���] �F(xi��n)���o�C(j��)�ϳ��c�Ƃ仯�W(xu��)

**�� ��Ҫ�ğo�C(j��)�ϳ��c�Ƃ仯�W(xu��)ԭ�� 1.1 �η�ɢ�w���Ƃ�ԭ�� 1.1.1 �������γ� 1.1.2 ���˵��γ� 1.1.3 ���˵��L�� 1.1.4 �ɺ˺����L�ķ��x 1.1.5 �z�����L�Ą�(d��ng)���W(xu��)ģ�� 1.1.6 ���F(tu��n)�۵ķ��� 1.2 ���w���Lԭ�� 1.2.1 ���w�����P(gu��n)���� 1.2.2 ���w���L�������} 1.2.3 ���w���L�Ļ����^�� 1.2.4 ���w���L��Փ 1.2.5 ���w���L�����W(xu��)�̈́�(d��ng)���W(xu��) 1.2.6 ���w���L�ΑB(t��i) 1.2.7 ���w�׺��ΑB(t��i)�c���(n��i)���Y(ji��)��(g��u)�g��“(li��n)ϵ 1.3 �z����Փ��������ϳ�ԭ�� 1.3.1 �z�����γ� 1.3.2 �z���ĽY(ji��)��(g��u) 1.3.3 �������Ϻϳ��е��z���wϵ 1.4 ��������ò����ԭ�� 1.4.1 ��Փ 1.4.2 �a(ch��n)�������Ļ��W(xu��)�^�� 1.4.3 ���ӳɺ��c���L�������^�� �����īI(xi��n) ��2�� ��Ҫ�ğo�C(j��)�ϳ��c�Ƃ仯�W(xu��)���� 2.1 ˮ���c�܄���ϳɷ� 2.1.1 ˮ���c�܄���ϳɷ����c(di��n) 2.1.2 ˮ���c�܄���ϳɷ�����(y��ng)���|(zh��) 2.1.3 ˮ���c�܄���ϳɷ��b�ú����� 2.1.4 ˮ���c�܄���ϳɷ���(y��ng)�� 2.2 ���z-���z�ϳɷ�(sol-gel) 2.2.1 ���z-���z�ϳɷ�ԭ�� 2.2.2 ���z-���z�ϳɷ����c(di��n) 2.2.3 ���z-���z�ϳɷ��Ƃ乤ˇ���̼���Ӱ����� 2.2.4 ���z-���z�ϳɷ���(y��ng)�� 2.3 ����ϳɷ� 2.3.1 �͜ع���ϳɷ� 2.3.2 �ߜع���ϳɷ� 2.4 ���W(xu��)������e��(CVD) 2.4.1 ���W(xu��)������e��ԭ�� 2.4.2 ���W(xu��)������e�����c(di��n) 2.4.3 ���W(xu��)������e����(y��ng)�� 2.4.4 �׷N�°l(f��)չ��CVD���g(sh��) 2.5 늻��W(xu��)�ϳɷ� 2.5.1 늻��W(xu��)�ϳɷ�ԭ�� 2.5.2 늽��b�� 2.5.3 늻��W(xu��)�ϳɷ���Ӱ����� 2.5.4 늻��W(xu��)�ϳɷ����c(di��n) 2.5.5 늻��W(xu��)�ϳɷ���(y��ng)�� 2.6 ΢���ϳɷ� 2.6.1 ΢���ϳɷ�ԭ�� 2.6.2 ΢���ϳɷ����c(di��n) 2.6.3 ΢���ϳɷ���(y��ng)�� 2.7 �����ϳɷ� 2.7.1 �����ϳɷ�ԭ�� 2.7.2 �����ϳɷ����c(di��n) 2.7.3 �����ϳɷ���(y��ng)�� �����īI(xi��n) ��3�� �s�����͹��w���|(zh��)�ӌ�(d��o)�w���Ƃ��c�о��M(j��n)չ 3.1 ���� 3.2 �s����ĺϳ� ���� ��4�� ���ӺY�����ײ��ϵ��Ƃ仯�W(xu��) ��5�� ϡ��������s���l(f��)����ϵ��Ƃ��c��(y��ng)�� ��6�� ����ϩ����������ĺϳ��c��(y��ng)�� ��7�� ����-�ЙC(j��)�Ǽ���λ�ۺ���(MOF)�ĺϳ����Y(ji��)��(g��u)���䑪(y��ng)�� ��8�� �o�C(j��)-�ЙC(j��)�s�����ϵ��Ƃ��c��(y��ng)���о��M(j��n)չ ��9�� �{�ײ��ϵ��Ƃ��c��(y��ng)�� ��10�� ϩ�N��(f��)�ֽ�߻����ĺϳ��c�߻��о��M(j��n)չ