�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո(q��ng) | ע��(c��)

���] �Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ��c���g

���ߣ�����
�����磺���W(xu��)���I(y��)����������r(sh��)�g��2021-04-01
�_(k��i)���� 16�_(k��i) �(y��)��(sh��)�� 332
�� �D �r(ji��):¥105.8(6.3��) ���r(ji��)  ¥168.0 ��䛺�ɿ�����(hu��)�T�r(ji��)
����ُ(g��u)��܇ �ղ�
�_(k��i)���٣� ȫ��(ch��ng)���]
?�½������س���
������Ǖ�����>

�Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ��c���g ���(qu��n)��Ϣ

�Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ��c���g ������ɫ

������һ����B�Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ��c���g�о��ČW(xu��)�g(sh��)������ȫ�����@�Ǿ��{�׾�Ϳ�ӑ�(y��ng)�õĸ���g�h(hu��n)�����Y(ji��)�ϹP��ʮ����Ĺ����e�ۣ�ϵ�y(t��ng)���Y(ji��)����������һ������Փ�ԣ��ֲ�ʧ��(sh��)������ȫ����Ҫ��B�Ǿ��Ͻ��g�������Ǿ��{�׾�Ϳ�ӵ��Ƃ䷽������ͬ���|(zh��)�еĸ��g�О����_ˢ���g�Ϳ��ݸ��gҎ(gu��)�����d�������µĸ��g���������Լ�Ϳ�ӊA�s������ܽ�Ӌ(j��)�㷽���ȃ�(n��i)��������߀�����˷Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g���P(gu��n)�I(l��ng)����о��M(j��n)չ�Ͱl(f��)չ�śr��

������(n��i)�݌��ڲ��ϿƌW(xu��)�о��I(l��ng)���������˲��ϡ�늻��W(xu��)�����W(xu��)����(g��)�W(xu��)�ƵĽ����c�ں����ɹ��������P(gu��n)���I(y��)�W(xu��)��(x��)���о��ı��������о������̎����о��ˆT����ʹ����

�Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ��c���g ��(n��i)�ݺ�(ji��n)��

�Ǿ��B(t��i)�Ͻ���һ��h(yu��n)�xƽ��B(t��i)���Y(ji��)��(g��u)�o(w��)��Ą��Թ��w���|(zh��)�������S���خ����������W(xu��)���|(zh��)�����γ����Y(ji��)��(g��u)�����ܵ��о����䑪(y��ng)���_(k��i)�l(f��)�����緶����(n��i)�ܵ��V�����P(gu��n)ע����ҕ�������u(y��)���^��F�����Ϻ�����I(l��ng)��ĵ����θ������F���Ǿ��Ͻ�ߵď�(qi��ng)�Ⱥ����g�����ߵIJ����γ������������ăr(ji��)�񼰺�(ji��n)�ε��Ƃ乤ˇ��������ʹ���������͵Ĺ��̲��ϵ��ԑ�(y��ng)�á�ȱ��������׃�����ƉK�w�Ǿ��Ͻ�����Y(ji��)��(g��u)���ϑ�(y��ng)�õ���Ҫ���g(sh��)ƿ�i�����ßᇊͿ���g(sh��)�Ƃ�ķǾ��{�׾�Ϳ�Ӳ��Ͼ��Ѓ�(y��u)�������������W(xu��)�������ҳɱ��������J(r��n)���Ǹ��������Ժ͔����g�Ե���Ҫ�ֶ��������ٻ��懊Ϳ(HVOF)�ͻ���ȼ������ȼ?x��)⇊�?AC-HVAF)���g(sh��)�ij��F(xi��n)��ʹ���Ƃ��F���Ǿ��{�׾�Ϳ�ӵ��Ԍ�(sh��)�F(xi��n)���@�o(w��)�Ɍ��،��F���Ǿ��{�׾�Ϳ�ӵđ�(y��ng)���I(l��ng)�򡣸��������g��ĥ�F���Ǿ��{�׾�Ϳ�ӵ��Ƃ���_(k��i)�l(f��)���ѳɞ�Ǿ��Ͻ����򹤘I(y��)����(y��ng)�õ�ͻ�ƿ�֮һ�����ɞ鹤�I(y��)�I(l��ng)��һ�N�O�ߑ�(y��ng)�Ãr(ji��)ֵ�IJ������鹤�I(y��)�玧��(l��i)�޴��Ч����

�Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ��c���g Ŀ�

��1�� �Ǿ��Ͻ���� 001

1.1�Ǿ��Ͻ� 001

1.1.1�Ǿ��B(t��i)�Ͻ��c���ٲ��� 001

1.1.2�F���Ǿ��B(t��i)�Ͻ� 003

1.1.3���g�c늻��W(xu��) 004

1.1.4�F���Ǿ��B(t��i)�Ͻ����g���� 008

1.2�F���Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ� 009

1.2.1�F���Ǿ�Ϳ�� 010

1.2.2�����ٻ��棨HVOF����Ϳԭ�� 010

1.2.3������늘O���x�Ӈ�Ϳ 013

1.2.4����ȼ������ȼ?x��)⣨AC-HVAF����Ϳԭ�� 014

1.3�F���Ǿ��{�׾�Ϳ������ 015

1.3.1�F���Ǿ��B(t��i)�Ͻ�����W(xu��)���� 015

1.3.2�F���Ǿ�Ϳ�ӵ����g�� 016

1.3.3�F���Ǿ�Ϳ�ӵ��о�����(y��ng)�� 017

�����īI(xi��n) 018



��2�� �Ǿ��Ͻ��g���� 022

2.1�Ǿ��Ͻ������Ժ�������Һ�и��g 022

2.1.1�Ǿ��Ͻ��Ƃ� 023

2.1.2�Ǿ��Y(ji��)��(g��u)���� 026

2.1.3늻��W(xu��)���g�О� 027

2.1.4�g��Ĥ��������� 032

2.1.5�g��Ĥ�ijɷֺͽY(ji��)��(g��u)���� 034

2.1.6AFM������ò�^�� 040

2.1.7�Ǿ��Ͻ��g�����������g�C(j��)�� 041

2.2�ɷ�Ӱ푷Ǿ��Ͻ��g���� 048

2.2.1�Ǿ��l���Ƃ� 049

2.2.2�l���ķǾ��Y(ji��)��(g��u)���� 050

2.2.3Ӳ�ȵ�Ӱ� 051

2.2.4늻��W(xu��)���g�О� 052

2.2.5�g��Ĥ���� 053

2.2.6�Ͻ�Ԫ���c���g�Լ�Ӳ�ȵ��P(gu��n)ϵ 054

�����īI(xi��n) 058



��3�� �Ǿ��{�׾�Ϳ���Ƃ� 063

3.1HVOF��Ϳ�Ǿ�Ϳ���Ƃ� 063

3.1.1HVOF��ͿͿ���Ƃ��^(gu��)�� 064

3.1.2Ϳ�Ӈ�Ϳ�Y(ji��)��(g��u)����ò���� 065

3.1.3Ϳ��������� 066

3.1.4Ϳ���@΢Ӳ�� 068

3.1.5늻��W(xu��)���g�О� 069

3.1.6HVOF��Ϳ����(sh��)Ӱ� 070

3.1.7�Ǿ��Y(ji��)��(g��u)��(du��)���g���ܵ�Ӱ� 072

3.1.8HVOF��Ϳ����(sh��)��(du��)Ӳ�ȵ�Ӱ� 073

3.2AC-HVAF�Ǿ�Ϳ���Ƃ� 074

3.2.1AC-HVAF�Ǿ�Ϳ���Ƃ��^(gu��)�� 075

3.2.2�Ƃ乤ˇ��(du��)�Ǿ�Ϳ�ӽY(ji��)��(g��u)������Ӱ� 076

3.2.3��Ȍ�(du��)�Ǿ�Ϳ�����ܵ�Ӱ� 081

3.2.4AC-HVAF WCͿ�ӽY(ji��)��(g��u)�������о� 083

3.3HVOF����AC-HVAF���Ƃ�Ǿ��{�׾�Ϳ�ӱ��^ 086

3.3.1�Ǿ��Y(ji��)��(g��u)���� 086

3.3.2���g������ 087

3.3.3Ӳ������ 089

3.4���̎�팦(du��)HVOF�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g���ܵ�Ӱ� 089

3.4.1���Ϳ���Ƃ� 090

3.4.2���Ϳ�ӵ�΢�^�Y(ji��)��(g��u)���� 091

3.4.3���Ϳ�ӵ�Ӳ�� 092

3.4.4늻��W(xu��)���g�О� 093

3.4.5�L(zh��ng)�ڽ��ݸ��gEIS���� 096

3.4.6Mott-Schottky�������� 099

3.4.7�����g�c�c(di��n)�g���� 101

�����īI(xi��n) 104



��4�� �Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g���� 107

4.1HVOF�Ǿ��{�׾�Ϳ����NaCl��Һ�и��g 107

4.1.1HVOF�Ǿ�Ϳ�� 107

4.1.2Ϳ��΢�^�Y(ji��)��(g��u)���� 108

4.1.3Ϳ����NaCl���|(zh��)�е�늻��W(xu��)���g�О� 111

4.1.4���g���� 115

4.1.5�g��Ĥ�ɷ�XPS���� 115

4.1.6Ϳ��ȱ�݌�(du��)���g������Ӱ� 116

4.1.7�ɷ֌�(du��)�g�����ܵ�Ӱ� 118

4.1.8�Ǿ��Y(ji��)��(g��u)��(du��)���g���ܵ�Ӱ� 119

4.2HVOF�Ǿ��{�׾�Ϳ����H2SO4��Һ�еĸ��g 120

4.2.1�Ǿ�Ϳ�ӽM���c�Y(ji��)��(g��u)���� 120

4.2.2�Ǿ�Ϳ����NaCl��H2SO4��Һ�е��g���О� 122

4.2.3�Ǿ�Ϳ����H2SO4��Һ�е��g��Ĥ���� 124

4.3AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ����AlCl3��Һ�и��g 127

4.3.1AC-HVAF�Ǿ�Ϳ�ӵ��Ƃ� 127

4.3.2�Ǿ�Ϳ����AlCl3��Һ�еĸ��g�О� 127

4.4AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ�������еĸ��g 129

4.4.1�Ǿ�Ϳ����H2SO4�еĸ��g�О� 129

4.4.2�Ǿ�Ϳ����HNO3�еĸ��g�О� 130

4.4.3�Ǿ�Ϳ����HAc�еĸ��g�О� 132

4.5AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ���ډ���Һ�еĸ��g 134

4.5.1�׹���ډ���Һ�е�늻��W(xu��)���g�О� 135

4.5.2Ӳ�|(zh��)�Ͻ��ډ���Һ�е�늻��W(xu��)���g�О� 143

4.5.3AC-HVAFͿ���ډ���Һ�е�늻��W(xu��)���g�О� 146

4.5.4AC-HVAFͿ���ډ���Һ�и��g�C(j��)���о� 147

4.5.5�Ǿ�Ϳ���g��Ĥ�ɷַ��� 149

4.6AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ������Ԫ��(f��)���(q��)��Һ�еĸ��g�О� 152

4.6.1��ͬ�ضȌ�(du��)���g���ܵ�Ӱ� 152

4.6.2��ͬ�A��Ȍ�(du��)���g���ܵ�Ӱ� 153

4.6.3��ͬ������Ԅ���Ȍ�(du��)���g���ܵ�Ӱ� 154

4.6.4��ͬ�ۺ����Ȍ�(du��)���g���ܵ�Ӱ� 154

4.6.5��ͬ��ȵ�ASP��Һ��(du��)���g���ܵ�Ӱ� 155

4.7AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ���}�F���g�О� 155

4.7.1�Ǿ��{�׾�Ϳ���}�F���g�О� 156

4.7.2�}�F���gԇ�(y��n)��ò���� 156

4.8AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ���ż���g 158

4.8.1�ż��(du��)�ڽ��ݕr(sh��)�ĸ��g�О� 159

4.8.2��ͬ� �(y��ng)�O��e�Ȍ�(du��)�ż���g��Ӱ����� 159

4.8.3�ضȌ�(du��)�ż���g��Ӱ� 161

4.9AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹߜظ��g���� 162

4.9.1���غ͸ߜض�����̼���g 163

4.9.2�ضȌ�(du��)�Ǿ��{�׾�Ϳ��늻��W(xu��)���g��Ӱ� 164

4.9.3Cl-��Ȍ�(du��)�Ǿ��{�׾�Ϳ��늻��W(xu��)���g��Ӱ� 165

4.9.4�ߜض�����̼���g���ܷ��� 165

�����īI(xi��n) 169



��5�� �Ǿ��{�׾�Ϳ�ӛ_ˢ���g���� 172

5.1�_ˢ���g�о� 172

5.1.1Ħ��ĥ�p 172

5.1.2�_ˢ���g 173

5.1.3�_ˢ���gӰ����� 174

5.1.4�_ˢ���g�о����� 176

5.1.5�_ˢ���g�p���ķ��o(h��)�о� 177

5.2HVOF�Ǿ��{�׾�Ϳ���ں�ˮ�Л_ˢ���g�о� 180

5.2.1HVOF�Ǿ�Ϳ�ӛ_ˢ���gӰ����� 181

5.2.2�_ˢ���g��ò�ͱ���ֲڶȷ��� 183

5.2.3�g��Ĥ�ڛ_ˢ���g�^(gu��)���е����� 185

5.2.4Ӳ�Ȍ�(du��)�_ˢ���g���ʵ�Ӱ� 186

5.2.5�_ˢ���g�C(j��)�� 186

5.2.6�_ˢ�c���g�������� 187

5.3AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ���ں�ˮ�Л_ˢ���g�о� 188

5.3.1AC-HVAF��HVOF�Ǿ�Ϳ���������� 190

5.3.2AC-HVAF�Ǿ�Ϳ��늻��W(xu��)���g�О� 191

5.3.3AC-HVAF�Ǿ�Ϳ�ӛ_ˢ���g�О� 194

5.4AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ���ډ��ѽ��|(zh��)�Л_ˢ���g�о� 199

5.4.1AC-HVAF�Ǿ�Ϳ���ډ���Һ�Л_ˢ���gӰ����� 201

5.4.2�_ˢ���g�l���µ�늻��W(xu��)���g�О� 207

5.4.3����Һ�в��ϛ_ˢ���g�R�������о� 211

5.4.4�_ˢ���g��ò���C(j��)�� 214

�����īI(xi��n) 224



��6�� �Ǿ��{�׾�Ϳ�ӿ��ݸ��g���� 229

6.1���ݸ��g 229

6.1.1���ݸ��gӰ����� 230

6.1.2���ݸ��g�о����� 230

6.2HVOF�Ǿ�Ϳ���ں�ˮ���|(zh��)�еĿ��ݸ��g���� 232

6.2.1HVOF�Ǿ�Ϳ�ӿ��ݸ��gʧ�� 233

6.2.2HVOF�Ǿ�Ϳ�ӿ��ݸ��g�p����ò 234

6.2.3HVOF�Ǿ�Ϳ�ӿ��ݸ��g�C(j��)�� 234

6.3AC-HVAF�Ǿ�Ϳ���ډ���Һ�еĿ��ݸ��g���� 235

6.3.1���ݸ��gʧ�� 236

6.3.2���ݸ��g�l����늻��W(xu��)���g�О� 241

6.3.3���ݸ��g��(du��)���g��Ӱ� 245

6.3.4���g��(du��)���ݸ��g��Ӱ� 246

6.3.5Ӳ�Ⱥ����g�Ԍ�(du��)���ݸ��g���ܵ�Ӱ� 247

6.3.6���ݸ��g��ò���C(j��)�� 248

�����īI(xi��n) 258



��7�� �d�������·Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g���� 261

7.1���W(xu��)������Ϳ�Ӹ��g���� 261

7.1.1���d�����Ì�(du��)�Ǿ�Ϳ�Ӹ��g��Ӱ� 261

7.1.2������(y��ng)����(du��)�Ǿ�Ϳ�Ӹ��g��Ӱ� 262

7.1.3���d�ɺ͸��g������Ì�(du��)�Ǿ�Ϳ�����ܵ�Ӱ� 264

7.2������(y��ng)��������AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g�О� 264

7.2.1��ͬ������(y��ng)���Ǿ�Ϳ���Ƃ� 264

7.2.2��(y��ng)��Ϳ�ӷǾ����� 265

7.2.3������(y��ng)��Ϳ��늻��W(xu��)���g�О� 267

7.2.4������(y��ng)��Ϳ�ӽ��ݸ��g�О� 269

7.2.5��(y��ng)��Ϳ���g����(w��n)���� 271

7.3���d��������AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g�О� 275

7.3.1���d��ԇ���Ƃ� 275

7.3.2�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӻ��d�������¸��g�О� 276

7.3.3�Ǿ�Ϳ�Ӻ��d�������¸��g�����О� 281

7.4��(d��ng)�d��������AC-HVAF�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӹ��g�О� 286

7.4.1������Ϳ���Ƃ� 286

7.4.2�Ǿ�Ϳ���ڄ�(d��ng)�d�������µĸ��g�О� 287

7.4.3�Ǿ�Ϳ���ڄ�(d��ng)��(y��ng)׃�����µĸ��g�О� 289

7.4.4�Ǿ�Ϳ���������������µĸ��g�����О� 291

�����īI(xi��n) 294



��8�� �Ǿ��{�׾�Ϳ�ӊA�s������ܽ�Ӌ(j��)�� 296

8.1**��ԭ������ 296

8.1.1�ܶȷ�����Փ 297

8.1.2ƽ�沨�c�I��(sh��)���� 300

8.2���ӄ�(d��ng)���W(xu��)ģ�M���� 301

8.2.1���ӄ�(d��ng)���W(xu��)����˼�� 302

8.2.2�����\(y��n)��(d��ng)����ʽ�Ĕ�(sh��)ֵ�ⷨ 302

8.2.3ԭ����������Ӌ(j��)�㷽�� 304

8.2.4������߅��l�� 305

8.2.5���ӄ�(d��ng)���W(xu��)�e�ֲ��L(zh��ng)���xȡ 305

8.2.6����(ch��ng) 305

8.2.7ϵ�C��(ji��n)�� 307

8.3������A�s������ܽ�**��ԭ��Ӌ(j��)�� 307

8.3.1�Ǿ�Ϳ���c(di��n)�g�C(j��)�� 307

8.3.2�A�s������ܽ� 308

8.3.3Ӌ(j��)��ģ���c���� 309

8.3.4����Y(ji��)��(g��u) 310

8.3.5�Y(ji��)��(g��u)�ķ�(w��n)���� 311

8.3.6�دB�۾Ӕ�(sh��)���� 311

8.3.7�B(t��i)�ܶȷ��� 312

8.4������A�s������ܽ���ӄ�(d��ng)���W(xu��)Ӌ(j��)�� 313

8.4.1Ӌ(j��)��C(j��)ģ�M���� 314

8.4.2늻��W(xu��)�О� 314

8.4.3�����g��ò 317

8.4.4�����ܽ���ӄ�(d��ng)���W(xu��)ģ�M 318

8.4.5������A�s�����ܽ�C(j��)�� 323

8.5�Ǿ��{�׾�Ϳ�Ӷ�߶ȷ����Y(ji��)��(g��u)�{(di��o)�غ͸��g���� 325

8.5.1�Ǿ��{�׾�������ˮͿ�Ә�(g��u)�� 325

8.5.2�Ǿ��{�׾�������ˮͿ�����g���� 326

�����īI(xi��n) 328
չ�_(k��i)ȫ��
��Ʒ�u(p��ng)Փ(0�l)
���o(w��)�u(p��ng)Փ����
�������]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�