���] �C(j��)е�W(xu��)���A(ch��)

��1�� �C(j��)��(g��u)�ĽM�ɼ�ƽ���B�U�C(j��)��(g��u)
1��1 ƽ��C(j��)��(g��u)���\(y��n)�Ӻ��D�����ɶ�
1��2 �q��ėU�C(j��)��(g��u)�Ļ�����ʽ������
1��3 �q��ėU�C(j��)��(g��u)���������ڗl��
1��4 �q��ėU�C(j��)��(g��u)���ݻ�
1��5 ƽ���B�U�C(j��)��(g��u)���O(sh��)Ӌ(j��)
��(x��)�}
��2�� ͹݆�c�gЪ�\(y��n)�әC(j��)��(g��u)
2��1 ͹݆�C(j��)��(g��u)
2��2 ͹݆݆���O(sh��)Ӌ(j��)
2��3 ͹݆�O(sh��)Ӌ(j��)�еĎׂ����}
2��4 �gЪ�\(y��n)�әC(j��)��(g��u)
��(x��)�}
��3�� �X݆�C(j��)��(g��u)
3��1 ����
3��2 �X�����ϵĻ�������
3��3 �u�_���X�κ͝u�_���X݆���ӵ����c(di��n)
3��4 �X݆���������Q����̖���u�_����(bi��o)��(zh��n)�A��ֱ�X݆�Ď׺γߴ�Ӌ(j��)��
3��5 �u�_���X݆���_�B�m(x��)���ϗl��
3��6 �X݆�ӹ�ԭ���͸��ЬF(xi��n)��
3��7 ׃λ�X݆
3��8 б�X�A���X݆����
3��9 ֱ�X�A�F�X݆����
3��10 ΁�U����
3��11 ݆ϵ
��(x��)�}
��4�� ��(g��u)�������������cӋ(j��)��
4��1 �o���W(xu��)�Ļ�����������w����������
4��2 ƽ��R����ϵ�ĺϳ��cƽ��
4��3 �����c(di��n)�ľء�ƽ����żϵ�ĺϳ��cƽ��
4��4 ƽ��һ����ϵ�ĺ�����ƽ��
4��5 Ħ��
4��6 ���g��ϵ
��(x��)�}
��5�� �C(j��)е���̳��ò��ϼ��乤������
5��1 ����
5��2 ���ٲ��ϵęC(j��)е����
5��3 ���õĹ��̲���
5��4 ���ٲ��ϵğ�̎���c���澫�
��(x��)�}
��6�� ��(g��u)������׃�μ��䑪(y��ng)������
6��1 ����
6��2 ֱ�U���S�������c���s
6��3 ����
6��4 �A�SŤ�D(zhu��n)
6��5 ����ƽ�揝��
6��6 ��(f��)�s׃�Εr(sh��)�ď�(qi��ng)��Ӌ(j��)��
��(x��)�}
��7�� “(li��n)��
7��1 ����
7��2 �ɲ�“(li��n)��
7��3 ���ɲ�“(li��n)��
7��4 �C(j��)е����c��W(xu��)�����“(li��n)��
��(x��)�}
��8�� �S�c“(li��n)�S��
8��1 �S
8��2 “(li��n)�S��
��(x��)�}
��9�� ����Ď׺ξ���
9��1 ��������
9��2 �ߴ羫���O(sh��)Ӌ(j��)���A(ch��)
9��3 �Π��λ�þ����O(sh��)Ӌ(j��)
9��4 ����ֲڶ�
9��5 ������������O(sh��)Ӌ(j��)����
��(x��)�}
��10�� ֧��
10��1 ����
10��2 ����Ħ��֧��
10��3 �L��Ħ���ij�
10��4 ����Ħ��֧��
1O��5 ���wĦ���ij�
��(x��)�}
��11�� ��(d��o)܉
11��1 ����
11��2 ����Ħ����(d��o)܉
11��3 �L��Ħ����(d��o)܉
11��4 ����Ħ����(d��o)܉
11��5 Һ�w�o����(d��o)܉
��(x��)�}
��12�� ��������
12��1 ����
12��2 ������������
12��3 �L����������
12��4 �������әC(j��)��(g��u)�ij��ò���
��(x��)�}
��13�� �X݆�����O(sh��)Ӌ(j��)
13��1 ݆�X���Ɖ���ʽ
13��2 ֱ�X�A���X݆���ӵ�����������Ӌ(j��)���d��
13��3 ֱ�X�A���X݆���ӵď�(qi��ng)��Ӌ(j��)��
13��4 �X݆����朵��O(sh��)Ӌ(j��)
13��5 �C(j��)е���ӿ�Փ
��(x��)�}
��14�� ������
14��1 ���ӎ�����ͺ͑�(y��ng)��
14��2 �����ӵĻ���֪�R
14��3 ��ͨV�����ӵ�Ӌ(j��)����O(sh��)Ӌ(j��)
14��4 ͬ��������
14��5 �K����
��(x��)�}
��15�� ����Ԫ��
15��1 ����
15��2 ����Ԫ���IJ���
15��3 Ƭ����
15��4 ��������
15��5 ĤƬ��Ĥ��
15��6 ���y��
15��7 ���p���ُ���
��(x��)�}
��16�� ΢�C(j��)е���A(ch��)
16��1 ����
16��2 ΢�C(j��)е�IJ����c�ӹ����g(sh��)
16��3 ΢�C(j��)е�Ą����b�ú͂�����
16��4 MEMS����������ϵ�y(t��ng)
16��5 ΢�C(j��)еϵ�y(t��ng)�о��д��ڵĻ��A(ch��)���}
�����īI(xi��n)