���] �����(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)��
-
>
��·܇����(ZINN�Ĺ�·܇�S���c���B(y��ng)�ؼ�)
-
>
���w���·�O(sh��)Ӌ(j��)(��)
-
>
���ڂ�(g��)�Ի��O(sh��)Ӌ(j��)���Ե����ܽ�ͨϵ�y(t��ng)�P(gu��n)�I���g(sh��)
-
>
���Ӱٳ�:�F���ٔ�(sh��)����D����ɫ
-
>
ɽ�|��������������˾���g(sh��)�D(zhu��n)���c���g(sh��)��(chu��ng)�vʷ�����Ї�(gu��)�ߵȼ��g(sh��)�������K��(1949��1961)�Ա����^(q��)������
-
>
�F·�C(j��)܇��Ҫ.��������(d��ng)��(n��i)ȼ.����C(j��)܇
-
>
���S̹�ĵ�������:���ڬF(xi��n)�������܌W(xu��)�Ć�(w��n)�}�c�}�j(lu��)
�����(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)�� ���(qu��n)��Ϣ
- ISBN��9787030734808
- �l�δa��9787030734808 ; 978-7-03-073480-8
- �b����һ���z�漈
- ��(c��)��(sh��)�����o(w��)
- ���������o(w��)
- ���ٷ��>>
�����(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)�� ������ɫ
����������ԓ�I(l��ng)�����˴����о�������ȡ����������ο���о��ɹ������o�V����кͮa(ch��n)�I(y��)�������Լ��о����ṩ���P(gu��n)�W(xu��)��(x��)�Ϳ��Ѕ����������ڴ��M(j��n)�҇�(gu��)���湤�̌W(xu��)�ƵĄ�(chu��ng)�°l(f��)չ��
�����(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)�� ��(n��i)�ݺ�(ji��n)��
����ϵ�y(t��ng)��������U�����w���ϱ�����Լ��g(sh��)�Ļ���ԭ������(j��ng)����Փ����(chu��ng)�·�������(y��u)�x�ӹ���ˇ�c���켼�g(sh��)��������7�£��քe��wՓ��Al2O3/PTFE��(f��)�ϱ�Ĥ��CYSZ����Ϳ�����o(w��)�C(j��)�{���w������PI��(f��)�ϱ�Ĥ��SiO2���wͿ�ӏ�(f��)�ϱ�Ĥ��Ti/LiNbO3����(d��o)�����Ƭ������/SiO2��Ĥ��˥�pƬ�ȃ�(y��u)���O(sh��)Ӌ(j��)�c�Ƃ估�����{(di��o)����
�����(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)�� Ŀ�
ǰ��
��1�� �wՓ1
1.1 ��Ĥ���϶��x���������|(zh��)�c�Y(ji��)��(g��u)1
1.1.1 ��Ĥ���϶��x1
1.1.2 ��Ĥ�����������|(zh��)1
1.1.3 ��Ĥ���ϽY(ji��)��(g��u)3
1.2 ��Ĥ�Ƃ似�g(sh��)����4
1.2.1 CVD���g(sh��)6
1.2.2 ���W(xu��)僼��g(sh��)7
1.2.3 �����僼��g(sh��)7
1.2.4 �x�Ӵſ؞R�似�g(sh��)8
1.2.5 �x��ע�뼼�g(sh��)11
1.2.6 �ᇊͿ���g(sh��)11
�����īI(xi��n)13
��2�� Al2O3/PTFE��(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c��ĥ���܃�(y��u)��15
2.1 �x��ע�����PTFE��ĥ���܃�(y��u)��16
2.1.1 ����ײģ�ͽ���16
2.1.2 SRIM����17
2.1.3 SRIMģ�M����(y��u)��18
2.1.4 ��(y��u)���Y(ji��)������31
2.2 Al2O3/PTFE���Ӽ{��(f��)�ϱ�Ĥ�{(di��o)���c�Ƃ�33
2.3 Al2O3/PTFE���Ӽ{��(f��)�ϱ�Ĥ�������ܷ���34
2.3.1 �Ĥ��ʽ�cAl3+ע�넩����(du��)Al2O3/PTFE��Ĥ����Ӱ�34
2.3.2 �Ĥ��ʽ�cAl3+ע�넩����(du��)Al2O3/PTFE��ĤԪ�r(ji��)�B(t��i)�c�ɷ�Ӱ�36
2.4 Al2O3/PTFE���Ӽ{��(f��)�ϱ�ĤĦ���W(xu��)���ܸ���37
2.4.1 �Ĥ��ʽ�cAl3+ע�넩����(du��)Al2O3/PTFE��ĤӲ��Ӱ�37
2.4.2 �Ĥ��ʽ�cAl3+ע�넩����(du��)Al2O3/PTFE��Ĥ����ģ��Ӱ�38
2.4.3 �Ĥ��ʽ�cAl3+ע�넩����(du��)Al2O3/PTFE��ĤĦ������Ӱ�39
�����īI(xi��n)41
��3�� CYSZ����Ϳ���O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c�������ܸ���43
3.1 CYSZ����Ϳ�ӌ�(sh��)�(y��n)�����O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)��43
3.1.1 CYSZ��������w�Ƃ�43
3.1.2 CYSZ�մɷ��w���F����45
3.1.3 ���x�Ӈ�Ϳ���g(sh��)�Ƃ�CYSZ����Ϳ��45
3.2 ��������ˇ�l����(du��)CYSZ�մɷ��w�^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�46
3.2.1 Ce��������(du��)CYSZ�մɷ��w��Y(ji��)��(g��u)Ӱ�46
3.2.2 ��������ˇ�Ƴ̌�(du��)CYSZ�մɷ��w�^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�47
3.2.3 ���Y(ji��)��ˇ��(du��)CYSZ�մɷ��w�^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�51
3.3 ���F������ˇ��(du��)CYSZ�մɷ��w�^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�54
3.3.1 ���F������ˇ��(du��)CYSZ�մɷ��w��Y(ji��)��(g��u)Ӱ�54
3.3.2 CYSZ�մɷ��w����Ԫ�طN����σr(ji��)55
3.3.3 ���F������CYSZ�մɷ��w�^��ò56
3.3.4 ���F������CYSZ�մɷ��w�����ֲ�56
3.4 ���x�Ӈ�Ϳ��ˇ��(du��)CYSZ����Ϳ���^�Y(ji��)��(g��u)�c��������Ӱ�57
3.4.1 CeO2��(du��)CYSZ����Ϳ���^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�57
3.4.2 CeO2��(du��)CYSZ����Ϳ���@Ӳ�ȼ��Y(ji��)�Ϗ�(qi��ng)��Ӱ�60
3.4.3 CeO2��(du��)CYSZ����Ϳ�ӟጧ(d��o)��Ӱ�61
3.4.4 CeO2��(du��)CYSZ����Ϳ�ӟ�������Ӱ�62
3.4.5 CeO2��(du��)����ǰ��CYSZ����Ϳ���^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�63
3.5 ����Ϳ�ӟ��������Ѽy�U(ku��)չ�C(j��)��68
�����īI(xi��n)70
��4�� �o(w��)�C(j��)�{���w������PI��(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c�����܃�(y��u)��71
4.1 PI�Y(ji��)��(g��u)�c����71
4.1.1 PI�Y(ji��)��(g��u)����71
4.1.2 PI�������c(di��n)72
4.2 �{��SiO2-Al2O3/PI��(f��)�ϱ�Ĥ��(sh��)�(y��n)�����O(sh��)Ӌ(j��)72
4.2.1 �ɲ����Ƃ�PIԭ��72
4.2.2 PAA�䷽�ͷ���(y��ng)�l���O(sh��)Ӌ(j��)73
4.2.3 ��-�C(j��)е���취�Ƃ�{��SiO2-Al2O3/PI��(f��)�ϱ�Ĥ74
4.2.4 ���z-���z���Ƃ�{��SiO2-Al2O3/PI��(f��)�ϱ�Ĥ75
4.3 ����������(y��ng)��������(f��)�ϱ�Ĥ���ӽY(ji��)��(g��u)�A(y��)�y(c��)79
4.3.1 �t����V����79
4.3.2 ��ʾ�����������83
4.3.3 ԭ�����@�R����84
4.3.4 ����-��Ҋ(ji��n)����V����86
4.3.5 ��(f��)�ϱ�Ĥ���ӽY(ji��)��(g��u)�A(y��)�y(c��)86
4.4 �{��SiO2-Al2O3/PI��(f��)�ϱ�Ĥ�Y(ji��)��(g��u)����88
4.4.1 ԭ�����@�R����88
4.4.2 ��������@�R����91
4.4.3 XRD����95
4.4.4 ����-��Ҋ(ji��n)����V����99
4.5 �{��SiO2-Al2O3/PI��(f��)�ϱ�Ĥ�᷀(w��n)�����о�103
4.5.1 ��-�C(j��)е���취�Ƃ䱡Ĥ�᷀(w��n)����103
4.5.2 ���z-���z���Ƃ䱡Ĥ�᷀(w��n)����104
�����īI(xi��n)109
��5�� SiO2���wͿ�ӏ�(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c�᷀(w��n)���Ը���111
5.1 �{��SiO2/EA��(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c�᷀(w��n)���Ը���112
5.1.1 �{��SiO2/EA��(f��)�ϱ�Ĥ��(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)112
5.1.2 �{��SiO2/EA��(f��)�ϱ�Ĥ�t����V����118
5.1.3 �{��SiO2/EA��(f��)�ϱ�Ĥ���ͷ���122
5.1.4 �{��SiO2/EA��(f��)�ϱ�Ĥ�����ò122
5.1.5 �{��SiO2/EA��(f��)�ϱ�Ĥ�᷀(w��n)���Է���124
5.2 ��ĸ��/EA��(f��)��Ϳ���O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c�᷀(w��n)���Ը���127
5.2.1 ��ĸ��/EA��(f��)��Ϳ�ӌ�(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)127
5.2.2 ��ĸ��/EA��(f��)��Ϳ�ӱ������ܷ���129
5.2.3 ��ĸ��/EA��(f��)��Ϳ�ӟ᷀(w��n)���Է���132
5.3 �{��SiO2/PI��(f��)��Ϳ���O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ����{(di��o)���c�᷀(w��n)���Ը���136
5.3.1 �{��SiO2/PI��(f��)��Ϳ�ӌ�(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)136
5.3.2 �{��SiO2/PI��(f��)��Ϳ�ӱ������ܷ���139
5.3.3 �{��SiO2/PI��(f��)��Ϳ�ӟ᷀(w��n)���Է���145
�����īI(xi��n)147
��6�� Ti/LiNbO3����(d��o)�����Ƭ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ䡢�{(di��o)���c��W(xu��)���܃�(y��u)��148
6.1 Ti/LiNbO3����(d��o)������������Y(ji��)��(g��u)�c�Ƃ乤ˇ148
6.1.1 Ti/LiNbO3����(d��o)������������Y(ji��)��(g��u)148
6.1.2 Ti/LiNbO3�Ⲩ��(d��o)�Ƃ乤ˇ149
6.2 LiNbO3��⁔U(ku��)ɢ�C(j��)��150
6.2.1 ���w�����|(zh��)�U(ku��)ɢ��Փ���ƿ˶���150
6.2.2 ��x����LiNbO3�ДU(ku��)ɢ�C(j��)��151
6.3 Ti/LiNbO3����(d��o)���������(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)152
6.3.1 Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�Ĥ�����僌�(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)152
6.3.2 ⁔U(ku��)ɢ��(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)154
6.4 �����價�ˇ��(du��)Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�ĤӰ�156
6.4.1 ��������(du��)Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�ĤӰ�156
6.4.2 ���w�ضȌ�(du��)Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�ĤӰ�160
6.4.3 ��僕r(sh��)�g��(du��)Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�ĤӰ�165
6.4.4 Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�Ĥ����EDS�������168
6.4.5 Ti/LiNbO3��(f��)�ϱ�Ĥ����XPS����169
6.5 ⁔U(ku��)ɢ��ˇ��(du��)�����Ƭ�^�Y(ji��)��(g��u)����W(xu��)����Ӱ�170
6.5.1 �U(ku��)ɢ��ˇ��(du��)�����Ƭ��òӰ�170
6.5.2 ��ͬ�U(ku��)ɢ��ˇ�¹����Ƭ���漰����Ԫ�ط���174
6.5.3 �U(ku��)ɢǰ������Ƭ��Y(ji��)��(g��u)����180
6.5.4 ⁔U(ku��)ɢ������Ƭ����XPS����182
6.5.5 ��Ч�������c��(d��o)ģ��(sh��)Ŀ����184
6.5.6 ����(d��o)��ݔ�p�Ĝy(c��)ԇ�c����189
�����īI(xi��n)192
��7�� ����/SiO2��Ĥ��˥�pƬ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ䡢�{(di��o)���c��˥�p���܃�(y��u)��194
7.1 ����/SiO2��Ĥ��˥�pƬ�Ĥ��ˇ�x��194
7.2 ���N��ˇ��(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)195
7.2.1 �Ĥ�ͻ��w�����x������(j��)195
7.2.2 �����僽���Ĥ��(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)196
7.2.3 �x�Ӵſ؞R��NiĤ��(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)198
7.2.4 ���W(xu��)�NiĤ�cNi-PĤ��(sh��)�(y��n)�{(di��o)�ط����c��ˇ�O(sh��)Ӌ(j��)200
7.3 �����價�ˇ��(du��)��˥�pƬ�M���Y(ji��)��(g��u)�c��W(xu��)����Ӱ�203
7.3.1 ��˥�pƬ���^��203
7.3.2 ��ˇ����(sh��)��(du��)僌��^�Y(ji��)��(g��u)Ӱ�203
7.3.3 ��ˇ����(sh��)��(du��)Al��Cu/Cr��Ĥ��˥�pƬ����Ӱ�213
7.4 �x�Ӵſ؞R�乤ˇ��(du��)NiĤ�^�Y(ji��)��(g��u)�c��W(xu��)����Ӱ�216
7.4.1 �R�书�ʌ�(du��)NiĤ�^��òӰ�216
7.4.2 �R��≺��(du��)NiĤ���e���ʺ;����ߴ�Ӱ�219
7.4.3 �R��r(sh��)�g��(du��)NiĤ������ò��Ĥ�ӳɷ�Ӱ�222
7.4.4 ��ˇ����(sh��)��(du��)Ni/SiO2��˥�pƬ��˥�p����Ӱ�223
7.5 ���W(xu��)�Ni-P/SiO2��˥�pƬ���Է���226
7.5.1 ����懝�Ȍ�(du��)Ni-P/SiO2��˥�pƬ�����c�M��Ԫ��Ӱ�226
7.5.2 ��ˇ����(sh��)��(du��)Ni-PĤ�^��òӰ�228
7.5.3 ��ˇ����(sh��)��(du��)Ni-PĤ����Ӱ�230
7.6 �x�Ӵſ؞R��ͻ��W(xu��)��Ƃ�Ni/SiO2��˥�pƬ���Ա��^231
7.6.1 ���^���^231
7.6.2 NiĤ�Y(ji��)����B(t��i)���^232
7.6.3 NiĤ������ò���^233
7.6.4 NiĤ�c���w�Y(ji��)����r����Ħ�����ܱ��^233
7.7 ����SRIM�x�Ӵſ؞R���^(gu��)��ģ�M234
7.7.1 Ar+�R��Ni��3D���gģ�ͽ���235
7.7.2 �R��Ni���^(gu��)����Ar+�����pʧ235
7.7.3 �R��Ni���^(gu��)����Ar+�\(y��n)��(d��ng)܉�E236
7.7.4 ��ͬ�����R���Ar+����λ�÷ֲ�237
�����īI(xi��n)239
�����(f��)�ϱ�Ĥ�O(sh��)Ӌ(j��)���Ƃ��c�{(di��o)�� ��(ji��)�x
��1�� �w Փ 1.1 ��Ĥ���϶��x���������|(zh��)�c�Y(ji��)��(g��u) 1.1.1 ��Ĥ���϶��x ��(d��ng)ij�N���w��Һ�w��һ�S���Գ߶��h(yu��n)С����ɂ�(g��)����߶ȕr(sh��)�����@�N���w��Һ�w�Q��Ĥ��һ�㰴Ĥ����֞�ɴ��Ĥ�����1��m�Q���Ĥ��Ĥ��С��1��m�Q�鱡Ĥ�����_(d��)�͵���2013������Ĥ��һ�N���|(zh��)�ΑB(t��i)���c�����ΑB(t��i)�����|(zh��)��ͬ����Ĥ���Ͽ����džξ��w���ྦྷ�w��Ǿ��w������ij�N�Ƃ乤ˇ�����w��Ĥ������Ƕ����w���w��������(du��)���w���w�����ﻯ���Ը��ԣ����ɲ�ͬ�M�����ɷ������༰����Y(ji��)��(g��u)�ı�Ĥ�Q�������(f��)�ϱ�Ĥ��ͻ��������(f��)�ϱ�Ĥ�������Եı�Ĥ�Q������(f��)�ϱ�Ĥ�� 1.1.2 ��Ĥ�����������|(zh��) ͬ���w�����������Ĥ���Ϻܱ����ɮa(ch��n)�����ӳߴ�Ч��(y��ng)������Ĥ���ϵ��������|(zh��)��(hu��)�ܵ���Ĥ��ȵ�Ӱ�����Ĥ���ϱȱ���e�������зdz��@���ı���Ч��(y��ng)���������������B(t��i)������ɢ��ͱ������ȣ���Ĥ�к����^��ı��澧���ȱ�ݑB(t��i)����ˌ�(du��)���ݔ�\(y��n)�������^��Ӱ푣���־�A��2006���� 1. ���ӳߴ�Ч��(y��ng) ��(d��ng)��Ĥ���Ϻ�Ƚ����c�d���ӵ²��_�Ⲩ�L(zh��ng)����r(sh��)����ֱ������d�����ܼ�(j��)��(hu��)�l(f��)���������M(f��i)���ܼ�(j��)����������ܼ�(j��)�ɜ�(zh��n)�B�m(x��)׃?y��u)��xɢ����϶׃�����ˬF(xi��n)��Q�����ӳߴ�Ч��(y��ng)���R������2008�������ӳߴ�Ч��(y��ng)�DZ�Ĥ���ϵĹ�����������(d��ng)����ܼ�(j��)׃�����ڟ�����������늴���׃���r(sh��)����Ĥ���ϵĴš�����������늼�����(d��o)�����c���y(t��ng)���^���Դ������@��� 2. ��Ч��(y��ng) �K�����ͨ�����ɳߴ��0.01��100��m�ķ��w�Ƃ�����S���w�Y(ji��)��(g��u)���������Πһ����Ҏ(gu��)�t������(gu��)Ȼ�ȣ�2004������Ĥ���τt��1����ԭ�ӻ������u���������ò�ͬ��Ĥ�Ƃ乤ˇ�܉��Ƃ���K������Ƃ乤ˇ���ܵõ���������ϡ���Ĥ���ϵĎ�Ч��(y��ng)��ָ��(d��ng)��Ĥ�Ķ��S�γߴ�l(f��)��С��׃�r(sh��)���a(ch��n)���ĸ��NӰ푌��ʎ�ָ��(sh��)׃��������Ĥ���Ϻ��^���ܾ��׃��Ч��(y��ng)�����ϱ�Ĥ�����ڽM�����ɷ����Y(ji��)��(g��u)���c�K������кܴ��e�����ώ�Ч��(y��ng)��Ӱ�����Ĥ���ϵ������c�K����������@�IJ�ͬ�������W(xu��)�������d����ݔ�\(y��n)�C(j��)��(g��u)����������(d��o)���������Լ���W(xu��)���Ե��� 3. ����Ч��(y��ng) ��������ָ���|(zh��)��������(du��)�����|(zh��)��(n��i)�����������������������ϱ����^(gu��)���Ќ�(du��)�����g���W(xu��)�I�Ɖĵ�һ�N���������ԭ�ӡ��I���ҿգ������I��ʹ�ñ����|(zh��)�c(di��n)���w��(n��i)�|(zh��)�c(di��n)�����~��Ą�(sh��)����������Դ������б���Ч��(y��ng)�����ڱ�Ĥ������ӄ�(sh��)��(ch��ng)�c���S���w��(n��i)����ȫ��ͬ����ӑB(t��i)Ҳ������������Ĥ���ϱȱ���e���������ܼ�(j��)��(du��)��Ĥ��(n��i)�����ݔ�\(y��n)��r�кܴ��Ӱ��������nj�(du��)��Ĥ�댧(d��o)�w����늌�(d��o)�͈�(ch��ng)Ч��(y��ng)���a(ch��n)���ܴ�Ӱ����M(j��n)��Ӱ푰댧(d��o)�w�����c�����ĺ��^������ 4. �ǟ����W(xu��)ƽ���^(gu��)�� ���������x�Ӵſ؞R�䡢�x��ע������������e��physical vapor deposition��PVD�����g(sh��)��Ҫ�����|(zh��)�⻯���E�䣬�ſ��Ƶ������(f��)�ϱ�Ĥ�����^(gu��)��һ��Ҫ�ڷǟ����W(xu��)ƽ���B(t��i)��(sh��)�F(xi��n)����˿��Ƶ��ڟ����W(xu��)ƽ��l���²����ڵ����|(zh��)�����÷ǟ����W(xu��)ƽ���B(t��i)�Ƃ䱡Ĥ�ă�(y��u)��(sh��)֮һ�����γɷǾ��B(t��i)�Y(ji��)��(g��u)�����������Ƃ䳬��Ĥ�r(sh��)�����γɍu����w�S��Y(ji��)��(g��u)�����ԝM�������I(l��ng)�������� 5. ��Ĥ���w���w����𤸽��������������(n��i)��(y��ng)�� ������֪�����w���w�c��Ĥ�g�������N������ʽ���������Y(ji��)���������W(xu��)����(y��ng)����������(r��n)���ͣ���˹��w���w�c��Ĥ�g����������������F(xi��n)����w���w�c��Ĥ�g����𤸽��������������(n��i)��(y��ng)��������Ĥ�������ڹ��w���w�ϲ��ܵ��Ƽs������(d��o)�±�Ĥ��(n��i)���a(ch��n)��ij�N��(y��ng)׃����Ĥ���w���w�g��𤸽��������������(n��i)��(y��ng)�������@�N��(y��ng)׃����ģ����ڱ�Ĥ���w���w��(n��i)�����^���^�M���l(f��)���������w�e׃�����a(ch��n)��𤸽��������������(n��i)��(y��ng)�����������̓�(n��i)��(y��ng)���DZ�Ĥ�O����Ҫ�Ĺ���������һ����w���w�ͱ�Ĥ���ڲ�ͬ�N���|(zh��)�������F(xi��n)�]�Č�(du��)���ǃ����g�ı���ͽ���������֮�g����ñ��F(xi��n)�鸽��������������һ�N����������Ĥ���Ѓ��(n��i)��(y��ng)�������Б�(y��ng)���ͷǹ��Б�(y��ng)�������Б�(y��ng)���Įa(ch��n)��ԭ���DZ�Ĥ�д��ڵ�ȱ������λ�e(cu��)�����ǹ��Б�(y��ng)���Įa(ch��n)��ԭ����Ҫ�DZ�Ĥ��(du��)���w���w�ĸ���������?y��n)鱡Ĥ���w���w���ڲ�ͬ�N���|(zh��)������������ͬ�ľ���Ûϵ��(sh��)�;���ʧ���������܉�ё�(y��ng)�����M(j��n)��Ĥ�������ڱ�Ĥ�c���w���w�l(f��)�����W(xu��)����(y��ng)�r(sh��)���ڱ�Ĥ���w���w�g���ɵ��»�����ͬ��Ĥ�o�ܽY(ji��)����ֻҪ�����p����ʧ��͕�(hu��)����(y��ng)�����뱡Ĥ�� 6. �����Y(ji��)��(g��u)�ͷ����뻯�W(xu��)Ӌ(j��)�������� ��Ĥ�Ƃ䷽�������ڷ�ƽ���B(t��i)����ɵ����Y(ji��)����(d��o)�±�Ĥ����Y(ji��)��(g��u)��ͬ�N���|(zh��)���D���^����ͨ�����c���D��һ�µIJ��ϽY(ji��)��(g��u)�Q�鮐���Y(ji��)��(g��u)�������Y(ji��)��(g��u)����һ�N����(w��n)�B(t��i)�Y(ji��)��(g��u)�����w��Ĥ��������^���Ԍ��俴�ɷ�(w��n)�B(t��i)�Y(ji��)��(g��u)��ͨ�^(gu��)�ӟ��˻���L(zh��ng)�r(sh��)�g�ķ��Õ�(hu��)����ʹ��׃?y��u)鷀(w��n)����B(t��i)�� 7. �@�ö���Ĥ ����Ĥ�nj��ɷN��ɷN���ϲ����Ⱥ��Ϻ��e��ͬһ��(g��)���w�����ַQ��(f��)��Ĥ����(f��)��Ĥ�����κβ����g�ĽY(ji��)����������������僽���Ĥ���ڽ�����僲���Ĥ�� 1.1.3 ��Ĥ���ϽY(ji��)��(g��u) ��Ĥ���ϴ������N�Y(ji��)��(g��u)���M���Y(ji��)��(g��u)����Ĥ���w�Y(ji��)��(g��u)������Y(ji��)��(g��u)�� 1. �M���Y(ji��)��(g��u) ��Ĥ�Y(ji��)���ΑB(t��i)��ҕ����M���Y(ji��)��(g��u)�����ķN���o(w��)���νY(ji��)��(g��u)���ξ��Y(ji��)��(g��u)���ྦྷ�Y(ji��)��(g��u)���w�S�Y(ji��)��(g��u)�� ��(d��ng)��Ĥ�Y(ji��)��(g��u)��ԭ�ӵĿ��g���Ќ���һ�N�L(zh��ng)�̟o(w��)�����̳�����Ġ�B(t��i)�r(sh��)����M���Y(ji��)��(g��u)���ڟo(w��)���νY(ji��)��(g��u)���γɟo(w��)���νY(ji��)��(g��u)��Ĥ�Ĺ�ˇ�P(gu��n)�I�ǽ�������ԭ�ӱ���U(ku��)ɢ��������(j��ng)��ʹ�õķ����н��ͻ��w�ض������뷴��(y��ng)���w�����s�������|(zh��)�ȡ����w���ϜضȌ�(du��)�γɟo(w��)���νY(ji��)��(g��u)��ĤӰ��^��(d��ng)���w���Ϝض����ߕr(sh��)������ԭ�ӻ����ӫ@�õĄ�(d��ng)��׃���״�Խ�����(sh��)���^(q��)����Ĥ�Y(ji��)�������ұ�Ĥ��(n��i)��ȱ�ݕ�(hu��)�p�٣���(n��i)��(y��ng)��׃������(d��ng)���w���ϜضȽ��͕r(sh��)������ԭ�ӻ����ӫ@�õĄ�(d��ng)��׃С�������״�Խ�����(sh��)���^(q��)�����γɟo(w��)���νY(ji��)��(g��u)��Ĥ�� ͨ�����ξ��Y(ji��)��(g��u)��Ĥ��ȫ��ԭ�ӻ���ӳ�Ҏ(gu��)�t�����������������L(zh��ng)��ˇ�Ƃ�����������������L(zh��ng)��ˇ�Ƃ�ξ��Y(ji��)��(g��u)��Ĥ**�ėl�����£�����ԭ�ӻ����ӑ�(y��ng)��(d��ng)���иߵı���U(ku��)ɢ���ʣ����w�c��Ĥ�Y(ji��)�������Ժ������w����⻬�����������W(xu��)��(w��n)���Ժá�������x����m���������L(zh��ng)�ضȺͳ��e�����DZ������ͬ�r(sh��)����ʧ�䔵(sh��)mԽСԽ���� �ྦྷ�Y(ji��)��(g��u)��Ĥ��һ�N��ͬ���������S�C(j��)ȡ��ۼ��γɵı�Ĥ�����@�N�Y(ji��)��(g��u)��Ĥ������ͬ��������ȡ��ͬ���ʴ��ھ���������ھ������ʾ���̎ԭ�����в�Ҏ(gu��)�t��̎��һ�N�^(gu��)�ɠ�B(t��i)��ʹ�Y(ji��)��(g��u)�������ɴˮa(ch��n)����ͬ�ھ��������ԣ�����̎ԭ�������h(yu��n)���ھ�����(n��i)ԭ�����������ܸ��g������̎���c(di��n)���ھ��������ڿ�λ��λ�e(cu��)���I׃�εȽY(ji��)��(g��u)ȱ���� �w�S�Y(ji��)��(g��u)��Ĥ��һ�N���Г�(y��u)ȡ��ı�Ĥ��ͨ���ڟo(w��)���νY(ji��)��(g��u)���w�����γɵĶྦྷ��Ĥ�����Г�(y��u)ȡ������*�ͱ��������ܳ��F(xi��n)�����������Y(ji��)��(g��u)��111�����ϣ���������(y��u)ȡ����飨111������ 2. ��Ĥ���w�Y(ji��)��(g��u) ͨ����Ĥ���w�ľ�������Y(ji��)��(g��u)�cͬ�N�K���w��ͬ�����DZ�Ĥ�о�������(sh��)�����͉K���w��ͬ��ԭ���ж����ٱ�Ĥ�c���w����(sh��)��ƥ�����ڱ�Ĥ���ڃ�(n��i)��(y��ng)���ͱ��揈���� 3. ����Y(ji��)��(g��u) ���e��Ĥ�r(sh��)�����ڼӹ�����Ӱ�����Ĥ������y�����ý^��(du��)ƽ��������һ���ֲڶȣ��䌦(du��)��Ĥ��W(xu��)�������^��Ӱ푡���Ĥ����Y(ji��)��(g��u)�c���w��Ĥ�����������P(gu��n)����(d��ng)���w�ضȺ���ն��^�͕r(sh��)����Ĥ�׳��F(xi��n)��Y(ji��)��(g��u)�� 1.2 ��Ĥ�Ƃ似�g(sh��)���� ��Ĥ�Ƃ似�g(sh��)�л��W(xu��)�Ƃ似�g(sh��)�������Ƃ似�g(sh��)�ɷN�����W(xu��)�Ƃ似�g(sh��)�������W(xu��)������e��chemical vapor deposition��CVD�����g(sh��)���僼��g(sh��)�����W(xu��)僼��g(sh��)���������Ƃ似�g(sh��)���������僼��g(sh��)���x�Ӵſ؞R�似�g(sh��)���x��ע�뼼�g(sh��)�ȡ� ��Ĥ���W(xu��)�Ƃ似�g(sh��)��Ҫһ���Ļ��W(xu��)����(y��ng)���@�N���W(xu��)����(y��ng)�����ɟ�Ч��(y��ng)��������x����x������CVD�͟����L(zh��ng)�^(gu��)���������W(xu��)����(y��ng)����Ч��(y��ng)��(l��i)��(sh��)�F(xi��n)����(du��)�ڷ���(y��ng)�����������x�����һ�������������ڻ��W(xu��)����(y��ng)��Ҫ���^�ߜض����M(j��n)�������w��̎�h(hu��n)���ض��^�ߣ��@��ͬ�r(sh��)���ƻ��w���ϵ��xȡ���cPVD���g(sh��)������M��CVD���g(sh��)�г��e�^(gu��)�̿����^���(f��)�s��Ҳ�^�����y��������ʹ���O(sh��)�了(ji��n)�����r(ji��)���^�ͣ�ֻ�nj�(du��)�h(hu��n)������Ⱦ�� ��Ĥ�����Ƃ似�g(sh��)�ַQ��Gɫ�Ĥ���g(sh��)���Gɫ�Ĥ���g(sh��)��2007���Ї�(gu��)�m�ݽ�ͨ��W(xu��)�Ƽ��ˆT��������ı��湤���I(l��ng)��ľGɫ�����¼��g(sh��)����������2008����ԓ���g(sh��)��Ҫ��������x���Ĥ���x�Ӵſ؞R�䡢������x��ע�����x���坍��һϵ�І��(xi��ng)���g(sh��)�����(xi��ng)��(f��)�ϼ��g(sh��)�ļ�����ԓ���g(sh��)�������a(ch��n)�^(gu��)�̼��Ƴ��Įa(ch��n)Ʒ��(du��)�h(hu��n)���Ѻá��o(w��)��Ⱦ���ŷŵ�ͻ�����c(di��n)���ܺܺõؽ�Q�l(f��)չ�c�h(hu��n)����ì�������y(t��ng)�Ĥ���g(sh��)������僻W(xu��)僵ķ����������Ǵ�ߴ繤�������ǂ��y(t��ng)���僻W(xu��)價�ˇʹ�Ï�(qi��ng)������(qi��ng)�A���軯�����t�����к����W(xu��)���|(zh��)���Uˮ�ɷ֘O���(f��)�s����(du��)�h(hu��n)�����ИO���Σ����һֱ�ǹ��I(y��)�Uˮ̎����һ���y�}���Gɫ�Ĥ���g(sh��)��ˇ���̺�(ji��n)��������Ҫ�����~���t��懵��ؽ�������ʹ�Ï�(qi��ng)�ᡢ��(qi��ng)�A���軯���Լ��t�����к����|(zh��)����Ⱦ��������ؽ��١��軯��ŷ���������ˮ�����^�ͣ�ֻ������ѭ�h(hu��n)��sˮ��ͻ�����c(di��n)���Ĥ���a(ch��n)�^(gu��)�̼���Ʈa(ch��n)Ʒ��(du��)�h(hu��n)���Ѻá��o(w��)��Ⱦ���ŷ������ҿ������Ʈa(ch��n)Ʒ�|(zh��)���������ĤƷ�N����(sh��)�F(xi��n)�������p������Ч���^֮�^(gu��)ȥ�Ĥ������僺ͻ��W(xu��)����Gɫ�Ĥ���g(sh��)���Пo(w��)���ȔM�ă�(y��u)��(sh��)����1-1��(du��)�N�Ĥ���g(sh��)�M(j��n)�б��^�� ��1-1 �N�Ĥ���g(sh��)���^ ����(du��)��CVD���g(sh��)�ľ�������PVD���g(sh��)�t�@ʾ����(d��)�еă�(y��u)Խ�ԣ�����(du��)���e���Ϻͻ��w���Ͼ��](m��i)��������PVD�^(gu��)�̿ɸ���������(g��)�A�Σ�Դ�������l(f��)�⻯��?y��n)R��l(f��)������Ӟ�**�A��������ݔ�\(y��n)�w�Ƶ����w��ڶ��A���������ڻ��w�����Y(ji��)�ɺˡ��������L(zh��ng)�����ɪ�(d��)��С�u�����ɪ�(d��)��С�u�B�ɾW(w��ng)�j(lu��)���W(w��ng)�j(lu��)�ѷe�γɱ�Ĥ������A����PVD���g(sh��)�cCVD���g(sh��)�������Ҫ�^(q��)�e����PVD���g(sh��)���������������l(f��)���R�������w��늣��@�ó��e����������Ҫ��������O(sh��)���(f��)�s�����������PVD���g(sh��)���ښ��w��늵��x���w���M(j��n)����������������e�ضȵ�����������׃�κ�׃�����m�õĻ��w���Ϸ����V����CVD���g(sh��)��PVD���g(sh��)���^���1-2��ʾ�� ��1-2 CVD���g(sh��)��PVD���g(sh��)���^ 1.2.1 CVD���g(sh��) CVD���g(sh��)��20���o(j��)60������l(f��)չ����(l��i)һ�N��Ĥ�Ƃ似�g(sh��)���@�N�����Ѻ��И�(g��u)�ɱ�ĤԪ�ص�һ�N��N������Ć��|(zh��)���w���o���w�����üӟᡢ���x���w�����⾀�����������Դ�������������û��ڻ��w���滯�W(xu��)����(y��ng)���ɱ�Ĥ���n�ߘs��2008���������@һ���g(sh��)�����ڸ��N���w���Ƃ�Ԫ�ؼ������ﱡĤ��CVD�Ļ���ԭ�������ڻ��W(xu��)����(y��ng)�Ļ��A(ch��)������(x��)�T�ϰѷ���(y��ng)���ǚ��w��������֮һ�ǹ��w�ķ���(y��ng)�Q��CVD����(y��ng)����Ҋ(ji��n)CVD����(y��ng)��ʽ��1-1����ʽ��1-7����ʾ����������2018���� 1. ��ֽⷴ��(y��ng) �����Ƃ�SiĤ�ķ�������һ���ض���ʹSiH4�ֽ������W(xu��)����(y��ng)ʽ���£� SiH4��g����Si��s����+2H2��g������1-1�� 2. ߀ԭ����(y��ng) ���͵�������H2߀ԭ�u����SiCl4�� SiCl4��g��+2H2��g����Si��s����+4HCl��g������1-2�� 3. ��������(y��ng) SiO2ͨ����SiH4������(l��i)�Ƃ䣬SiH4�cO2��ϲ��ö��Ԛ��w�ڳ�����ϡ����@һ��������(y��ng)���£� SiH4��g��+O2��g����SiO2��s����+2H2��g������1-3�� ����(y��ng)�������^�͜ضȣ�450�棩���M(j��n)���� 4. ��������(y��ng) Si3N4��BN��CVD�Ƃ䵪����ăɂ�(g��)��Ҫ�a(ch��n)���������Ƃ�Si3N4�ĵ�������(y��ng)���£� 3SiH4��g��+4NH3��g����Si3N4��s����+12H2��g������1-4�� ���з���(y��ng)�ɫ@�ø߳��e�ʣ� 3SiH2Cl2��g��+4NH3��g����Si3N4��s����+6HCl��g����+6H2��g������1-5�� BCl3��g��+NH3��g����BN��s����+3HCl��g������1-6�� 5. �������Ƃ� ���ЙC(j��)���ٻ�������Գ��e�õ���-���廯��� Ga��CH3��3��g��+AsH3��g����GaAs��s����+3CH4��g������1-7�� 1.2.2
- >
�ϵ�֮��:���˵��挍(sh��)�ó�
- >
�S�@ʳ��
- >
�ͽ���˼�
- >
�Ї�(gu��)���ڞ��K��߅���^(q��):�vʷ�c��W(xu��)����
- >
��t�����R��F(tu��n)-��t�����︥-����
- >
�����b�L�������o���ӵ��Ї�(gu��)��Ԓ
- >
���������~����Փ/���С��
- >
����?gu��)����x��Ѹ:�����¾�
-
�¾���(sh��)�û����a(ch��n)Ʒ�����z𤄩:�䷽.��ˇ���O(sh��)��/�¾���(sh��)�û����a(ch��n)Ʒ����
��ꡢ���w����־�� ����¥31.2¥48 -
����մɲ����c����(�ߵȌW(xu��)У������I(y��)�̌W(xu��)ָ��(d��o)ί�T��(hu��)Ҏ(gu��)���̲�)
�Ǽ҄� ���� ���� ������¥45.2¥59