��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ���(qu��n)��Ϣ
- ISBN��9787122456632
- �l�δa��9787122456632 ; 978-7-122-45663-2
- �b����һ���z�漈
- �Ԕ�(sh��)�����o
- ���������o
- ���ٷ��>>
��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ������ɫ
1.ԭ�����ߞ鱾�I(l��ng)���(qu��n)��Hironobu Umemoto������2.ȫ���B������z�����W(xu��)������e��(n��i)�ݻ��A(ch��)��Փ���O(sh��)���O(sh��)Ӌ����̫�늳����댧(d��o)�w�I(l��ng)��đ�(y��ng)�á�
��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ��(n��i)�ݺ���
�����W(xu��)������e(Cat-CVD)������z���W(xu��)������e���������r�לضȵ���300��l���«@���������ĸ��|(zh��)����Ĥ������ϵ�y(t��ng)��B��Cat-CVD���g(sh��)�����������ԭ�����O(sh��)���O(sh��)Ӌ����(y��ng)�������w����Cat-CVD���������A(ch��)�����c���x������(qi��ng)���W(xu��)������e�ą^(q��)�e��Cat-CVD �л��W(xu��)����(y��ng)�ķ�������������ԭ����Cat-CVD ���������W(xu��)���A(ch��)��Cat-CVD�Ƃ�ğo�C(j��)��Ĥ���ܡ����l(f��)���W(xu��)������e(iCVD)�ϳ��ЙC(j��)�ۺ��Cat-CVD�O(sh��)���\(y��n)���е��������A(ch��)�c���g(sh��)��Cat-CVD ��̫�늳غ��N�댧(d��o)�w�����еđ�(y��ng)�á�Cat-CVDϵ�y(t��ng)�еĻ��Ի��F(tu��n)���䑪(y��ng)����*���B������Cat-CVD ǻ���Юa(ch��n)���Ļ��Ի��F(tu��n)���ڵ͜����M(j��n)�а댧(d��o)�w���s��
�����ɹ���Ĥ�Ƃ����P(gu��n)�аl(f��)�ͼ��g(sh��)�ˆT����ʹ������Ҫ�漰�댧(d��o)�w����Ĥ̫�늳ص��I(l��ng)��
��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD Ŀ�
��1�¡����� 001
1.1����Ĥ���g(sh��) 001
1.2��Ca-t CVD ���Q�� 003
1.3��Ca-t CVD �����P(gu��n)���g(sh��)���о��vʷ 003
1.4�������ĽY(ji��)��(g��u) 006
�����īI(xi��n) 006��2�¡�Cat-CVD���������A(ch��)�����cPECVD�ą^(q��)�e 009
2.1�����eǻ���е��������A(ch��) 009
2.1.1�������ܶȼ�������� 009
2.1.2��ƽ�����ɳ� 011
2.1.3�����w�������ײ 014
2.1.4��ǻ���л��F(tu��n)��ͣ���r�g 016
2.2��Ca-t CVD ��PECVD �O(sh��)��IJ 017
2.3��PECVD �Ļ������� 018
2.3.1��PECVD ���Q�� 018
2.3.2�����x���w�Įa(ch��n)�� 018
2.3.3��ֱ�����x���w�c���l���x�� 018
2.3.4���ʌ�늉� 020
2.3.5��PECVD �зֽ�Ļ��F(tu��n)��� 021
2.4��PECVD ���g(sh��)��ȱ�c(di��n)�����Ʒ��� 023
2.4.1�����x���w�p�� 023
2.4.2�����PECVD ���l(f��)�l�� 026
2.4.3�����ʂ�ݔϵ�y(t��ng) 026
2.4.4������e��Ĥ���e�ľ����� 027
2.5��Ca-t CVD �ļ��g(sh��)���c(di��n) 028
���2.A��Si��H ԭ�ӵ�����ע�������Si��H ԭ�ӷֲ���R����ȱ�ݷֲ���Rdefect���Ĵ���Ӌ�� 030
�����īI(xi��n) 032��3�¡�Cat-CVD�л��W(xu��)����(y��ng)�ķ�������������ԭ�� 034
3.1��CVD �^���л��Ի��F(tu��n)����Ҫ�� 034
3.2�����Ի��F(tu��n)�z�y���g(sh��) 035
3.3���ι��Ӽ����T��(d��o)�ɹ⣨LIF�� 036
3.3.1���������� 036
3.3.2���ɑB(t��i)ϵ�y(t��ng)���O(sh��)����Ч�� 037
3.3.3���ɹ�ĸ����� 039
3.3.4����ݗ��˥���^�̵�У�� 039
3.3.5�����Vչ�� 040
3.3.6���ι���LIF �ĵ����b�ú͌�(sh��)�Y(ji��)�� 041
3.3.7�����ӻ��F(tu��n)���D(zhu��n)�Ӻ���ӑB(t��i)�ķֲ� 045
3.3.8���ι���LIF �н^����ȵĹ��� 045
3.4���p���Ӽ����T��(d��o)�ɹ� 046
3.5����ͨ��������⣨VUV���������� 048
3.6������������V���g(sh��) 050
3.6.1����������(qi��ng)������x�� 050
3.6.2����ǻ˥ʎ���V 051
3.6.3�����{(di��o)�C���O�ܼ��������V c2054
3.7���|(zh��)�V�y�����g(sh��) 055
3.7.1��������x�|(zh��)�V�� 055
3.7.2���ֵ��x�|(zh��)�V�� 056
3.7.3���x�Ӹ���ʽ�|(zh��)�V������ 056
3.8����(w��n)�����ӵĚ���M�ɜy�� 056
���3.A��ԭ�Ӻͷ��ӹ��V�W(xu��)��ʹ�õ��g(sh��)�Z��̖ 058
�����īI(xi��n) 058��4�¡������W(xu��)������e���������W(xu��)���A(ch��) 065
4.1��Ca-t CVD �^���еķ��ӄ����W(xu��) 065
4.1.1��Ca-t CVD ǻ���еķ��� 065
4.1.2��Ca-t CVD �cPECVD ���w�����ʌ��� 068
4.1.3����z����e��Ӱ� 068
4.2����z����l(f��)����ʲô����������(y��ng) 069
4.3������ֽ���w�^���еğ�z�ж����} 071
4.4��Ca-t CVD ǻ�҃�(n��i)���w�ضȷֲ� 072
4.5����z����ֽ�C(j��)�������������W(xu��) 073
4.5.1���pԭ�ӷ��ӵĴ��ֽ⣺H2��N2��O2 073
4.5.2��H2O �Ĵ��ֽ� 075
4.5.3��SiH4 ��SiH4 /H2 �Ĵ��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 075
4.5.4��NH3 �Ĵ��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 076
4.5.5��CH4 ��CH4 /H2 �Ĵ��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 078
4.5.6��PH3 ��PH3 /H2 �Ĵ��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 078
4.5.7��B2H6 ��B2H6 /H2 �Ĵ��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 079
4.5.8��H3NBH3 �Ĵ��ֽ�͏���z��ጷ�B ԭ�� 080
4.5.9����������������赪�飨HMDS���Ĵ��ֽ� 081
4.5.10�����ٽz�ϸ��N���Ӵ��ֽ⿂�Y(ji��) 083
4.6��Ca-t CVD ��Si Ĥ���γəC(j��)�� 083
�����īI(xi��n) 084��5�¡�Cat-CVD�Ƃ�ğo�C(j��)��Ĥ���� 089
5.1��Ca-t CVD �Ƃ�Ǿ��裨a-Si�������� 089
5.1.1��a-Si ���A(ch��) 089
5.1.2��Ca-t CVD �Ƃ�a-Si ���A(ch��) 097
5.1.3��Ca-t CVD �Ƃ�a-Si ��һ������ 100
5.1.4��Ca-t CVD �Ƃ�a-Si �C(j��)���������Lģ�� 106
5.2��Ca-t CVD �Ƃ�ྦྷ�裨poly-Si�������裨��c-Si�������� 111
5.2.1�����B(t��i)�象Ĥ�����L 111
5.2.2��Ca-t CVD �Ƃ�poly-Si ��Ĥ�ĽY(ji��)��(g��u) 114
5.2.3��Ca-t CVD �Ƃ�poly-Si ��Ĥ������ 117
5.2.4����c-Si �r�������L���象Ĥ 121
5.3��Ca-t CVD �Ƃ�SiNx ������ 121
5.3.1��SiNx ��Ĥ�đ�(y��ng)�� 121
5.3.2��SiNx ���Ƃ���A(ch��) 121
5.3.3������NH3 ��SiH4 ��Ϛ��Ƃ�SiNx 122
5.3.4������NH3��SiH4 �ʹ���H2 �Ļ�Ϛ��Ƃ�SiNx 128
5.3.5������NH3��SiH4 �ʹ���H2 �Ƃ�SiNx ��Ĥ�ı����_�A���w���� 130
5.3.6������HMDS �Ƃ�Cat-CVD SiNx 131
5.4��Ca-t CVD �Ƃ䵪�����裨SiOx Ny�������� 134
5.4.1������SiH4��NH3��H2��N2 ��O2 ��Ϛ��Ƃ�SiOx Ny ��Ĥ 134
5.4.2������HMDS��NH3��H2 ��O2 ��Ϛ��Ƃ�SiOx Ny ��Ĥ 137
5.5��Ca-t CVD �Ƃ�SiO2 ��Ĥ������ 139
5.6��Ca-t CVD �Ƃ������X��Al2O3����Ĥ������ 141
5.7��Ca-t CVD �Ƃ�AlN ��Ĥ������ 143
5.8��Ca-t CVD �Ƃ�o�C(j��)��Ĥ���Y(ji��) 145
�����īI(xi��n) 146��6�¡����l(f��)���W(xu��)������e��iCVD���ϳ��ЙC(j��)�ۺ��� 151
6.1������ 151
6.2��iCVD ���ϳɾ��ķ���ϩ 152
6.2.1��CVD PTFE ��Ĥ�������x��(y��ng)�� 154
6.2.2������z���ό�PTFE ���e��Ӱ� 156
6.3��iCVD �ęC(j��)�� 158
6.3.1�����l(f��)�������Ƅ� 158
6.3.2�����w������ 159
6.3.3�����e���ʺͷ����� 160
6.3.4�����۷���(y��ng) 162
6.3.5�������� 162
6.4��iCVD �Ƃ���й�������������Ժ�푑�(y��ng)���ЙC(j��)��Ĥ 164
6.4.1���ۼ���ϩ��sˮ��������PGMA�������ܺ͑�(y��ng)�� 170
6.4.2����ȫ���N�����܈F(tu��n)��iCVD ��Ĥ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 171
6.4.3���ۼ���ϩ���u������PHEMA�� ���乲������|(zh��)�͑�(y��ng)�� 174
6.4.4���ЙC(j��)������ЙC(j��)�赪�飺���|(zh��)�͑�(y��ng)�� 177
6.4.5������ϩ��4-��������ϩ�Ͷ���ϩ������iCVD �ۺ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 181
6.4.6������ϩ���Ҷ�������EGDA�� �Ͷ�����ϩ���Ҷ�������EGDMA����iCVD �ۺ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 183
6.4.7�������x���;ۺ���Ͷ��x���;ۺ���iCVD ��Ĥ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 184
6.4.8��iCVD���ǻ۱��桱�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 185
6.5��iCVD ���湤�̣�𤸽�c��֦ 190
6.6��iCVD �ϳ��ЙC(j��)��Ĥ�ķ���(y��ng)�b�� 192
6.7��iCVD ���Y(ji��)��δ��չ�� 194
�����īI(xi��n) 196��7�¡�Cat-CVD�O(sh��)���\(y��n)���е��������A(ch��)�c���g(sh��) 207
7.1��Ca-t CVD �O(sh��)���К��w������Ӱ� 207
7.1.1���L�A����ǻ�Ҝ�(zh��n)������(sh��)� 207
7.1.2���A����ǻ����SiH4 ���ѽ���� 209
7.2���Q����Ĥ�����Ե����� 210
7.2.1������z�c�r��֮�g���P(gu��n)ϵ�ı��_(d��)ʽ 210
7.2.2����Ĥ��Ⱦ����Թ����e�� 211
7.3������z�İ��b�ܶȘO�� 212
7.4������z�ğ�ݗ�� 213
7.4.1����ݗ����A(ch��) 213
7.4.2����ݗ��l�����r�לضȵĿ��� 214
7.4.3��CVD ϵ�y(t��ng)�ğ�ݗ�� 216
7.5������z����Ⱦ 217
7.5.1������z���ϵ���Ⱦ 217
7.5.2�������s�|(zh��)��Ⱦ 218
7.5.3������zጷ��s�|(zh��)�����ܶ� 221
7.6������z�ĉ����������L���� 221
7.6.1������ 221
7.6.2���u����z�軯����γ� 222
7.6.3���g����z�軯����γ� 227
7.6.4���u����B̼���ƹ軯����γ� 229
7.6.5���g����z�����L������ķ��� 230
7.6.6��ʹ��TaC ���L���� 230
7.6.7��ʹ�������g�Ͻ����L���� 231
7.6.8���u����z�ں�̼?x��)���еĉ��?232
7.6.9��iCVD ��ʹ�õ��L��������z 234
7.7��ǻ�ҵ��坍 235
7.8���a(ch��n)�I(y��)�����a(ch��n)�O(sh��)��F(xi��n)�� 237
7.8.1�����ڻ�����댧(d��o)�w��Ca-t CVD ���a(ch��n)�O(sh��)�� 237
7.8.2�����ڴ���e���e�����a(ch��n)��Ca-t CVD �O(sh��)�� 238
7.8.3��PET ƿͿĤ�õ�Ca-t CVD �O(sh��)�� 241
7.8.4�������a(ch��n)�I(y��)�����a(ch��n)�O(sh��)���ԭ�͙C(j��) 242
�����īI(xi��n) 242��8�¡�Cat-CVD���g(sh��)�đ�(y��ng)�� 245
8.1��Ca-t CVD �Ěvʷ�������о��c��(y��ng)�� 245
8.2����̫�늳��еđ�(y��ng)�� 246
8.2.1�����Ͻ�Ĥ̫�늳� 246
8.2.2��c-Si ̫�늳� 256
8.2.3��a-Si/c-Si ���|(zh��)�Y(ji��)̫�늳� 259
8.3���ڱ�Ĥ���w�ܣ�TFT���еđ�(y��ng)�� 262
8.3.1��a-Si TFT 262
8.3.2��poly-Si TFT 266
8.4�����g��������댧(d��o)�w���������еđ�(y��ng)�� 268
8.4.1��GaAs ������w���ʾ��w�ܣ�HEMT�����g�� 268
8.4.2�������l���w�ܵ��g�� 269
8.4.3���댧(d��o)�w���������g�� 270
8.5���ڳ���Ҏ(gu��)ģ�����·��ULSI�����I(y��)�еđ�(y��ng)�� 270
8.6�����������������ЙC(j��)���������������Ĥ�đ�(y��ng)�� 271
8.6.1��OLED �ßo�C(j��)���ĤSiNx /SiOx Ny 271
8.6.2���o�C(j��)/�ЙC(j��)�B�����Ĥ 274
8.6.3������ʳƷ���b�����Ĥ 278
8.7��������(y��ng)�ú�ĿǰCa-t CVD ��(y��ng)�ÿ��Y(ji��) ��9�¡�Cat-CVDϵ�y(t��ng)�еĻ��Ի��F(tu��n)���䑪(y��ng)�� 286
9.1���ߝ��H ԭ�ӵĮa(ch��n)����ݔ�\(y��n) 286
9.1.1���ߝ��H ԭ�ӵĮa(ch��n)�� 286
9.1.2��H ԭ�ӵ�ݔ�\(y��n) 288
9.2��Ca-t CVD �O(sh��)����H ԭ�ӵ��坍�Ϳ��g��(y��ng)�� 291
9.2.1�����gc-Si 291
9.2.2��̼��Ⱦ������坍 292
9.3��H ԭ�ӌ�����z��ȥ������ 294
9.4��H ԭ�ӌ������������߀ԭ���� 298
9.4.1����ͬ�����������߀ԭ 298
9.4.2��H ԭ�ӌ�����������댧(d��o)�w���ܵ��{(di��o)�� 299
9.5��H ԭ����Һ�B(t��i)�{�ϵ͜��γɸ�늌�(d��o)���پ��еđ�(y��ng)�� 300
9.6���͜ر��������������������� 301
9.7���͜ر��浪������c-Si ��GaAs �ġ��������� 306
9.8���������W(xu��)�R�䡱��һ�N���ڻ��Ի��F(tu��n)�����ͱ�Ĥ���e���� 313
�����īI(xi��n) 314��10�¡������s��һ�N���͵͜�?f��)��s���g(sh��) 316
10.1������ 316
10.2�������s�F(xi��n)��İl(f��)�F(xi��n)�^�� 317
10.3��c-Si �ĵ͜غͽ������ד��s 318
10.3.1�������擽�s�ӵ�����ܜy�� 318
10.3.2�������s�s�|(zh��)��ȷֲ���SIMS ���� 322
10.3.3���U(ku��)ɢϵ��(sh��)�Ĺ��� 326
10.3.4�������sP ԭ�ӵ����� 327
10.3.5�������s�ęC(j��)�� 330
10.4��c-Si �ĵ͜����s 335
10.5��a-Si �Ĵ����s 338
10.6�������s���g(sh��)�đ�(y��ng)�ü������� 340
10.6.1�������s�{(di��o)�ر���늄�(sh��)�F(xi��n)���|(zh��)���g�� 340
10.6.2��a-Si �Ĵ����s�����ڮ��|(zh��)�Y(ji��)̫�늳��еđ�(y��ng)�� 342
�����īI(xi��n) 344
չ�_ȫ��
��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ���ߺ���
�ɴ�Ӣ�䣨Hideki Matsumura������ʿ���ձ�����ȶ˿ƌW(xu��)���g(sh��)��W(xu��)Ժ��W(xu��)��JAIST�����ϿƌW(xu��)�W(xu��)Ժ�s�u(y��)������÷��������Hironobu Umemoto������ʿ���ձ��o����W(xu��)���̌W(xu��)Ժ���W(xu��)�c���﹤�̌��I(y��)����������������ɭ��Karen K.Gleason������ʿ��������ʡ�����W(xu��)ԺAlexander��I. Michael Kasser���W(xu��)���̽��������̄�(w��)�L���ε¡�ʩ�_�գ�Ruud E.I.Schropp������ʿ�����m�������������W(xu��)Solliance̫����о������о��T���S���e�������h�ɷ��댧(d��o)�w���g(sh��)����˾�����L������(n��i)֪�����|(zh��)�Y(ji��)̫�늳،�������Ҫ�о������̫�늳������Y(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ��ģ�M�������a(ch��n)�I(y��)���Ƃ似�g(sh��)�c�b�����댧(d��o)�w��Ĥ�Ƃ似�g(sh��)�c�b���������ң��Ͼ����պ����W(xu��)��������̫���ϿƌW(xu��)ԺԺʿ����Ҫ���¹�����댧(d��o)�w���ܲ��Ϸ�����о���
Hironobu Umemoto����ʿ���ձ�����ȶ˿ƌW(xu��)���g(sh��)��W(xu��)Ժ��W(xu��)���όW(xu��)Ժ���u(y��)���ڡ�
Hironobu Umemot�� ��ʿ���o����W(xu��)���̌W(xu��)Ժ���W(xu��)�c���﹤��ϵ���ڲ�ʿ���o����W(xu��)���̌W(xu��)Ժ���W(xu��)�c���﹤��ϵ������
Karen K. Gleason ����ʿ��������ʡ�����W(xu��)Ժ���̄�(w��)�L��
Ruud E. I. Schropp ����ʿ�����m������� Solliance ̫����о���˾�о��T��
�S���e�������h�ɷ��댧(d��o)�w���g(sh��)����˾�������L���ϲ���W(xu��)������
���������Ͼ����պ����W(xu��)�����ڡ�