᷴ��(y��ng)�ᯟԭ���Ԍ��8.5.3 ��A�кͷ���(y��ng)�����ڷ����İl(f��)չ�B(t��i)��8.6 ���оֲ��ߏ�(qi��ng)��ጟ�Ч��(y��ng)�ĉA���ٟ����ڷ���8.6.1 �A���ٟ�����ԭ��8.6.2 �A���ٟ����ڷ��������Ե��͌�򞡭����9�� �t(y��)�W(xu��)Ӱ���\��ĵͳɱ����ԡ������h(yu��n)�t�������g(sh��)������10�� ���ͽK���t(y��)���a(ch��n)Ʒ�аl(f��)�c����ɱ���Ӌ��C(j��)���ɼ��g(sh��)�wϵ�����īI(xi��n)