���] �V�|(zh��)�ͻ�����Ƃ��c����

1 �V�|(zh��)�ͻ�����о��śr 1.1 �о����� 1.2 �V�|(zh��)�ͻ���� 1.3 �Vɰ 1.3.1 �Vɰ��� 1.3.2 ���Y(ji��)�Vɰ�о��M(j��n)չ 1.4 �V�ϙ�ʯ 1.4.1 �V�ϙ�ʯ�������|(zh��) 1.4.2 �V�ϙ�ʯ�ϳɼ���(y��ng)���о��M(j��n)չ 1.5 �V�X�⾧ʯ 1.5.1 �V�ϙ�ʯ�������|(zh��) 1.5.2 �V�X�⾧ʯ�ϳɼ���(y��ng)���о��M(j��n)չ 1.6 �V̼�ͻ���� 1.6.1 �V̼�|(zh��)�ͻ���ϽM�� 1.6.2 ��̼�V̼�ͻ�����о��M(j��n)չ 1.7 �V�|(zh��)��(f��)���ͻ�����о��M(j��n)չ 2 ���Y(ji��)�Vɰ���Ƃ䅢��(sh��) 2.1 ԭ�������̼��yԇ���� 2.1.1 ��(sh��)�(y��n)ԭ�� 2.1.2 �Ƃ����� 2.1.3 �yԇ���������� 2.2 ��ĥ��ˇ�����Y(ji��)�Vɰ���ܻ���Ӱ� 2.3 �p���ضȌ����Y(ji��)�Vɰ���ܻ���Ӱ� 2.4 ���V�V���Ȍ����Y(ji��)�Vɰ���ܻ���Ӱ� 2.5 ���ܻ��О�͟��Y(ji��)�C(j��)������ 3 ���Y(ji��)�Vɰ�ĽY(ji��)��(g��u)�{(di��o)�ؼ����܃�(y��u)�� 3.1 �����X�������|�����Y(ji��)�Vɰ�Y(ji��)��(g��u)�����ܵ�Ӱ� 3.1.1 ԭ�ϡ����̼��yԇ���� 3.1.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 3.1.3 �������L�О鼰�C(j��)������ 3.2 ���w���и�U�ό����Y(ji��)�Vɰ�Y(ji��)��(g��u)�����ܵ�Ӱ� 3.2.1 ԭ�������̼��yԇ���� 3.2.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 3.2.3 �׽Y(ji��)��(g��u)�ݻ��О鼰�C(j��)������ 4 ���ܷ��Vʯ�V�ϙ�ʯ�ͻ���ϵ��Ƃ估���� 4.1 �����W(xu��)�u�� 4.1.1 ���V�Vβ�V�����W(xu��)���� 4.1.2 ���w���и�U�ϟ����W(xu��)���� 4.2 ԭ�ϡ����̼��yԇ���� 4.2.1 ��(sh��)�(y��n)ԭ�� 4.2.2 �Ƃ����� 4.2.3 �yԇ���������� 4.3 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 4.4 �Ŵ�(sh��)�(y��n)�����܌��� 5 ��׷��Vʯ�V�ϙ�ʯ�ͻ���ϵ��Ƃ估���� 5.1 �����X����׷��Vʯ�V�ϙ�ʯ�Y(ji��)��(g��u)�����ܵ�Ӱ� 5.1.1 ԭ�������̼��yԇ���� 5.1.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 5.1.3 �����X����(qi��ng)�C(j��)������ 5.2 �����|����׷��Vʯ�V�ϙ�ʯ�Y(ji��)��(g��u)�����ܵ�Ӱ� 5.2.1 ԭ�ϡ����̼��yԇ���� 5.2.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 5.2.3 �����|����(qi��ng)�C(j��)������ 6 ��(f��)�����������ӄ�����̼�V̼�ͻ�������ܵ�Ӱ� 6.1 ԭ�������̼��yԇ���� 6.1.1 ��(sh��)�(y��n)ԭ�� 6.1.2 �Ƃ����� 6.1.3 �yԇ���������� 6.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 7 �����X̼�����(f��)�����ӄ��ĺϳɼ����� 7.1 ԭ�������̼��yԇ���� 7.1.1 ��(sh��)�(y��n)ԭ�� 7.1.2 �Ƃ����� 7.1.3 �yԇ���������� 7.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 7.2.1 �Б�(y��ng)�ӟᷨ�Ƃ�Al2O3-SiC��(f��)�Ϸ��w 7.2.2 ��̼���Ƃ�Al2O3-SiC��(f��)�Ϸ��w 7.3 ̼��߀ԭ����(y��ng)�C(j��)������ 8 �ϳɏ�(f��)�����ӄ�����̼�V̼�ͻ�������ܵ�Ӱ� 8.1 ԭ�ϡ����̼��yԇ���� 8.1.1 ��(sh��)�(y��n)ԭ�� 8.1.2 �Ƃ����� 8.1.3 �yԇ���������� 8.2 ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���c���� 8.2.1 �ͻ�������Ə�(f��)�Ϸ��w 8.2.2 늴ɏU�����Ə�(f��)�Ϸ��w 8.3 ��(f��)�Ϸ��w����(qi��ng)�C(j��)������ �����īI(xi��n)