���] ģ�����켼�g(sh��)-��2��

�wՓ��1�� ģ�ߙC(j��)е�ӹ����A(ch��)1.1 ��ӆģ�߼ӹ���ˇҎ(gu��)��1.1.1 ��������1.1.2 ��ˇҎ(gu��)����ӆ��ԭ�t�Ͳ��E1.1.3 ����Ĺ�ˇ����1.1.4 ë�����x��1.1.5 ��λ����(zh��n)���x��1.1.6 �����ˇ·���ĔM��1.1.7 �ӹ������Ĵ_��1.1.8 ����ߴ缰�乫��Ĵ_��1.1.9 �C(j��)���c��ˇ�b����x��1.2 ģ������ęC(j��)е�ӹ�����1.2.1 �C(j��)е�ӹ����ȸ���1.2.2 Ӱ푼ӹ����ȵ�����1.2.3 �������ӹ����ȵ�;��1.3 ģ������ęC(j��)е�ӹ������|(zh��)��1.3.1 ģ������ı����|(zh��)��1.3.2 �C(j��)е�ӹ������|(zh��)����(du��)���ʹ�����ܵ�Ӱ�1.3.3 Ӱ푙C(j��)е�ӹ������|(zh��)�������ؼ�����;��˼���}��2�� ģ�ߙC(j��)е�ӹ�����2.1 ��A����ļӹ�����2.1.1 ܇(ch��)���ӹ�2.1.2 ĥ���ӹ�2.2 ƽ��ļӹ�����2.2.1 ����ӹ�2.2.2 �����ӹ�2.2.3 ƽ��ĥ���ӹ�2.3 �׺Ϳ�ϵ�ļӹ�����2.3.1 һ��׵ļӹ�����2.3.2 ��׼ӹ�2.3.3 ���ܿ׼ӹ�2.3.4 ��ϵ�ļӹ�2.4 ����ĥ����(ji��n)��2.4.1 ����ɰ݆ĥ����2.4.2 �A��ĥ����˼���}��3�� ģ���طN�ӹ�����3.1 늻𻨼ӹ�3.1.1 늻𻨼ӹ��Ĺ���ԭ��3.1.2 늻𻨼ӹ���횾߂�ėl��3.1.3 늻𻨼ӹ������c(di��n)3.1.4 늻𻨳��ͼӹ��C(j��)��3.1.5 늻𻨼ӹ���ģ�������еđ�(y��ng)��3.1.6 늻𻨼ӹ���(sh��)��3.2 늻𻨾��и�ӹ�3.2.1 늻𻨾��и�ӹ��Ĺ���ԭ�������c(di��n)�͑�(y��ng)��3.2.2 늻𻨾��и�ӹ��C(j��)��3.2.3 늻𻨔�(sh��)�ؾ��и������3.2.4 늻𻨾��и�ӹ���ˇ3.2.5 늻𻨾��и�ӹ���(sh��)��˼���}��4�� ģ������ӹ���ˇ4.1 ģ�ܵļӹ�4.1.1 ��_ģģ�ܵļӹ�4.1.2 ע��ģģ�ܵļӹ�4.2 �_��͹ģ�Ͱ�ģ�ļӹ�4.2.1 �_��͹ģ�ļӹ�4.2.2 �_�ð�ģ�ļӹ�4.3 ����ģ��ǻ�ļӹ�4.3.1 ��ǻ�ļӹ�4.3.2 ��ǻ�Ē���˼���}��5�� ģ���b�乤ˇ5.1 ģ���b��ĸ���̓�(n��i)��5.1.1 ģ���b��ĸ���5.1.2 ģ���b������c(di��n)5.1.3 ģ���b��ă�(n��i)��5.2 ģ���b�侫��5.2.1 �b�侫�ȵĸ���5.2.2 ���C�b�侫�ȵķ���5.3 ģ����Ҫ����Ĺ̶�5.3.1 �o�̼���5.3.2 б�K�̶���5.3.3 䓽z�̶���5.3.4 ���˷�5.3.5 �T�ӷ�5.3.6 ���ӷ�5.3.7 ���׷�5.3.8 �����c(di��n)�Ͻ�̶���5.3.9 �h(hu��n)����(sh��)֬�̶���5.4 ģ���g϶�ͱں�Ŀ��Ʒ���5.4.1 ͸�ⷨ5.4.2 �|Ƭ��5.4.3 ��~��5.4.4 Ϳ�ӷ�5.4.5 ��ˇ�ߴ編5.4.6 ���ù�ˇ��λ���{(di��o)���g϶5.5 ��_ģ���b��5.5.1 ��_ģ�b��ļ��g(sh��)Ҫ��5.5.2 ��_ģ���b�����5.5 _3�_��ģ���b��5.5.4 ����ģ������ģ���b��5.6 ����ģ���b��5.6.1 ��Ҫ�M�����b��5.6.2 ���b��˼���}��6�� ģ�����M(j��n)���켼�g(sh��)6.1 ģ�ߔ�(sh��)�ؼӹ����g(sh��)6.1.1 ��(sh��)�ؙC(j��)���ĽM��6.1.2 ��(sh��)�ؙC(j��)���ķN�6.1.3 ��(sh��)�ؼӹ������c(di��n)6.1.4 ��(sh��)�ؼӹ�����ľ���6.2 ģ��Ӌ(j��)��C(j��)�o���O(sh��)Ӌ(j��)�����켼�g(sh��)6.2.1 CAD��CAM���g(sh��)�ĸ���6.2.2 ģ��CAD��CAMϵ�y(t��ng)6.3 ģ�߱���Ӳ��̎�����g(sh��)6.3.1 ���W(xu��)�����������CVD��6.3.2 ��������������PVD��6.3.3 ���}ԡ�������������̼����ķ�����TD��6.4 ģ�߿��ٳ��ͼӹ�6.4.1 ģ�߿��ٳ��ͼӹ������c(di��n)6.4.2 ģ�߿��ٳ��ͼӹ��ķ���˼���}�����īI(xi��n)