���] ʯīϩ���Թ���Ϳ��(��)/�{�׿ƌW(xu��)�c���g(sh��)

Ŀ�
���{�׿ƌW(xu��)�c���g(sh��)��������
��
ǰ��
��1�¡��wՓ��1
1.1��ʯīϩ���ϸ�����1
1.1.1��ʯīϩ�İl(f��)�F(xi��n)��1
1.1.2��ʯīϩ�����|(zh��)��3
1.1.3��ʯīϩ���Ƃ䡡4
1.2��ʯīϩ�Ĺ������c(di��n)����(y��ng)�á�5
1.2.1��ʯīϩ�ĽY(ji��)��(g��u)�c���ܡ�5
1.2.2��ʯīϩ�đ�(y��ng)�á�10
1.3��ʯīϩ�ı�����ԡ�24
1.3.1��ʯīϩ�Ĺ��r(ji��)�I���ԡ�25
1.3.2��ʯīϩ���������ԡ�38
1.3.3��ʯīϩ��Ԫ��?f��)��s���ԡ�47
1.3.4��ʯīϩ/�{�����ӏ�(f��)�ϡ�50
1.4��ʯīϩ���Թ���Ϳ�ӵ��о�չ����54
�����īI(xi��n)��56
��2�¡�ʯīϩ�����C(j��)���c����Ϳ�ӡ�67
2.1��ʯīϩ�����C(j��)����67
2.1.1��ʯīϩ�ĭh(hu��n)����(w��n)���ԡ�67
2.1.2������C(j��)����71
2.1.3�����g�C(j��)����83
2.1.4���\���(d��o)늙C(j��)����89
2.1.5������ʯīϩȱ�ݽY(ji��)��(g��u)��(d��o)�µġ����g���M(j��n)Ч��(y��ng)����96
2.2��ʯīϩ������Ĥ��101
2.2.1��ʯīϩ��Ĥ�ĸ��g���o(h��)��101
2.2.2�������sʯīϩ��Ĥ�ĸ��g���o(h��)��104
2.2.3����(qi��ng)�������ʯīϩ��Ĥ�ĸ��g���o(h��)��110
2.2.4������ʯīϩ��Ĥ�ĸ��g���o(h��)��111
2.2.5��ʯīϩ/�����������|(zh��)�Y(ji��)�ĸ��g���o(h��)��115
2.2.6�������ޏ�(f��)ʯīϩ��Ĥ�ĸ��g���o(h��)��116
2.3��ʯīϩ���Է���ˮ��Ϳ�ӡ�124
2.3.1��ˮ��Ϳ�ϵİl(f��)չ�F(xi��n)�124
2.3.2��ˮ��Ϳ�ϵ��о��F(xi��n)�125
2.3.3��ʯīϩ����ˮ�Է���Ϳ�ӡ�126
2.4��ʯīϩ�����܄��ͷ���Ϳ�ӡ�146
2.4.1��ʯīϩ�����ЙC(j��)Ϳ�ӵķ����C(j��)����147
2.4.2��ʯīϩ�����ЙC(j��)����Ϳ���wϵ��175
2.4.3��ʯīϩ���Է���Ϳ�ӵđ�(y��ng)�á�180
2.4.4��ʯīϩ���Է���Ϳ�ӵİl(f��)չڅ��(sh��)��189
�����īI(xi��n)��189
��3�¡�ʯīϩ��ĥ��(r��n)���C(j��)���c��ĥ��(r��n)��Ϳ�ӡ�205
3.1��ʯīϩ����ĥ��(r��n)���C(j��)����205
3.1.1��ʯīϩ�Č��g����(d��ng)�О顡206
3.1.2��ʯīϩ�ı���Ħ���О顡210
3.2��ʯīϩ��ĥ��(r��n)��Ϳ�ӡ�219
3.2.1��ʯīϩ��ĥ��(r��n)��Ϳ�ӵ��Ƃ䡡219
3.2.2��ʯīϩ�ļ{��Ħ��ĥ�p�О顡221
3.2.3��ʯīϩ�ĺ��^Ħ��ĥ�p�О顡228
3.3��ʯīϩ��Һ��(f��)��Ϳ�ӵĿ�Ħ��ĥ���ܡ�233
3.3.1��ʯīϩ/�x��Һ�w�{�׏�(f��)�ϝ�(r��n)����Ĥ��233
3.3.2��ʯīϩ���ӄ���(f��)��Ϳ�ӵ�Ħ���W(xu��)���ܡ�242
3.4��ʯīϩ����(qi��ng)�ۺ����(f��)��Ϳ�ӵ��Ƃ估Ħ���W(xu��)�����о���246
3.4.1��ʯīϩ����(qi��ng)�h(hu��n)����֬��(f��)�ϲ��ϡ�246
3.4.2��ʯīϩ����(qi��ng)����������(f��)�ϲ��ϡ�259
3.4.3��ʯīϩ����(qi��ng)�۰�����(f��)�ϲ��ϡ�262
3.5�������Y(ji��)��264
�����īI(xi��n)��264
��4�¡�ʯīϩ��(d��o)��C(j��)���c��(d��o)��Ϳ�ӡ�273
4.1��ʯīϩ��(d��o)��C(j��)����273
4.2��ʯīϩ��(d��o)��Ϳ�ӡ�275
4.2.1��ʯīϩ/�h(hu��n)����֬��(d��o)��Ϳ�ӡ�275
4.2.2��ʯīϩ/����������(d��o)��Ϳ�ӡ�282
4.2.3��ʯīϩ/�����Ծۺ������(d��o)��Ϳ�ӡ�284
4.2.4��ʯīϩ��(d��o)�ᱡĤ�͟������ϡ�286
4.2.5��CVD�����L(zh��ng)ʯīϩ��(d��o)�ᱡĤ��291
4.3��ʯīϩ��(d��o)��Ϳ�ӑ�(y��ng)�á�294
�����īI(xi��n)��295
��5�¡�ʯīϩ���o늙C(j��)���c���o�Ϳ�ӡ�301
5.1���o늵Įa(ch��n)���c������301
5.1.1���o늵Įa(ch��n)����Σ����301
5.1.2���o늵�������302
5.2�����o�Ϳ�ϡ�302
5.2.1����(gu��)��(n��i)�⿹�o�Ϳ�Ӳ��ϰl(f��)չ?f��n)�r��302
5.2.2�����o�Ϳ�ϵķ��303
5.2.3�����o�Ϳ�ϵČ�(d��o)늙C(j��)����306
5.2.4����(gu��)��(n��i)���o�Ϳ�ϵĬF(xi��n)�И�(bi��o)��(zh��n)��310
5.2.5�����o�Ϳ�ϵİl(f��)չڅ��(sh��)��311
5.3��ʯīϩ���Կ��o�Ϳ�ӡ�311
5.3.1��ʯīϩ�����ܸ�����311
5.3.2��ʯīϩ��Ͽ��o�Ϳ�ӡ�312
5.3.3��ʯīϩ���Կ��o�Ϳ�ӡ�316
5.3.4��ʯīϩ���Բ��ϵĿ��o늑�(y��ng)�á�319
5.4���׷Nʯīϩ���Կ��o�Ϳ�ӵ��䷽��323
5.5�������Y(ji��)��324
�����īI(xi��n)��324
��6�¡�ʯīϩ�����C(j��)���c����Ϳ�ӡ�329
6.1��������329
6.2��ʯīϩ�{�ײ��ϼ��俹���C(j��)����331
6.2.1�������Ɖļ��f(shu��)��331
6.2.2����֬������Փ��336
6.2.3��������(y��ng)����Փ��339
6.3��ʯīϩ�{�׏�(f��)�Ͽ������ϼ������C(j��)����341
6.3.1��GO-Ag�{�׏�(f��)�ϲ��ϡ�341
6.3.2��GO-PLL�{�׏�(f��)�ϲ��ϡ�349
6.3.3��������(f��)�ϲ��ϡ�349
6.4��ʯīϩ�����ﰲȫ�u(p��ng)�r(ji��)��350
6.5�������Y(ji��)��351
�����īI(xi��n)��352
��7�¡�ʯīϩ�������C(j��)���c����Ϳ�ӡ�356
7.1���������Ϻ�(ji��n)�顡356
7.2��ʯīϩ�������ϡ�357
7.3��ʯīϩ��(f��)���������ϡ�358
7.3.1��ʯīϩ/�߷��ӏ�(f��)�ϲ��ϡ�358
7.3.2��ʯīϩ/���ԟo(w��)�C(j��)�{���w����360
7.3.3��ʯīϩ/�Ǵ��ԟo(w��)�C(j��)�{���w����363
7.3.4���пռ���ײ����cʯīϩ��(f��)�ϡ�363
7.3.5�����Sʯīϩ��(f��)���������ϡ�364
7.4��չ����366
�����īI(xi��n)��366