�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո | ע��
> >>
��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD

���] ��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD

�����磺���W(xu��)���I(y��)����������r�g��2024-07-01
�_���� 27cm 퓔�(sh��)�� 345�
�� �D �r:¥138.6(7.0��) ���r  ¥198.0 ��䛺�ɿ������T�r
����ُ��܇ �ղ�
�_������ ȫ�����]
?�½������س���
������Ǖ�����>

��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ���(qu��n)��Ϣ

��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ������ɫ

1.ԭ�����ߞ鱾�I(l��ng)���(qu��n)��Hironobu Umemoto������2.ȫ���B�߻�����z�����W(xu��)������e��(n��i)�ݻ��A(ch��)��Փ���O(sh��)���O(sh��)Ӌ����̫�늳����댧(d��o)�w�I(l��ng)��đ�(y��ng)�á�

��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ��(n��i)�ݺ���

�߻����W(xu��)������e(Cat-CVD)������z���W(xu��)������e���������r�לضȵ���300��l���«@���������ĸ��|(zh��)����Ĥ������ϵ�y(t��ng)��B��Cat-CVD���g(sh��)�����������ԭ�����O(sh��)���O(sh��)Ӌ����(y��ng)�������w����Cat-CVD���������A(ch��)�����c���x������(qi��ng)���W(xu��)������e�ą^(q��)�e��Cat-CVD �л��W(xu��)����(y��ng)�ķ�������������ԭ����Cat-CVD ���������W(xu��)���A(ch��)��Cat-CVD�Ƃ�ğo�C(j��)��Ĥ���ܡ����l(f��)���W(xu��)������e(iCVD)�ϳ��ЙC(j��)�ۺ��Cat-CVD�O(sh��)���\(y��n)���е��������A(ch��)�c���g(sh��)��Cat-CVD ��̫�늳غ͸��N�댧(d��o)�w�����еđ�(y��ng)�á�Cat-CVDϵ�y(t��ng)�еĻ��Ի��F(tu��n)���䑪(y��ng)����*���B������Cat-CVD ǻ���Юa(ch��n)���Ļ��Ի��F(tu��n)���ڵ͜����M(j��n)�а댧(d��o)�w���s�� �����ɹ���Ĥ�Ƃ����P(gu��n)�аl(f��)�ͼ��g(sh��)�ˆT����ʹ������Ҫ�漰�댧(d��o)�w����Ĥ̫�늳ص��I(l��ng)��

��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD Ŀ�

��1�¡����� 001 1.1����Ĥ���g(sh��) 001 1.2��Ca-t CVD ���Q�� 003 1.3��Ca-t CVD �����P(gu��n)���g(sh��)���о��vʷ 003 1.4�������ĽY(ji��)��(g��u) 006 �����īI(xi��n) 006��2�¡�Cat-CVD���������A(ch��)�����cPECVD�ą^(q��)�e 009 2.1�����eǻ���е��������A(ch��) 009 2.1.1�������ܶȼ�������� 009 2.1.2��ƽ�����ɳ� 011 2.1.3�����w�������ײ 014 2.1.4��ǻ���л��F(tu��n)��ͣ���r�g 016 2.2��Ca-t CVD ��PECVD �O(sh��)��IJ 017 2.3��PECVD �Ļ������� 018 2.3.1��PECVD ���Q�� 018 2.3.2�����x���w�Įa(ch��n)�� 018 2.3.3��ֱ�����x���w�c���l���x�� 018 2.3.4���ʌ�늉� 020 2.3.5��PECVD �зֽ�Ļ��F(tu��n)��� 021 2.4��PECVD ���g(sh��)��ȱ�c(di��n)�����Ʒ��� 023 2.4.1�����x���w�p�� 023 2.4.2�����PECVD ���l(f��)�l�� 026 2.4.3�����ʂ�ݔϵ�y(t��ng) 026 2.4.4������e��Ĥ���e�ľ����� 027 2.5��Ca-t CVD �ļ��g(sh��)���c(di��n) 028 ���2.A��Si��H ԭ�ӵ�����ע�������Si��H ԭ�ӷֲ���R����ȱ�ݷֲ���Rdefect���Ĵ���Ӌ�� 030 �����īI(xi��n) 032��3�¡�Cat-CVD�л��W(xu��)����(y��ng)�ķ�������������ԭ�� 034 3.1��CVD �^���л��Ի��F(tu��n)����Ҫ�� 034 3.2�����Ի��F(tu��n)�z�y���g(sh��) 035 3.3���ι��Ӽ����T��(d��o)�ɹ⣨LIF�� 036 3.3.1���������� 036 3.3.2���ɑB(t��i)ϵ�y(t��ng)���O(sh��)����Ч�� 037 3.3.3���ɹ�ĸ����� 039 3.3.4����ݗ��˥���^�̵�У�� 039 3.3.5�����Vչ�� 040 3.3.6���ι���LIF �ĵ����b�ú͌�(sh��)�Y(ji��)�� 041 3.3.7�����ӻ��F(tu��n)���D(zhu��n)�Ӻ���ӑB(t��i)�ķֲ� 045 3.3.8���ι���LIF �н^����ȵĹ��� 045 3.4���p���Ӽ����T��(d��o)�ɹ� 046 3.5����ͨ��������⣨VUV���������� 048 3.6������������V���g(sh��) 050 3.6.1����������(qi��ng)������x�� 050 3.6.2����ǻ˥ʎ���V 051 3.6.3�����{(di��o)�C���O�ܼ��������V c2054 3.7���|(zh��)�V�y�����g(sh��) 055 3.7.1��������x�|(zh��)�V�� 055 3.7.2���ֵ��x�|(zh��)�V�� 056 3.7.3���x�Ӹ���ʽ�|(zh��)�V������ 056 3.8����(w��n)�����ӵĚ���M�ɜy�� 056 ���3.A��ԭ�Ӻͷ��ӹ��V�W(xu��)��ʹ�õ��g(sh��)�Z��̖ 058 �����īI(xi��n) 058��4�¡��߻����W(xu��)������e���������W(xu��)���A(ch��) 065 4.1��Ca-t CVD �^���еķ��ӄ����W(xu��) 065 4.1.1��Ca-t CVD ǻ���еķ��� 065 4.1.2��Ca-t CVD �cPECVD ���w�����ʌ��� 068 4.1.3����z����e��Ӱ� 068 4.2����z����l(f��)����ʲô�����߻�����(y��ng) 069 4.3������ֽ���w�^���еğ�z�ж����} 071 4.4��Ca-t CVD ǻ�҃�(n��i)���w�ضȷֲ� 072 4.5����z����ֽ�C(j��)�������������W(xu��) 073 4.5.1���pԭ�ӷ��ӵĴ߻��ֽ⣺H2��N2��O2 073 4.5.2��H2O �Ĵ߻��ֽ� 075 4.5.3��SiH4 ��SiH4 /H2 �Ĵ߻��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 075 4.5.4��NH3 �Ĵ߻��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 076 4.5.5��CH4 ��CH4 /H2 �Ĵ߻��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 078 4.5.6��PH3 ��PH3 /H2 �Ĵ߻��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 078 4.5.7��B2H6 ��B2H6 /H2 �Ĵ߻��ֽ⼰���m(x��)���෴��(y��ng) 079 4.5.8��H3NBH3 �Ĵ߻��ֽ�͏��𻯟�z��ጷ�B ԭ�� 080 4.5.9���׻���������׻����赪�飨HMDS���Ĵ߻��ֽ� 081 4.5.10�����ٽz�ϸ��N���Ӵ߻��ֽ⿂�Y(ji��) 083 4.6��Ca-t CVD ��Si Ĥ���γəC(j��)�� 083 �����īI(xi��n) 084��5�¡�Cat-CVD�Ƃ�ğo�C(j��)��Ĥ���� 089 5.1��Ca-t CVD �Ƃ�Ǿ��裨a-Si�������� 089 5.1.1��a-Si ���A(ch��) 089 5.1.2��Ca-t CVD �Ƃ�a-Si ���A(ch��) 097 5.1.3��Ca-t CVD �Ƃ�a-Si ��һ������ 100 5.1.4��Ca-t CVD �Ƃ�a-Si �C(j��)���������Lģ�� 106 5.2��Ca-t CVD �Ƃ�ྦྷ�裨poly-Si����΢���裨��c-Si�������� 111 5.2.1�����B(t��i)�象Ĥ�����L 111 5.2.2��Ca-t CVD �Ƃ�poly-Si ��Ĥ�ĽY(ji��)��(g��u) 114 5.2.3��Ca-t CVD �Ƃ�poly-Si ��Ĥ������ 117 5.2.4����c-Si �r�������L���象Ĥ 121 5.3��Ca-t CVD �Ƃ�SiNx ������ 121 5.3.1��SiNx ��Ĥ�đ�(y��ng)�� 121 5.3.2��SiNx ���Ƃ���A(ch��) 121 5.3.3������NH3 ��SiH4 ��Ϛ��Ƃ�SiNx 122 5.3.4������NH3��SiH4 �ʹ���H2 �Ļ�Ϛ��Ƃ�SiNx 128 5.3.5������NH3��SiH4 �ʹ���H2 �Ƃ�SiNx ��Ĥ�ı����_�A���w���� 130 5.3.6������HMDS �Ƃ�Cat-CVD SiNx 131 5.4��Ca-t CVD �Ƃ䵪�����裨SiOx Ny�������� 134 5.4.1������SiH4��NH3��H2��N2 ��O2 ��Ϛ��Ƃ�SiOx Ny ��Ĥ 134 5.4.2������HMDS��NH3��H2 ��O2 ��Ϛ��Ƃ�SiOx Ny ��Ĥ 137 5.5��Ca-t CVD �Ƃ�SiO2 ��Ĥ������ 139 5.6��Ca-t CVD �Ƃ������X��Al2O3����Ĥ������ 141 5.7��Ca-t CVD �Ƃ�AlN ��Ĥ������ 143 5.8��Ca-t CVD �Ƃ�o�C(j��)��Ĥ���Y(ji��) 145 �����īI(xi��n) 146��6�¡����l(f��)���W(xu��)������e��iCVD���ϳ��ЙC(j��)�ۺ��� 151 6.1������ 151 6.2��iCVD ���ϳɾ��ķ���ϩ 152 6.2.1��CVD PTFE ��Ĥ�������x�񼰑�(y��ng)�� 154 6.2.2���߻���z���ό�PTFE ���e��Ӱ� 156 6.3��iCVD �ęC(j��)�� 158 6.3.1�����l(f��)�������Ƅ� 158 6.3.2�����w������ 159 6.3.3�����e���ʺͷ����� 160 6.3.4�����۷���(y��ng) 162 6.3.5�������� 162 6.4��iCVD �Ƃ���й�������������Ժ�푑�(y��ng)���ЙC(j��)��Ĥ 164 6.4.1���ۼ׻���ϩ��sˮ��������PGMA�������ܺ͑�(y��ng)�� 170 6.4.2����ȫ���N�����܈F(tu��n)��iCVD ��Ĥ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 171 6.4.3���ۼ׻���ϩ���u������PHEMA�� ���乲������|(zh��)�͑�(y��ng)�� 174 6.4.4���ЙC(j��)������ЙC(j��)�赪�飺���|(zh��)�͑�(y��ng)�� 177 6.4.5������ϩ��4-��������ϩ�Ͷ���ϩ������iCVD �ۺ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 181 6.4.6������ϩ���Ҷ�������EGDA�� �Ͷ��׻���ϩ���Ҷ�������EGDMA����iCVD �ۺ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 183 6.4.7�������x���;ۺ���Ͷ��x���;ۺ���iCVD ��Ĥ�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 184 6.4.8��iCVD���ǻ۱��桱�����|(zh��)�͑�(y��ng)�� 185 6.5��iCVD ���湤�̣�𤸽�c��֦ 190 6.6��iCVD �ϳ��ЙC(j��)��Ĥ�ķ���(y��ng)�b�� 192 6.7��iCVD ���Y(ji��)��δ��չ�� 194 �����īI(xi��n) 196��7�¡�Cat-CVD�O(sh��)���\(y��n)���е��������A(ch��)�c���g(sh��) 207 7.1��Ca-t CVD �O(sh��)���К��w������Ӱ� 207 7.1.1���L�A����ǻ�Ҝ�(zh��n)������(sh��)� 207 7.1.2���A����ǻ����SiH4 ���ѽ���� 209 7.2���Q����Ĥ�����Ե����� 210 7.2.1���߻���z�c�r��֮�g�׺��P(gu��n)ϵ�ı��_(d��)ʽ 210 7.2.2����Ĥ��Ⱦ����Թ����e�� 211 7.3���߻���z�İ��b�ܶȘO�� 212 7.4���߻���z�ğ�ݗ�� 213 7.4.1����ݗ����A(ch��) 213 7.4.2����ݗ��l�����r�לضȵĿ��� 214 7.4.3��CVD ϵ�y(t��ng)�ğ�ݗ�� 216 7.5���߻���z����Ⱦ 217 7.5.1���߻���z���ϵ���Ⱦ 217 7.5.2�������s�|(zh��)��Ⱦ 218 7.5.3���߻���zጷ��s�|(zh��)�����ܶ� 221 7.6���߻���z�ĉ����������L���� 221 7.6.1������ 221 7.6.2���u�߻���z�軯����γ� 222 7.6.3���g�߻���z�軯����γ� 227 7.6.4���u����B̼���ƹ軯����γ� 229 7.6.5���g�߻���z�����L������ķ��� 230 7.6.6��ʹ��TaC ���L���� 230 7.6.7��ʹ�������g�Ͻ����L���� 231 7.6.8���u�߻���z�ں�̼?x��)���еĉ��?232 7.6.9��iCVD ��ʹ�õ��L�����߻���z 234 7.7��ǻ�ҵ��坍 235 7.8���a(ch��n)�I(y��)�����a(ch��n)�O(sh��)��F(xi��n)�� 237 7.8.1�����ڻ�����댧(d��o)�w��Ca-t CVD ���a(ch��n)�O(sh��)�� 237 7.8.2�����ڴ���e���e�����a(ch��n)��Ca-t CVD �O(sh��)�� 238 7.8.3��PET ƿͿĤ�õ�Ca-t CVD �O(sh��)�� 241 7.8.4�������a(ch��n)�I(y��)�����a(ch��n)�O(sh��)���ԭ�͙C(j��) 242 �����īI(xi��n) 242��8�¡�Cat-CVD���g(sh��)�đ�(y��ng)�� 245 8.1��Ca-t CVD �Ěvʷ�������о��c��(y��ng)�� 245 8.2����̫�늳��еđ�(y��ng)�� 246 8.2.1����͹�Ͻ�Ĥ̫�늳� 246 8.2.2��c-Si ̫�늳� 256 8.2.3��a-Si/c-Si ���|(zh��)�Y(ji��)̫�늳� 259 8.3���ڱ�Ĥ���w�ܣ�TFT���еđ�(y��ng)�� 262 8.3.1��a-Si TFT 262 8.3.2��poly-Si TFT 266 8.4�����g��������댧(d��o)�w���������еđ�(y��ng)�� 268 8.4.1��GaAs ������w���ʾ��w�ܣ�HEMT�����g�� 268 8.4.2�������l���w�ܵ��g�� 269 8.4.3���댧(d��o)�w���������g�� 270 8.5���ڳ���Ҏ(gu��)ģ�����·��ULSI�����I(y��)�еđ�(y��ng)�� 270 8.6�����������������ЙC(j��)���������������Ĥ�đ�(y��ng)�� 271 8.6.1��OLED �ßo�C(j��)���ĤSiNx /SiOx Ny 271 8.6.2���o�C(j��)/�ЙC(j��)�B�����Ĥ 274 8.6.3������ʳƷ���b�����Ĥ 278 8.7��������(y��ng)�ú�ĿǰCa-t CVD ��(y��ng)�ÿ��Y(ji��) ��9�¡�Cat-CVDϵ�y(t��ng)�еĻ��Ի��F(tu��n)���䑪(y��ng)�� 286 9.1���ߝ��H ԭ�ӵĮa(ch��n)����ݔ�\(y��n) 286 9.1.1���ߝ��H ԭ�ӵĮa(ch��n)�� 286 9.1.2��H ԭ�ӵ�ݔ�\(y��n) 288 9.2��Ca-t CVD �O(sh��)����H ԭ�ӵ��坍�Ϳ��g��(y��ng)�� 291 9.2.1�����gc-Si 291 9.2.2��̼��Ⱦ������坍 292 9.3��H ԭ�ӌ�����z��ȥ������ 294 9.4��H ԭ�ӌ������������߀ԭ���� 298 9.4.1����ͬ�����������߀ԭ 298 9.4.2��H ԭ�ӌ�����������댧(d��o)�w���ܵ��{(di��o)�� 299 9.5��H ԭ����Һ�B(t��i)�{�ϵ͜��γɸ�늌�(d��o)���پ��еđ�(y��ng)�� 300 9.6���͜ر��������������߻������� 301 9.7���͜ر��浪������c-Si ��GaAs �ġ��߻������� 306 9.8�����߻����W(xu��)�R�䡱��һ�N���ڻ��Ի��F(tu��n)�����ͱ�Ĥ���e���� 313 �����īI(xi��n) 314��10�¡��߻����s��һ�N���͵͜�?f��)��s���g(sh��) 316 10.1������ 316 10.2���߻����s�F(xi��n)��İl(f��)�F(xi��n)�^�� 317 10.3��c-Si �ĵ͜غͽ������ד��s 318 10.3.1�������擽�s�ӵ�����ܜy�� 318 10.3.2���߻����s�s�|(zh��)��ȷֲ���SIMS ���� 322 10.3.3���U(ku��)ɢϵ��(sh��)�Ĺ��� 326 10.3.4���߻����sP ԭ�ӵ����� 327 10.3.5���߻����s�ęC(j��)�� 330 10.4��c-Si �ĵ͜����s 335 10.5��a-Si �Ĵ߻����s 338 10.6���߻����s���g(sh��)�đ�(y��ng)�ü������� 340 10.6.1���߻����s�{(di��o)�ر���늄݌�(sh��)�F(xi��n)���|(zh��)���g�� 340 10.6.2��a-Si �Ĵ߻����s�����ڮ��|(zh��)�Y(ji��)̫�늳��еđ�(y��ng)�� 342 �����īI(xi��n) 344
չ�_ȫ��

��z���W(xu��)������e���g(sh��):technology and applications of Cat-CVD ���ߺ���

�ɴ�Ӣ�䣨Hideki Matsumura������ʿ���ձ�����ȶ˿ƌW(xu��)���g(sh��)��W(xu��)Ժ��W(xu��)��JAIST�����ϿƌW(xu��)�W(xu��)Ժ�s�u(y��)������÷��������Hironobu Umemoto������ʿ���ձ��o����W(xu��)���̌W(xu��)Ժ���W(xu��)�c���﹤�̌��I(y��)����������������ɭ��Karen K.Gleason������ʿ��������ʡ�����W(xu��)ԺAlexander��I. Michael Kasser���W(xu��)���̽��������̄�(w��)�L���ε¡�ʩ�_�գ�Ruud E.I.Schropp������ʿ�����m�������������W(xu��)Solliance̫����о����߼��о��T���S���e�������h�ɷ��댧(d��o)�w���g(sh��)���޹�˾�����L������(n��i)֪�����|(zh��)�Y(ji��)̫�늳،�������Ҫ�о������̫�늳������Y(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ��ģ�M�������a(ch��n)�I(y��)���Ƃ似�g(sh��)�c�b�����댧(d��o)�w��Ĥ�Ƃ似�g(sh��)�c�b���������ң��Ͼ����պ����W(xu��)��������̫���ϿƌW(xu��)ԺԺʿ����Ҫ���¹�����댧(d��o)�w���ܲ��Ϸ�����о��� Hironobu Umemoto����ʿ���ձ�����ȶ˿ƌW(xu��)���g(sh��)��W(xu��)Ժ��W(xu��)���όW(xu��)Ժ���u(y��)���ڡ� Hironobu Umemot�� ��ʿ���o����W(xu��)���̌W(xu��)Ժ���W(xu��)�c���﹤��ϵ���ڲ�ʿ���o����W(xu��)���̌W(xu��)Ժ���W(xu��)�c���﹤��ϵ������ Karen K. Gleason ����ʿ��������ʡ�����W(xu��)Ժ���̄�(w��)�L�� Ruud E. I. Schropp ����ʿ�����m������� Solliance ̫����о���˾�о��T�� �S���e�������h�ɷ��댧(d��o)�w���g(sh��)���޹�˾�������L���ϲ���W(xu��)������ ���������Ͼ����պ����W(xu��)�����ڡ�

��Ʒ�uՓ(0�l)
���o�uՓ����
�������]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�