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射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩(wěn)定性研究 版權(quán)信息
- ISBN：9787577208121
- 條形碼：9787577208121 ; 978-7-5772-0812-1
- 裝幀：平裝
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩(wěn)定性研究 本書特色
一、本書的研究內(nèi)容具有前瞻性；二、本書通過大膽假設(shè)、多次的試驗得出一定的研究成果，具有原創(chuàng)性；三、本書的研究成果可以用于實際應(yīng)用領(lǐng)域，為科技進步、社會發(fā)展做貢獻。
射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩(wěn)定性研究 內(nèi)容簡介
本書主要內(nèi)容包括以下幾個部分：一是射頻空心陰極放電中空心陰極效應(yīng)(hollow cathode effect，HCE)的變化規(guī)律以及放電參數(shù)的變化對HCE的影響。二是空心陰極孔外等離子體密度的增強機理。得到了陰極孔外的電子密度與電壓、氣壓、二次電子發(fā)射系數(shù)、孔徑、孔深、直流偏壓等參數(shù)的關(guān)系。三是通過實驗研究射頻空心陰極放電中的發(fā)光條紋現(xiàn)象，得到了不同氣壓、功率、孔深下的條紋間距ΔS、電場以及電子密度等參數(shù)。本書的主要特點是具有專業(yè)性，系統(tǒng)性，性，指導(dǎo)性這幾個特點。 本書非常適合作為低溫等離子體物理領(lǐng)域的研究生及科研人員的參考用書。
射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩(wěn)定性研究 目錄
**章 緒論
1.1 研究背景和意義
1.2 射頻空心陰極放電的研究進展
1.2.1 空心陰極效應(yīng)
1.2.2 射頻空心陰極放電中的電子加熱
1.2.3 密度增強的射頻空心陰極放電研究
1.3 氣體放電中的條紋研究
1.3.1 氣體放電條紋的背景介紹
1.3.2 直流輝光放電中的條紋
1.3.3 射頻放電中的條紋
1.3.4 其他放電系統(tǒng)中的條紋
1.4 本書的研究內(nèi)容與安排
第二章 PIC/MCC數(shù)值模擬方法
2.1 概述
2.2 PIC方法
2.2.1 電荷分配方法
2.2.2 泊松方程
2.2.3 粒子推進
2.3 MCC模型
2.4 碰撞后速度的確定
2.5 本書采用的結(jié)構(gòu)模型
2.5.1 模型描述
2.5.2 代碼驗證
第三章 RF-HCD中的空心陰極效應(yīng)
3.1 RF-HCD中HCE的一般特性
3.1.1 存在HCE時的電子密度分布
3.1.2 改變孔徑對HCE的影響
3.1.3 射頻電壓的周期性變化對HCE的影響
3.1.3.1 空心電極鞘層擴張時的鞘層動力學
3.1.3.2 空心電極鞘層塌縮時的鞘層動力學
3.1.4 射頻空心陰極放電中HCE的變化規(guī)律
3.1.4.1 空心電極鞘層擴張時的HCE變化規(guī)律
3.1.4.2 空心電極鞘層塌縮時的HCE變化規(guī)律
3.2 HCE的影響因素
3.2.1 電壓對HCE的影響
3.2.2 二次電子發(fā)射系數(shù)對HCE的影響
3.2.3 外加偏壓對HCE的影響
3.2.4 電極間距對HCE的影響
3.2.5 孔深對HCE的影響
3.2.6 孔徑對HCE的影響
3.2.7 氣壓對HCE的影響
3.3 討論
3.4 本章小結(jié)
第四章 RF-HCD中的孔外等離子體增強效應(yīng)
4.1 RF-HCD中的孔外增強放電
4.2 孔外等離子體密度的影響因素
4.2.1 電壓對孔外等離子體密度的影響
4.2.2 二次電子發(fā)射系數(shù)對孔外等離子體密度的影響
4.2.3 外加直流偏壓對孔外等離子體密度的影響
4.2.4 孔深對孔外等離子體密度的影響
4.2.5 孔徑對孔外等離子體密度的影響
4.2.6 氣壓對孔外等離子體密度的影響
4.3 討論
4.4 本章小結(jié)
第五章 RF-HCD中的條紋現(xiàn)象
5.1 實驗裝置
5.2 低氣壓下RF-HCD中的條紋
5.3 放電參數(shù)對條紋的影響
5.3.1 功率對條紋的影響
5.3.2 氣壓對條紋的影響
5.3.3 管徑對條紋的影響
5.3.4 孔深對條紋的影響
5.4 條紋化通道的電場及其與條紋間距ΔS的關(guān)系
5.5 RF-CCP條紋的機理
5.6 本章小結(jié)
第六章 總結(jié)和展望
6.1 本書主要工作和結(jié)論
6.2本書主要的創(chuàng)新性成果
6.3 對今后工作的展望
參考文獻
1.1 研究背景和意義
1.2 射頻空心陰極放電的研究進展
1.2.1 空心陰極效應(yīng)
1.2.2 射頻空心陰極放電中的電子加熱
1.2.3 密度增強的射頻空心陰極放電研究
1.3 氣體放電中的條紋研究
1.3.1 氣體放電條紋的背景介紹
1.3.2 直流輝光放電中的條紋
1.3.3 射頻放電中的條紋
1.3.4 其他放電系統(tǒng)中的條紋
1.4 本書的研究內(nèi)容與安排
第二章 PIC/MCC數(shù)值模擬方法
2.1 概述
2.2 PIC方法
2.2.1 電荷分配方法
2.2.2 泊松方程
2.2.3 粒子推進
2.3 MCC模型
2.4 碰撞后速度的確定
2.5 本書采用的結(jié)構(gòu)模型
2.5.1 模型描述
2.5.2 代碼驗證
第三章 RF-HCD中的空心陰極效應(yīng)
3.1 RF-HCD中HCE的一般特性
3.1.1 存在HCE時的電子密度分布
3.1.2 改變孔徑對HCE的影響
3.1.3 射頻電壓的周期性變化對HCE的影響
3.1.3.1 空心電極鞘層擴張時的鞘層動力學
3.1.3.2 空心電極鞘層塌縮時的鞘層動力學
3.1.4 射頻空心陰極放電中HCE的變化規(guī)律
3.1.4.1 空心電極鞘層擴張時的HCE變化規(guī)律
3.1.4.2 空心電極鞘層塌縮時的HCE變化規(guī)律
3.2 HCE的影響因素
3.2.1 電壓對HCE的影響
3.2.2 二次電子發(fā)射系數(shù)對HCE的影響
3.2.3 外加偏壓對HCE的影響
3.2.4 電極間距對HCE的影響
3.2.5 孔深對HCE的影響
3.2.6 孔徑對HCE的影響
3.2.7 氣壓對HCE的影響
3.3 討論
3.4 本章小結(jié)
第四章 RF-HCD中的孔外等離子體增強效應(yīng)
4.1 RF-HCD中的孔外增強放電
4.2 孔外等離子體密度的影響因素
4.2.1 電壓對孔外等離子體密度的影響
4.2.2 二次電子發(fā)射系數(shù)對孔外等離子體密度的影響
4.2.3 外加直流偏壓對孔外等離子體密度的影響
4.2.4 孔深對孔外等離子體密度的影響
4.2.5 孔徑對孔外等離子體密度的影響
4.2.6 氣壓對孔外等離子體密度的影響
4.3 討論
4.4 本章小結(jié)
第五章 RF-HCD中的條紋現(xiàn)象
5.1 實驗裝置
5.2 低氣壓下RF-HCD中的條紋
5.3 放電參數(shù)對條紋的影響
5.3.1 功率對條紋的影響
5.3.2 氣壓對條紋的影響
5.3.3 管徑對條紋的影響
5.3.4 孔深對條紋的影響
5.4 條紋化通道的電場及其與條紋間距ΔS的關(guān)系
5.5 RF-CCP條紋的機理
5.6 本章小結(jié)
第六章 總結(jié)和展望
6.1 本書主要工作和結(jié)論
6.2本書主要的創(chuàng)新性成果
6.3 對今后工作的展望
參考文獻
展開全部
射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩(wěn)定性研究 作者簡介
賀柳良，女，北京建筑大學理學院副教授。自2009年開始從事低溫等離子體物理的研究，研究興趣包括射頻容性耦合等離子體源、等離子體不穩(wěn)定性。以第一作者發(fā)表科研論文數(shù)十篇，主持完成多項科研項目，申請并授權(quán)專利多項。
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