�x���¹�������ֱ�ӳ���
�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո(q��ng) | ע��(c��)

���] ��(f��)�ϲ��ϵĽ����О�

�����磺���W(xu��)���I(y��)����������r(sh��)�g��2020-04-01
�_(k��i)���� ���� �(y��)��(sh��)�� 390
�� �D �r(ji��):¥117.6(7.0��) ���r(ji��)  ¥168.0 ��䛺�ɿ�����(hu��)�T�r(ji��)
����ُ(g��u)��܇ �ղ�
�_(k��i)������ ȫ��(ch��ng)���]
?�½������س���
������Ǖ�����>

��(f��)�ϲ��ϵĽ����О� ���(qu��n)��Ϣ

��(f��)�ϲ��ϵĽ����О� ������ɫ

����ȫ���U���ˏ�(f��)�ϲ��ϵĽ����О�����Ҫ�����ɲ��փ�(n��i)�ݣ�*���ֽ�B�˽���Ļ�����������ڏ�(f��)�ϲ�������(qi��ng)�����g�е������������΢�^�Y(ji��)��(g��u)��������������ڶ�������Ҫ�漰����΢�^���W(xu��)���U���ˎ׷N��Ҫ��(f��)�ϲ�������ؓ(f��)�d�µĽ����О飬�������y(t��ng)��(sh��)�(y��n)�����ͽ����(l��i)���ٰl(f��)չ����(l��i)���������V������Ԕ�M���g(sh��)����(sh��)��(j��)̎�������*�K�Y(ji��)����

�������������(f��)�ϲ����о������a(ch��n)�ĿƼ����������ߵ�ԺУ���P(gu��n)���I(y��)�̎����о����͸��꼉(j��)�������ą����Õ���

��(f��)�ϲ��ϵĽ����О� ��(n��i)�ݺ�(ji��n)��

����ȫ���U���ˏ�(f��)�ϲ��ϵĽ����О�����Ҫ�����ɲ��փ�(n��i)�ݣ����ֽ�B�˽���Ļ�����������ڏ�(f��)�ϲ�������(qi��ng)�����g�е������������΢�^�Y(ji��)��(g��u)��������������ڶ�������Ҫ�漰����΢�^���W(xu��)���U���ˎ׷N��Ҫ��(f��)�ϲ�������ؓ(f��)�d�µĽ����О����������y(t��ng)��(sh��)�(y��n)�����ͽ����(l��i)���ٰl(f��)չ����(l��i)���������V������Ԕ�M���g(sh��)����(sh��)��(j��)̎������ͺܽK�Y(ji��)���� �������������(f��)�ϲ����о������a(ch��n)�ĿƼ����������ߵ�ԺУ���P(gu��n)���I(y��)�̎����о����͸��꼉(j��)�������ą����Õ���

��(f��)�ϲ��ϵĽ����О� Ŀ�

��1�½�����γɺͽ��������

1.1������ͽ���002

1.2��������γəC(j��)��003

1.2.1�������Y(ji��)��003

1.2.2�����W(xu��)�Y(ji��)��009

1.3�����������011

1.4������(qi��ng)�C(j��)��014

1.4.1����Փ�A(y��)�y(c��)014

1.4.2����(sh��)�(y��n)�о�018

1.5�����g�C(j��)��020

1.5.1��Ó�Y(ji��)�Ϻ�����020

1.5.2���Ѽy�D(zhu��n)��022

1.5.3���Ѽy���024

1.5.4���Ѽy���026

1.5.5��΢�_(k��i)�Ѻ����ԅ^(q��)��֧028

1.5.6���Ѽy����g��028

1.5.7�����g�C(j��)�Ƶı���029

1.6�������O(sh��)Ӌ(j��)031

1.6.1�����w����032

1.6.2������(qi��ng)�w�������032

�����īI(xi��n)036



��2��(f��)�ϲ��Ͻ����΢�^�Y(ji��)��(g��u)

2.1������040

2.2������������SEM����041

2.2.1��������ӳ����r�șC(j��)��041

2.2.2��ԇ�Ӝ�(zh��n)��043

2.2.3��������������ò�Y(ji��)��(g��u)044

2.3������΢�^�Y(ji��)��(g��u)��TEM����048

2.3.1��͸����ӳ�����r�șC(j��)��048

2.3.2���x�^(q��)�������052

2.3.3��ԇ�Ӝ�(zh��n)��053

2.3.4���մɻ���(f��)�ϲ��Ͻ���055

2.3.5�����ٻ���(f��)�ϲ��Ͻ���061

2.3.6���ۺ������(f��)�ϲ��Ͻ���063

2.4������΢�^�Y(ji��)��(g��u)��AFM����064

2.4.1������ԭ��066

2.4.2������ģʽ�ͳ���ģʽ067

2.4.3��ԇ�Ӝ�(zh��n)��͈D����E079

2.4.4��̼�w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ��ϵĽ���080

2.4.5���ۺ����w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ��ϵĽ���086

2.4.6�������w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ��ϵĽ���091

2.4.7���{�׏�(f��)�ϲ��ϵĽ���096

2.5������΢�^�Y(ji��)��(g��u)���������V����099

2.5.1������̼�����Ĵ�С�������100

2.5.2������M������γ�102

2.5.3������M����ķֲ�103

2.6������ijɷַ���105

2.6.1������X�侀�͟ɹ�X�侀����106

2.6.2����ɢ����ӷ���109

2.6.3����Ъ��ӷ���110

2.6.4��X�侀��������V����112

�����īI(xi��n)114



��3��(f��)�ϲ��Ͻ���΢�^���W(xu��)�Ă��y(t��ng)��(sh��)�(y��n)����

3.1������118

3.2�����w�S����ԇ�(y��n)119

3.2.1��ԇ�(y��n)�b�ú�ԇ���Ƃ�119

3.2.2����(sh��)��(j��)������̎��122

3.3��΢�ΰ�������ԇ�(y��n)124

3.3.1��ԇ�(y��n)�b�ú�ԇ���Ƃ�124

3.3.2����(sh��)��(j��)������̎��126

3.3.3���m�÷���129

3.4�����w�S����ԇ�(y��n)130

3.4.1��ԇ���Ƃ��ԇ�(y��n)�b��131

3.4.2����(sh��)��(j��)������̎��132

3.4.3���m�÷���133

3.5���w�S����ԇ�(y��n)135

3.5.1����(sh��)��(j��)̎��135

3.5.2���m�÷���139

3.6������ԇ�(y��n)������ԇ�(y��n)��Broutmanԇ�(y��n)139

3.6.1���M����ԇ�(y��n)139

3.6.2�����g����ԇ�(y��n)140

3.6.3��Broutmanԇ�(y��n)141

3.7�����y(t��ng)ԇ�(y��n)������ȱ��141

�����īI(xi��n)142



��4�½����о����������V�g(sh��)�͟ɹ���V�g(sh��)

4.1������146

4.2���������V�͟ɹ���V146

4.2.1��������(y��ng)���������V146

4.2.2�������������c����΢�^�Y(ji��)��(g��u)���P(gu��n)ϵ149

4.2.3���ɹ�İl(f��)��͟ɹ���V152

4.3���w�S��(y��ng)׃��(du��)�������l�Ƶ�Ӱ�154

4.3.1�������͜ضȌ�(du��)�����兢��(sh��)��Ӱ�154

4.3.2���������l���c�w�S��(y��ng)׃���P(gu��n)ϵ154

4.4���ɹ�岨��(sh��)�c��(y��ng)�����P(gu��n)ϵ156

4.4.1���ɹ���V�ĉ��VЧ��(y��ng)156

4.4.2���ξ������X�ĉ��Vϵ��(sh��)����y(c��)��156

4.4.3���ྦྷ�����X�w�S�ɹ�岨��(sh��)�c��(y��ng)׃���P(gu��n)ϵ159

4.4.4�������w�S�ɹ�岨�L(zh��ng)�c��(y��ng)׃/��(y��ng)�����P(gu��n)ϵ162

4.5���@΢�������V�g(sh��)164

4.5.1���������V�x164

4.5.2���@΢ϵ�y(t��ng)166

4.5.3��ԇ�Ӝ�(zh��n)��Ͱ���167

4.6������(ch��ng)��W(xu��)�����@΢�g(sh��)168

4.7���������W(xu��)������174

4.7.1��̼�{�׹��������W(xu��)������174

4.7.2������Ȳ-�۰����������������W(xu��)������176

4.7.3��ʯīϩ�������W(xu��)������176

4.8������ԇ�(y��n)178

4.8.1�����c(di��n)����178

4.8.2�����c(di��n)����179

4.8.3���ұ�������179

�����īI(xi��n)180



��5��̼�w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ���

5.1��̼�w�S�����΢�^�Y(ji��)��(g��u)184

5.2��̼�w�S��׃΢�^���W(xu��)189

5.3��̼�w�S/�ۺ����(f��)�ϲ��ϵĽ���192

5.3.1������Ծۺ������(f��)�ϲ���192

5.3.2�������Ծۺ������(f��)�ϲ���198

5.4��C/C��(f��)�ϲ��ϵĽ���201

5.5��̼�w�S��(f��)�ϲ��ϵđ�(y��ng)������205

5.5.1����(y��ng)�����к͑�(y��ng)����������205

5.5.2��̼�w�S/�h(hu��n)����(sh��)֬��(f��)�ϲ��ϵđ�(y��ng)������208

5.6���ѿp�c�w�S�໥��������Ľ����О�210

5.6.1���w�S����g(sh��)210

5.6.2������w�S�c�ѿp�Ľ���΢�^���W(xu��)213

5.7��׃���������V�g(sh��)217

5.7.1��̼���ϵ�׃�������о�217

5.7.2����(sh��)֬���w�ğ��\(y��n)��(d��ng)219

5.7.3����(f��)�ϲ��σ�(n��i)����΢�^��(y��ng)��׃��221

�����īI(xi��n)223



��6��̼�{�׹�����(qi��ng)��(f��)�ϲ���

6.1������228

6.2��̼�{�׹���׃�О���������V푑�(y��ng)230

6.3��̼�{�׹�/�ۺ����(f��)�ϲ��ϵĽ���Y(ji��)�Ϻ͑�(y��ng)�����f236

6.3.1�����摪(y��ng)�����f236

6.3.2������Y(ji��)������242

6.3.3������Y(ji��)�ϻ��W(xu��)244

6.4��̼�{�׹�/�ۺ����(f��)�ϲ��ϵĽ�����248

�����īI(xi��n)251



��7��ʯīϩ����(qi��ng)��(f��)�ϲ���

7.1������254

7.2��ʯīϩ���������О錦(du��)��(y��ng)׃��푑�(y��ng)257

7.2.1����(sh��)�(y��n)����257

7.2.2�����l���c��(y��ng)׃�ĺ���(sh��)�P(gu��n)ϵ259

7.3�����摪(y��ng)�����f262

7.3.1��Coxģ�ͼ��У�������Փ����Ч��262

7.3.2����(y��ng)׃�ֲ��ͽ�����Б�(y��ng)��263

7.3.3��*��ʯīϩ�ߴ�266

7.3.4����(y��ng)׃�D266

7.3.5�����sؓ(f��)�d�µĽ��摪(y��ng)�����f268

7.3.6��*��ʯīϩƬ�Ӕ�(sh��)272

7.4���۶��׻������飨PDMS�����{�׏�(f��)�ϲ��ϵĽ��摪(y��ng)�����f278

7.5������ʯīϩ�{�׏�(f��)�ϲ��ϵĽ��摪(y��ng)�����f282

�����īI(xi��n)284





��8�²����w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ���

8.1������288

8.2�������w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ��ϵĽ��摪(y��ng)��289

8.2.1���g�Ӝy(c��)����289

8.2.2��ֱ�Ӝy(c��)����295

8.3�����渽�����w�đ�(y��ng)����(ch��ng)296

8.4���w�S��������đ�(y��ng)������299

8.5����W(xu��)�w�S��(n��i)о/�⚤����đ�(y��ng)����(ch��ng)302

�����īI(xi��n)305



��9���մ��w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ���

9.1������308

9.2���մ��w�S�ı���̎��309

9.2.1��Ϳ�Ӳ��Ϻ�Ϳ�����g(sh��)309

9.2.2��̼�����w�S�ı���Ϳ��310

9.2.3�������X�w�S�ı���Ϳ��313

9.3���մ��w�S����׃΢�^���W(xu��)314

9.3.1��̼�����w�S��̼����νz314

9.3.2����(y��ng)׃�����X�w�S���������V�О�320

9.3.3����(y��ng)׃�����X�w�S�ğɹ���V�О�322

9.4��̼�����w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ��ϵĽ����О�323

9.4.1��̼�����w�S/������(f��)�ϲ���323

9.4.2�����sؓ(f��)�d��SiC/SiC��(f��)�ϲ��ϵĽ����О�328

9.4.3���w�S���331

9.5�������X�w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ��ϵĽ����О�334

9.5.1�������X�w�S/������(f��)�ϲ���334

9.5.2�������X�w�S/����?g��u)?f��)�ϲ���344

9.5.3���w�S���(y��ng)��347

9.5.4���w�S�g���໥����353

9.6���մ��w�S��(f��)�ϲ��ϵğᚈ����(y��ng)��356

9.6.1����Փ�A(y��)�y(c��)356

9.6.2����(sh��)�(y��n)�y(c��)��357

�����īI(xi��n)360



��10�¸����ܾۺ����w�S����(qi��ng)��(f��)�ϲ���

10.1�������ܾۺ����w�S����׃364

10.1.1���������w�S��PBO�w�S�ķ�����׃364

10.1.2�����߷���������ϩ�w�S�ķ�����׃369

10.1.3��������׃�;��w��׃372

10.2��������Б�(y��ng)��373

10.2.1������373

10.2.2���������w�S/�h(hu��n)����(sh��)֬��(f��)�ϲ���375

10.2.3��PBO�w�S/�h(hu��n)����(sh��)֬��(f��)�ϲ���377

10.2.4��PE�w�S/�h(hu��n)����(sh��)֬��(f��)�ϲ���382

10.3���w�S������Ԍ�(du��)�����О������384

10.3.1��PPTA�w�S������W(xu��)����384

10.3.2��PE�w�S�ĵ��x���w̎��386

10.4���ѿp�c�w�S�໥��������Ľ����О�387

�����īI(xi��n)390
չ�_(k��i)ȫ��
��Ʒ�u(p��ng)Փ(0�l)
���o(w��)�u(p��ng)Փ����
�������]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�