�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո | ע��

���] ʯīϩ���A(ch��)�������g

�����磺ұ�𹤘I(y��)����������r�g��2019-09-01
�_���� 24cm 퓔�(sh��)�� 133�
�� �D �r:¥37.0(8.2��) ���r  ¥45.0 ��䛺�ɿ������T�r
����ُ��܇ �ղ�
�_������ ȫ�����]
?�½������س���
������Ǖ�����>
�I�^����Ʒ����߀�I��

ʯīϩ���A(ch��)�������g ���(qu��n)��Ϣ

ʯīϩ���A(ch��)�������g ������ɫ

����ʯīϩ���ھ��Ъ��صľ��w�Y(ji��)��(g��u)����(y��u)����늌W(xu��)����W(xu��)�����W(xu��)���|(zh��)���ڼ{����������̓��ܑ�(y��ng)�õ��T���I(l��ng)����������ˆT�ĘO���P(gu��n)ע���������ʯīϩ�Ļ��A(ch��)�о�Խ��Խ������ʯīϩ�����İl(f��)չҲ�S֮ͻ�w���M����ʯīϩ���A(ch��)�������g����(n��i)�ݺ��w��ʯīϩ�ľ��w�Y(ji��)��(g��u)����ӽY(ji��)��(g��u)��ʯīϩ�����|(zh��)����(y��ng)�á�ʯīϩ���Ƃ�ͱ������Լ�ʯīϩ�Ě����g�о��ȡ�ԓ�����Ƅ�ʯīϩ�Ļ��A(ch��)�о����؄e��ʯīϩ���Ƃ�Ϳ��g����������Ҫ��ָ��(d��o)���á�
������ʯīϩ���A(ch��)�������g���挦���x�ߴ��¿��Է֞���������DŽ��_ʼ����ʯīϩ�������P(gu��n)�о��Ŀ����ˆT��ԓ�����Ԟ����ṩĿǰʯīϩ�l(f��)չ��һ��ȫ��ġ����w�Ľ�B��ʹ���܉���ٵ�����ʯīϩ���о��F(xi��n)�����ڶ�����cʯīϩ���S���Ͼ���һ��“(li��n)ϵ�Ľ��������߻��dȤ�ۺ���������������ϿƌW(xu��)�I(l��ng)���n�̵�һ���֣�Ҳ��������һ�����P(gu��n)�Ŀ����x����

ʯīϩ���A(ch��)�������g ��(n��i)�ݺ���

�������Ƚ�B��ʯīϩ�ľ��w���܎��Y(ji��)��(g��u), ʯīϩ���Ƃ䷽���Լ�����������������(d��o)�����l(f��)��������������(f��)����������惦�ȷ���đ�(y��ng)�� ; Ȼ�󱾕�Ԕ����B������CVD����MoĤ�͒���Cu�r�����Ƃ���|(zh��)����ʯīϩ��Ĥ ; *��Ԕ���о���ʯīϩ��H2���g�F(xi��n)����

ʯīϩ���A(ch��)�������g Ŀ�

1 �wՓ
�����īI

2 ʯīϩ�ľ��w�Y(ji��)��(g��u)����ӽY(ji��)��(g��u)
2��1 ʯīϩ�ľ��w�Y(ji��)��(g��u)
2��2 ʯīϩ����ӽY(ji��)��(g��u)
2��2��1 �Ό�ʯīϩ����ӽY(ji��)��(g��u)
2��2��2 ʯīϩ�Пo�|(zh��)���ĵ������M����
2��2��3 �p��ʯīϩ����ӽY(ji��)��(g��u)
2��2��4 ����ʯīϩ����ӽY(ji��)��(g��u)
�����īI

3 ʯīϩ�����|(zh��)����(y��ng)��
3��1 ʯīϩ�܎�϶�Ĵ��_
3��2 ʯīϩ��΢��������ͼ{���������
3��2��1 ʯīϩ�·�еľ��w�ܔ�(sh��)��
3��2��2 ��(sh��)��߉݋�T
3��2��3 ��(sh��)�ַ���ʧ�Դ惦��
3��3 ���l�������
3��3��1 ģ�M늉��Ŵ���
3��3��2 ʯīϩ�h(hu��n)��ʎ��
3��4 ���ڷ֌Ӳ��ϵ�����
3��5 ���͵Ĵ�ֱ�ͣ�ƽ���;��w�ܺ�����
3��5��1 ��ֱ�������w�ܺʹ�ֱ����Ӿ��w��
3��5��2 2d���|(zh��)�Y(ji��)��(g��u)�����(n��i)��ݔ
3��6 ��Ӱl(f��)��
3��7 ʯīϩ����Մ������P(gu��n)�O(sh��)��
3��8 ʯīϩ���P(gu��n)��(y��ng)���e��
3��8��1 ͸��늘O
3��8��2 �{���������
3��8��3 ���ܑ�(y��ng)��
3��8��4 ����������đ�(y��ng)��
3��8��5 ��(f��)�ϲ��Ϸ���đ�(y��ng)��
�����īI

4 ʯīϩ���Ƃ䡢�������D(zhu��n)��
4��1 �ɷ����x
4��1��1 �����о�Ŀ�ĵęCе���x
4��1��2 ꖘO�I��
4��1��3 ������g�͹℃�x
4��2 Һ�����x
4��2��1 ʯī��Һ�����x
4��2��2 ����ʯī��Һ�����x
4��2��3 ���ʯī��Һ�����x
4��3 SiC�����l(f��)��
4��4 ���W(xu��)������e��CVD��
4��4��1 �����r���ϟ�CVD���Ƃ�ʯīϩ
4��4��2 �^���r���ϟ�CVD���Ƃ�ʯīϩ
4��4��3 CVD���Ƃ��ߴ�ʯīϩ����
4��5 �����Ƃ䷽��
4��5��1 �^�ɽ��ٱ���������
4��5��2 ̼�{�׹ܽ�����
4��6 ʯīϩ�ı������g(sh��)
4��6��1 ��W(xu��)�@΢�R
4��6��2 ԭ�����@΢�R
4��6��3 ��������@΢�R
4��6��4 ͸������@΢�R
4��6��5 �������V
4��7 ʯīϩ���D(zhu��n)�Ƽ��g(sh��)
�����īI
……
5 CVD���چξ�MoĤ�r�����Ƃ���|(zh��)��ʯīϩ��Ĥ
6 CVD���ڒ���Cu�r�����Ƃ���|(zh��)��ʯīϩ��Ĥ
7 CVD���Ƃ��ʯīϩ������H2���g�F(xi��n)���о�
8 CVDʯīϩ������߅�����g�F(xi��n)���о�
չ�_ȫ��

ʯīϩ���A(ch��)�������g ���ߺ���

������1983�������У�������W(xu��)����Դ�W(xu��)Ժ�v�������гɹ�������CVD�����^�ɽ����r�����Ƃ������e������|(zh��)��ʯīϩ��Ĥ�������桶���⼼�g(sh��)�c̫���늳ء�(����,����,������ �磬ұ�𹤘I(y��)������)��

��Ʒ�uՓ(0�l)
���o�uՓ����
�������]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�