�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո | ע��
> >>
�ߜ�͸���������մ��w�S/���(q��)�w�D(zhu��n)���մ��w�S�c��(f��)�ϲ��υ���

���] �ߜ�͸���������մ��w�S/���(q��)�w�D(zhu��n)���մ��w�S�c��(f��)�ϲ��υ���

�����磺�ƌW(xu��)����������r�g��2022-04-01
�_���� 16�_ 퓔�(sh��)�� 252
�� �D �r:¥107.9(8.3��) ���r  ¥130.0 ��䛺�ɿ������T�r
����ُ��܇ �ղ�
�_������ ȫ�����]
?�½������س���
������Ǖ�����>

�ߜ�͸���������մ��w�S/���(q��)�w�D(zhu��n)���մ��w�S�c��(f��)�ϲ��υ��� ���(qu��n)��Ϣ

�ߜ�͸���������մ��w�S/���(q��)�w�D(zhu��n)���մ��w�S�c��(f��)�ϲ��υ��� ��(n��i)�ݺ���

�ߜ�͸���������մ��w�S��һ����͸ߜغ�͸�����ܑ�(y��ng)�Þ������B�m(x��)�մ��w�S���Ⱦ��е������մɵĻ����������|(zh��)��Ҳ�����B�m(x��)�w�S�����W(xu��)���ܣ��ǽY(ji��)��(g��u)�c͸��һ�w����(f��)�ϲ��ϵ��P(gu��n)�Iԭ�������ڸ��R�Ք�(sh��)�w���������h�̜�(zh��n)�_�������ϵ�y(t��ng)���쾀�ֺ��쾀���о��в����������;��Ŀǰ���ߜ�͸���Ȼ����մ��w�S��Ҫ���þۺ������(q��)�w�D(zhu��n)�����Ƃ������ƄӸߜ�͸���մ��w�S�ļ��g(sh��)�M���͏V����(y��ng)�ã�������Ҫ�����ߜ�͸���������w�S���Mչ��ϵ�y(t��ng)��BBN��Si3N4��SiBN���͸���w�S���Ƃ䷽������Y(ji��)��(g��u)�c������ �����ɹ��մ��w�S�����(f��)�ϲ��ϵ��о��_�l(f��)�͹��̼��g(sh��)�ˆT����ʹ����߀���������쾀���O(sh��)Ӌ�c�����ˆT�ą����Y����

�ߜ�͸���������մ��w�S/���(q��)�w�D(zhu��n)���մ��w�S�c��(f��)�ϲ��υ��� Ŀ�

Ŀ�
������
ǰ��
��1�� �������մ��c�w�S���� 1
1.1 ͸���������մɲ��� 1
1.1.1 �쾀���c͸������ 1
1.1.2 Si3N4�մɵĽY(ji��)��(g��u)�c���� 9
1.1.3 BN�մɵĽY(ji��)��(g��u)�c���� 11
1.1.4 SiBN�մɵĽY(ji��)��(g��u)�c���� 14
1.2 �������մ��w�S 20
1.2.1 �B�m(x��)�մ��w�S���Ƃ䷽�� 21
1.2.2 Si3N4�w�S�����Ƃ䷽�� 26
1.2.3 BN�w�S�����Ƃ䷽�� 29
1.2.4 SiBN�w�S�����Ƃ䷽�� 36
1.2.5 ͸���w�S�����(f��)�ϲ��� 39
1.3 ������͸���մ��w�S�İl(f��)չ���� 43
�����īI 44
��2�� BN�w�S 50
2.1 ������ĺϳ��c���� 50
2.1.1 ���ȭh(hu��n)����ĺϳ��c���� 50
2.1.2 ���(q��)�wPPAB�ĺϳ� 54
2.1.3 ���(q��)�wPPAB�ĽM�ɽY(ji��)��(g��u)���� 60
2.1.4 ���(q��)�wPPAB������ 65
2.2 ���(q��)�wPPAB�ļ��z�cԭ�z���ۻ� 73
2.2.1 PPAB�Ćο����ڼ��z�о� 73
2.2.2 PPAB�w�S�IJ��ۻ���ˇ�о� 75
2.3 ���ۻ�PPAB�w�S�ĸߜ�?z��)��?80
2.3.1 �o�C����Ռ��w�S��Ӱ� 80
2.3.2 ��Ռ��w�S���ܵ�Ӱ� 85
2.3.3 �o�C����ˇ���w�S�մɮa(ch��n)�ʺ�̼������Ӱ� 89
2.3.4 �ߜ�̎�팦�Y(ji��)�����ܡ��ܶȺͿ��������ܵ�Ӱ� 91
2.3.5 ���ɜضȌ����W(xu��)���ܺͿ��������ܵ�Ӱ� 97
�����īI 99
��3�� Si3N4�w�S 100
3.1 SiNO�w�S���Ƃ� 101
3.1.1 �՚ⲻ�ۻ�PCS�w�S�ĵ���Ó̼ 101
3.1.2 ��������(y��ng)�^�� 107
3.1.3 �����w�S�ĸߜ�?z��)��?115
3.2 SiNO�w�S�ĽY(ji��)��(g��u)�c���� 120
3.2.1 SiNO�w�S�ĽM�ɼ��Y(ji��)��(g��u) 120
3.2.2 SiNO�w�S�Ľ������ 122
3.2.3 SiNO�w�S�ߜ��µĽY(ji��)��(g��u)׃�� 127
3.3 Si3N4�w�S���Ƃ��c���� 129
3.3.1 ��ͬ��ˇ�l���Ƃ��Si3N4�w�S 130
3.3.2 ��ͬ�w�S���Ҝط�(w��n)���� 131
3.3.3 Si3N4�w�S��ȱ�ݱ��� 137
3.4 Si3N4�w�S���͸ߜ����� 147
3.4.1 �������µ��͸ߜ����� 147
3.4.2 �w�S�Ŀ��������� 150
3.4.3 �����������w�S�ڶ��Ԛ���µ��͸ߜ����� 154
3.4.4 SiO2Ϳ�Ӻ��w�S�ڶ��Ԛ���µ��͸ߜ����� 157
3.5 Si3N4�w�S������(f��)�ϲ��� 160
�����īI 162
��4�� SiBN�w�S 165
4.1 ���(q��)�wPBSZ�ĺϳ� 165
4.1.1 PBSZ�ķ����O(sh��)Ӌ 165
4.1.2 PBSZ�ĺϳ�·�� 166
4.1.3 PBSZ�ĺϳɹ�ˇ 168
4.1.4 PBSZ�ĽM�����Y(ji��)��(g��u)������ 176
4.1.5 PBSZ�ĺϳəC�� 182
4.2 PBSZ�����ڼ��z 190
4.2.1 PBSZ����׃���� 190
4.2.2 PBSZ�Ćο׼��z 194
4.2.3 PBSZ�Ķ���B�m(x��)���z 197
4.3 PBSZ�w�S�IJ��ۻ�̎�� 200
4.3.1 PBSZ�w�S�IJ��ۻ��^�� 200
4.3.2 PBSZ�w�S���ۻ�̎����ˇ 201
4.4 PBSZ���ۻ��w�S�ğ��� 204
4.4.1 ���ۻ��̶Ȍ�SiBN�w�S���ɵ�Ӱ� 204
4.4.2 �ѽ�ضȼ��ӏ���SiBN�w�S���ɵ�Ӱ� 206
�����īI 209
��5�� SiBN�w�S�M���c�����P(gu��n)ϵ 211
5.1 �����w�S��Ʒ�ĽM�ɽY(ji��)��(g��u) 211
5.2 �����cSiBN�w�S�ڵ������͸ߜ����ܵ��P(gu��n)ϵ 218
5.2.1 �ߜ�̎�����w�S�Y(ji��)��(g��u)׃�� 218
5.2.2 ����M�ɣ��Y(ji��)��(g��u)�ݶȵ��γəC�� 225
5.2.3 �Y(ji��)�������W(xu��)���� 231
5.2.4 SiBN�w�S�ڸߜص��������W(xu��)���ܵ�׃�� 235
5.3 �����cSiBN�w�S�ښ���е��͸ߜ����� 236
5.3.1 �ߜ�̎����ĽM�ɽY(ji��)��(g��u)׃�� 236
5.3.2 SiBN�w�S�ڸߜؚ���е����W(xu��)����׃�� 239
5.4 �����cSiBN�w�S�Ŀ��ߜ��������� 241
5.4.1 SiBN�w�S�������^�� 241
5.4.2 SiBN�w�S��(j��ng)�՚�����������W(xu��)���� 248
5.5 SiBN�w�S��������о� 249
�����īI 251
չ�_ȫ��

�ߜ�͸���������մ��w�S/���(q��)�w�D(zhu��n)���մ��w�S�c��(f��)�ϲ��υ��� ��(ji��)�x

��1�µ������մ��c�w�S���� �S���������մɲ����ڿ����w�����đ�(y��ng)�÷���������չ���������մ��c�w�S�{������Ľ�����ܺ͟����һ�w���ă�(y��u)�ݣ��ɞ�O�˭h(hu��n)����͸���������մɲ����y������Ļ��A(ch��)�������،����҇����켼�g(sh��)�l(f��)չ�аl(f��)�]��Ҫ�������҇����պ���������b�������������H�I(l��ng)��ˮƽ�~�M���и���ļ��g(sh��)ä�^(q��)��Ҫ̽����Ҳ���鵪�����մ��c�w�S�ȽY(ji��)��(g��u)����һ�w�����ώ����µİl(f��)չ���g�����Œ���Ҫ�ĵ������մɵĽY(ji��)��(g��u)�c�������������մ��w�S���Ƃ�ȷ�����ȫ���B����(n��i)�⵪�����մ��c�w�S�����P(gu��n)�о��Mչ�����cӑՓ������͸���մ��w�S�İl(f��)չڅ�ݡ� 1.1͸���������մɲ��� 1.1.1�쾀���c͸�������쾀���ַQ�����_������Ӣ�����Qradome�������_��radar���͈A픣�dome���ĺϳ��~����Ҫ���ڱ��o���_���Ա����ܵ��������͟��������h(hu��n)���ĸɔ_���Ɖģ�ͬ�r�܉�͸�^���_늴Ų����M���p�ٌ�늴Ų��ĸɔ_�͓p�����V����(y��ng)���ں��պ����w�����͵������_վ���ں��պ����؄e��܊�º����I(l��ng)���쾀�־��Ќ�(d��o)����������͸�������d�ȶ�N���������C�w�����ڐ��ӭh(hu��n)���l�����M��ͨ�����b�y���ƌ�(d��o)��������ϵ�y(t��ng)�����������쾀��һ��λ���w������ǰ�ˣ��쾀�ּ���(d��o)��Ҋ�D1-1�� �쾀��ͨ��λ�ڌ�(d��o)�������w�������^���������ΝM��һ���Ŀ՚�����W(xu��)Ҫ������˲�ͬ�w�������쾀������Ҳ������ͬ�����������_ͨ�ŵ������쾀���Π��ǰ������������ڸ߳�•���w�������f��*��Ч�Ŀ՚�����W(xu��)�����Ǽ��L���F�w���F(xi��n)�еČ�(d��o)���쾀�����Ό��H�����@�ɂ��O��֮�g��ƽ����ͬ�r��*���޶ȵ��������_�ֵ��w�e�����ݼ{��������Ӳ�������_�������O(sh��)Ӌ����һ��Ŀ��(bi��o)��*��Ҋ�ı����ЈA�F�����о��Ρ����タ�����T ���T�ε�����D1-2��ʾ��1�ݡ����H��(y��ng)�õ��쾀��ͨ���LjA�F�w���E�A�w�������ĽM���w���ڽo���ļ��ȱȣ��L�ȣ�����ֱ���������T ���T����*���޶ȵ�����w�e�c�����ı�ֵ���DZ��^���е��쾀�����Ρ��쾀�ֵ�����һ�����w�����Ě�������O(sh��)Ӌ�_���������S���w�����R�Ք�(sh��)��������������w�����ٶ���������•�������߳�•�ٵ���r���쾀�����R�Ě�ӟ�_�􌢌���Y(ji��)��(g��u)���Ȏ���O����Ҫ�Ŀ�����쾀�ֲ��H��Ҫ��(w��n)���Č��l͸��������߀��Ҫ�߂��͸ߜ������_ˢ���͟��g�����������C���w�Ě�����β��l(f��)�����׃�����M�����_��(d��o)��ϵ�y(t��ng)�����ʂ�ݔϵ��(sh��)�����(zh��n)�`������(zh��n)�`��б�ʵ�늚����ܵ�Ҫ���� ͬ�r�������m��(y��ng)��ͬ���_ͨ�ŷ�ʽ��Ҫ�����쾀�ֱ�߀���в�ͬ�ĽY(ji��)��(g��u)���쾀�ֱڽY(ji��)��(g��u)�ںܴ�̶��ϛQ���˿�ʹ�õ�͸���l�ʻ�?q��)�����һ����ð벨�ڽY(ji��)��(g��u)����Ҋ���ֱڽY(ji��)��(g��u)߀�б��ڽY(ji��)��(g��u)�͌����Y(ji��)��(g��u)������A�������αڡ�C�������α������ӱڼ��ݶȽY(ji��)��(g��u)�ڵȣ���D1-2��ʾ�����ӽY(ji��)��(g��u)�ڎ����σ�(y��u)���������ӵğ�����ƥ���y�ȴ����y�ԝM��ߜحh(hu��n)����(y��ng)��Ҫ�����Ƽs�����ڸ��ٌ�(d��o)�����_���еđ�(y��ng)�������ݶȽY(ji��)��(g��u)�п��ܑ�(y��ng)���ڳ��ߜحh(hu��n)���� �쾀�ֵ����ܣ�һ����ȡ�Q�����w�����κͽY(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ����һ����tȡ�Q�����w���ϵ�������͸������������Ҫ���]���P(gu��n)�Iָ��(bi��o)��һ����f�����w����Ҫ���l�ʞ�0.3��300GHz��늴Ų����^�ߵ�͸�^�ʣ��y(t��ng)�Q��͸����������܊�º����I(l��ng)�������_�쾀���l����Ҫ��2��18GHz�����u�r���ϵ�͸�����ܕr����Ҫ������ϵĽ��������������늳���(sh��)�ͽ�늓p�ġ��������ȡ�Q�ڽ��|(zh��)�ĘO�����@�N�O���F(xi��n)�����ڃ�(n��i)��늈�������������늺ɵ��Ƅ��������ͬ�r��늽��|(zh��)������w�e��(n��i)���γɼs��늺ɡ�ijЩ�O���^�̰��S����늽��|(zh��)�аl(f��)�������p������Ҫ�����N�^����ɣ����x���w�Ɠp�������а���늌�(d��o)�p�ġ��x���S�w��ż�O�ӳ�ԥ�p�������x����Ӻ�׃�Γp��������ӘO���p�������ⲿ�l����늚�ϵ�y(t��ng)׃������r�£������p�ĵĔ�(sh��)ֵ�������ɘO���^�̴_�����O����P�c���ϵĽ�늳���(sh��)�������º���(sh��)�P(gu��n)ϵ��P����E��1���ţ�4�У�1-1��ʽ�У�E�������ڽ��|(zh��)���ϵ�늈���������늈�����һ������r�²��ϵĘO���̶��c��늳���(sh��)���P(gu��n)����늳���(sh��)Խ�����O���̶�Խ�ߣ����ϵ�͸������Խ���� ����늳���(sh��)�ͽ�늓p�ĽǵĶ���ӑՓͨ���������(f��)��늳���(sh��)�ŵĸ����(f��)��늳���(sh��)�ŵČ�����1�ǽ��|(zh��)�Ľ�늳���(sh��)��̓����2�t��ʾ���|(zh��)�ēp����ʽ�����؞�΢������r�Ľ��l�ʣ��Ҟ���|(zh��)��늌�(d��o)�����Ğ�p�Ľ���������ֵtan�Ğ��늓p����������늴ň��µĸ���ͬ�Ծ��Խ��|(zh��)���O(sh��)���Ϟ������ԣ��������Ƶò�����΢������ϵ��(sh��)��p�c��늳���(sh��)���P(gu��n)ϵ����1-4�� ��ʽ��1-4����Ҋ������΢������ϵ��(sh��)��p��������늳���(sh��)���p�Ľ�����ֵtan�����������@���P(gu��n)ϵ����tan�ĵ�ֵԽС�����ϵ�΢������ϵ��(sh��)ֵԽ�ͣ������ϵ�΢��͸�^��Խ�������ң����ϵĽ�늳���(sh��)Խ�����t늴Ų��ڿ՚��c�쾀�ַֽ����ϵķ����Խ�����@�����@���͂�ݔЧ����������xȡ�ͽ�늳���(sh��)���ͽ�늓p�ĵIJ����ܫ@���^�����΢��͸��������һ����f��͸�������m�˵�������늳���(sh��)ֵ��1��4���p�Ľ�����ֵ�顣 20���o(j��)40������������Ƴ����Zը�C���(zh��n)�õ����_�������ЙC���������Ƴɰ������쾀�ց����o���_�쾀����������֮��������������˾���ò����w�S�p�@����������֬���Ƴ������R�ˡ��쾀�֣������R�Ք�(sh��)��3�ľ��_�ƌ�(d��o)��(d��o)����͸�������ں��պ����I(l��ng)����������°l(f��)չ�������IJ��ϷN��Ϸ֞��ЙC͸�����Ϻ͟o�C͸�����σɴ�����o�C͸�����ϰl(f��)չ�v�̞������X�մɡ�΢��������ʯӢ�մɡ��������մ��� �ЙC͸��������Ҫ�����ЙC�w�S�������w�S��ʯӢ�w�S�������w�Ę�֬����(f��)�ϲ���������ϩ�w�S�ڸ��l���¶����F(xi��n)���ܺõĽ����������ģ���ľ���ϩ�w�S���ԑ�(y��ng)����͸����(f��)�ϲ��ϵ������w��������������Ҳ�����^�͵Ľ�늳���(sh��)�͓p�Ľ�����ֵ���ѽ�(j��ng)�M�����쾀�֮a(ch��n)Ʒ�I(l��ng)������ʹ���������Gogers��˾���Ƶġ�Sparrow AIM-71����(d��o)���쾀������֬��͸�����Ͼ��н�����܃�(y��u)�����ɼӹ����ܺúͳɱ������ȃ�(y��u)�c����һЩ�^���R�Ք�(sh��)�Č�(d��o)���쾀���еõ��ˑ�(y��ng)�������]�w�S�����^�͵Ľ�늳���(sh��)�����䉺�s���ȺͿ�Ť�􏊶Ȳ����������^�����������������܌�(d��o)��(f��)�ϲ��ϵĽ�늳���(sh��)�����������Ķ������������ܡ��ЙC͸���쾀�ֲ��õĵ��������w�S�����(f��)�ϲ��ϵ���Ҫ����Ҋ��1-1�� ��1-1�ЙC͸���쾀�ֲ��õĵ��������w�S�����(f��)�ϲ��ϵ���Ҫ���� ���ڑ�(y��ng)�íh(hu��n)��������ɱ����p�ؿ��]�����N�����wϵ����������һ����f���ЙC͸����(f��)�ϲ�����Ҫ���Ծۺ������w�ď�(f��)�ϲ��������������w�S��ʯӢ�w�S���w�S�����ľۺ������(f��)�ϲ��ϣ����͜���һ�����500������Ҫ���ڵ����w������������͸����(f��)�ϲ��ϵIJ����w�S��Ҫ����E-�����w�S��S-�����w�S��M-�����w�S��D-�����w�S��ʯӢ�w�S�����@Щ�w�S�������^�͵Ľ�늳���(sh��)�ͽ�늓p�ġ�������D-�����w�S�LJ��⌣�T���쾀�ֶ����Ƶ����Ͳ����w�S���������^�͵Ľ�늳���(sh��)�ͽ�늓p���������W(xu��)�����^�߹��������w�S����ʯӢ�w�S�Ľ�늳���(sh��)�ͽ�늓p��*С�������W(xu��)����ȡ�Q�����칤ˇ���g(sh��)������(n��i)���ѽ�(j��ng)�V��ʹ���@�N�w�S�� �o�C͸�������������մɡ�΢��������ʯӢ�մɡ������}���մɼ��մɻ���(f��)�ϲ��ϣ���1-2������Ҫ���ڸ����w�������@�͸������Ҳ�Q���͸��������������1000�����Ϝضȡ���*�瑪(y��ng)���ڸߜ��쾀�ֵ��մɲ��������Џ��ȸߡ�Ӳ�ȴ��������g�ȃ�(y��u)�c������������ȸ����β�ߌ�(d��o)���Ы@�Ñ�(y��ng)������ȱ�c����Ûϵ��(sh��)�󣬿���_�����ܲ����y�Գ��ܳ���•���w�����ğ���_��������������˾�����˴�̖��9606��΢����������������ʯ����Ҫ�ɷ֣����н�늳���(sh��)�����p�Ľ�����ֵС���͸ߜء����ȸ�����Ûϵ��(sh��)�ͼ���늳���(sh��)�S�ضȺ��l�ʵ�׃����������c����������AMRAAM��(d��o)����STANDARD��(d��o)���Ы@�Ñ�(y��ng)�����������a(ch��n)��ˇ��(f��)�s��΢�Y(ji��)��(g��u)�����y�ȴ�����ʯӢ�մ���Ҳ�QʯӢ�մ�����һ�N������ʯӢ����ʯӢ������ԭ������(j��ng)�^���������͡����Y(ji��)�ȹ�ˇ�Ƴɵğ��Y(ji��)�w��ʯӢ�մ�*�����������΁������W(xu��)Ժ��20���o(j��)50����������Ƴɹ�����1963�ꌍ�F(xi��n)�a(ch��n)�I(y��)�����������Đۇ��������d����SAM-D���������ASPIDE��(d��o)���Ы@�Ñ�(y��ng)����ʯӢ�մɵğ���Ûϵ��(sh��)�^�ͣ���늳���(sh��)�͓p�Ľ������^С�����������܃�(y��u)�����ߜ��ۻ�������^�������ױ������_ˢ��ʧ�����͸ߜ�͸����������Ҫ���x������������ʯӢ�մɵď��������^�ͣ�40��70MPa���������g���^���������g�������ޣ��ڸ��R�Ք�(sh��)��Ӽӟ�r�������l(f��)��ܛ�����������o�����^���(y��n)���ĭh(hu��n)���‘�(y��ng)���� ��1��2��Ҋ͸���մɲ��ϵĽ�����܅���(sh��)��10GHz�� ͸�����ϡ���늳���(sh��)���p�Ľ�����ֵ BeO��4.2��0.0005 ΢��������5.6��0.0002 �մɡ�9.6��0.0014 ʯӢ�մɡ�3.4��0.0004����(y��ng)���Y(ji��)�մɡ�5.6��0.005 4.8��0.002 ��-SiAlON��7.3��0.003 BN��4.5��0.0003 Suzdal'tsev��2�݌�����ʯӢ��΢������Pyroceram 9606�����N�մ�͸�����ϵ����W(xu��)�͟����W(xu��)���P(gu��n)���ܣ���D1��3��ʾ��ʯӢ�մɾ���*��(y��u)�Ŀ������������^�͵ľ���Ûϵ��(sh��)�͟ጧ(d��o)���������S���ضȵ����߲��l(f��)�����@��׃�������䏝�����������^����Pyroceram9606���մɵĿ����������^�������ߵľ���Ûϵ��(sh��)�͟ጧ(d��o)���^�󣬲����S�ض�׃���^����ֵ��ע�������ʯӢ�մɵď��� �D1��3ʯӢ��΢������Pyroceram 9606���մ�͸�����ϵ����W(xu��)�͟����W(xu��)���P(gu��n)����

��Ʒ�uՓ(0�l)
���o�uՓ����
�������]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�