�x���¹�������ֱ�ӳ���
�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո | ע��

���] �����·���칤ˇ

���ߣ��OƼ
�����磺��ӹ��I(y��)����������r�g��2014-09-01
�_���� 16�_ 퓔�(sh��)�� 280
���Σ��̲��N����
�� �D �r:¥20.4(5.2��) ���r  ¥39.6 ��䛺�ɿ������T�r
����ُ��܇ �ղ�
�_������ ȫ�����]
?�½������س���
������Ǖ�����>
�I�^����Ʒ����߀�I��

�����·���칤ˇ ���(qu��n)��Ϣ

�����·���칤ˇ ������ɫ

�������ս������µ�š�I(y��)�����̌W(xu��)�ĸᆱ��������(j��)����ИI(y��)��λ�������󣬽Y(ji��)��ʾ�����I(y��)���O(sh��)�c�n�̸ĸ�ɹ��M(j��n)�о�����ȫ���ļ����·�����칤ˇ���̳��l(f��)��ϵ�y(t��ng)��B�����·���칤ˇ��ԭ������ˇ���g(sh��)�Ͳ�����������ȫ������4��ģ�K11�£���1��ģ�K����A(ch��)ģ�K����B�����·��ˇ�l(f��)չ�Ġ�r�������·�Ĺ�ˇ��������2��ģ�K�����ģ�K�����c��B��Ĥ�Ƃ�����������g�����s��ƽ̹��5����헹�ˇ��ԭ�������g(sh��)���O(sh��)��������������(sh��)�yԇ����3��ģ�K����չģ�K������(j��)�a(ch��n)�I(y��)朠�r��B�����Ƃ������b�yԇ���������g(sh��)����4��ģ�K������ģ�K��ͨ�^cmos���������������̌���헹�ˇ�M(j��n)�м��ɑ�(y��ng)���� ����ȫ������(j��)�a(ch��n)�I(y��)朽Y(ji��)��(g��u)����I(y��)��λ�O(sh��)�Ø�(g��u)���n�̃�(n��i)����ע���c�¹�ˇ���¼��g(sh��)�ĽY(ji��)�ϣ��c���a(ch��n)���`�ĽY(ji��)�����Լ��cš�I(y��)���ܘ�(bi��o)��(zh��n)�ĽY(ji��)�ϡ� ���������������M����ӽ̌W(xu��)�n������(x��)�}���������̌W(xu��)ҕ�l�;�Ʒ�n�W(w��ng)վ��ԔҊǰ����

�����·���칤ˇ ��(n��i)�ݺ���

�������ս������µ�š�I(y��)�����̌W(xu��)�ĸᆱ��������(j��)����ИI(y��)��λ�����������Y(ji��)��ʾ�����I(y��)���O(sh��)�c�n�̸ĸ�ɹ��M(j��n)�о�����ȫ���ļ����·�����칤ˇ���̳��l(f��)��ϵ�y(t��ng)��B�����·���칤ˇ��ԭ������ˇ���g(sh��)�Ͳ��������ȡ�ȫ������4��ģ�K11������1��ģ�K����A(ch��)ģ�K����B�����·��ˇ�l(f��)չ�Ġ�r�������·�Ĺ�ˇ��������2��ģ�K�����ģ�K�����c��B��Ĥ�Ƃ�����̡����g�����s��ƽ̹��5����헹�ˇ��ԭ�������g(sh��)���O(sh��)��������������(sh��)�yԇ����3��ģ�K����չģ�K������(j��)�a(ch��n)�I(y��)朠�r��B�����Ƃ������b�yԇ���������g(sh��)����4��ģ�K������ģ�K��ͨ�^CMOS���������������̌���헹�ˇ�M(j��n)�м��ɑ�(y��ng)���� ȫ������(j��)�a(ch��n)�I(y��)朽Y(ji��)��(g��u)����I(y��)��λ�O(sh��)�Ø�(g��u)���n�̃�(n��i)�ݣ�ע���c�¹�ˇ���¼��g(sh��)�ĽY(ji��)�ϣ��c���a(ch��n)���`�ĽY(ji��)�����Լ��cš�I(y��)���ܘ�(bi��o)��(zh��n)�ĽY(ji��)���� �����������M����ӽ̌W(xu��)�n������(x��)�}���������̌W(xu��)ҕ�l�;�Ʒ�n�W(w��ng)վ��ԔҊǰ����

�����·���칤ˇ Ŀ�

���A(ch��)ģ�K
��1�� �����·���칤ˇ�İl(f��)չ�c��ˇ����
����Ҫ�c
1.1 �����·���칤ˇ�İl(f��)չ�vʷ
1.1.1 ���������İl(f��)չ
1.1.2 �����·�İl(f��)չ
1.2 ���������ͼ����·���칤ˇ����
1.2.1 ������ƽ�澧�w�ܵĹ�ˇ����
1.2.2 �p�O�ͼ����·�Ĺ�ˇ����
1.2.3 �����·��nmos���w�ܵĹ�ˇ����
1.3 ���n�̵ă�(n��i)�ݿ��
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}1
����ģ�K
��2�� ��Ĥ�Ƃ�
����Ҫ�c
2.1 �댧(d��o)�w���a(ch��n)�г��õı�Ĥ
2.1.1 �댧(d��o)�w���a(ch��n)�г��õĽ^�����|(zh��)Ĥ
2.1.2 �댧(d��o)�w���a(ch��n)�г��õİ댧(d��o)�wĤ
2.1.3 �댧(d��o)�w���a(ch��n)�г��õČ�(d��o)�Ĥ
2.2 ��Ĥ���L����sio2�ğ�����
2.2.1 ������������C(j��)��
2.2.2 �����ğ����������Ͳ���Ҏ(gu��)��
2.2.3 ��Ҏ(gu��)�������O(sh��)��
2.2.4 �����������L
2.2.5 ��-��������ϵ�y(t��ng)늺�
2.2.6 ���������|(zh��)���z�y
2.3 ���W(xu��)������e��cvd����Ĥ�Ƃ�
2.3.1 ���W(xu��)������e�Ļ�������
2.3.2 �׷N��Ҫ��Ĥ�Ļ��W(xu��)������e
2.3.3 ���Ӽ��g(sh��)
2.4 ���������e��pvd����Ĥ�Ƃ�
2.4.1 ���l(f��)
2.4.2 �R��
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}2
��3�� ���
����Ҫ�c
3.1 ��̹�ˇ�Ļ���ԭ��
3.2 ����z
3.2.1 ؓ(f��)�Թ���z
3.2.2 ���Թ���z
3.2.3 ���z��ؓ(f��)�z�����ܱ��^
3.2.4 ����z����Ҫ����ָ��(bi��o)���y������
3.3 ��̹�ˇ
3.3.1 �A(y��)̎����Óˮ�濾��hmds��
3.3.2 ���D(zhu��n)Ϳ�z
3.3.3 ܛ��
3.3.4 ����(zh��n)���ع�
3.3.5 �ع��ĺ決
3.3.6 �@Ӱ
3.3.7 ��Ĥ�決
3.3.8 �@Ӱ�z�鼰�����ų�
3.4 ���M(j��n)��̹�ˇ��B
3.4.1 �O���⾀��euv����̼��g(sh��)
3.4.2 ��������
3.4.3 x�侀���
3.4.4 �ֱ�������(qi��ng)���g(sh��)
3.4.5 ����ʽ��̼��g(sh��)
3.4.6 �{�׉�ӡ���g(sh��)
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}3
��4�� ���g
����Ҫ�c
4.1 ���g�Ļ�������
4.1.1 ���g��Ŀ��
4.1.2 ���g����Ҫ����(sh��)
4.1.3 ���g���|(zh��)��Ҫ��
4.1.4 ���g�ķN�
4.2 �񷨿��g
4.2.1 �񷨿��g�Ļ�������
4.2.2 �׷N��Ĥ�ĝ񷨿��gԭ��������
4.3 �ɷ����g
4.3.1 �ɷ����g�Ļ�������
4.3.2 �׷N��Ĥ�ĸɷ����gԭ��������
4.3.3 �ɷ����g�ĽK�c�z�y
4.4 ȥ�z
4.4.1 �܄�ȥ�z
4.4.2 ������ȥ�z
4.4.3 ���x���wȥ�z
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}4
��5�� ���s
����Ҫ�c
5.1 ��U(ku��)ɢ�Ļ���ԭ��
5.1.1 �U(ku��)ɢ�C(j��)��(g��u)
5.1.2 �U(ku��)ɢҎ(gu��)��
5.1.3 Ӱ��s�|(zh��)�U(ku��)ɢ����������
5.2 ��U(ku��)ɢ�ķ���
5.2.1 Һ�B(t��i)Դ�U(ku��)ɢ
5.2.2 �̑B(t��i)Դ�U(ku��)ɢ
5.2.3 ���s�������-�̔U(ku��)ɢ
5.2.4 ���s���zԴ�U(ku��)ɢ
5.2.5 ��U(ku��)ɢ
5.3 �U(ku��)ɢ�ӵ��|(zh��)������(sh��)�c�z�y
5.3.1 �Y(ji��)��
5.3.2 �������
5.4 �x��ע��Ļ���ԭ��
5.4.1 �x��ע��Ķ��x�����c
5.4.2 �x��ע���lss��Փ
5.5 �x��ע��C(j��)�ĽM�ɼ�����ԭ��
5.5.1 �x��Դ�����O
5.5.2 �ŷ�����
5.5.3 ���ٹ�
5.5.4 ������������
5.5.5 ����ϵ�y(t��ng)
5.5.6 ����
5.6 �x��ע��ēp���c�˻�
5.6.1 ע��p��
5.6.2 �˻�ķ���
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}5
��6�� ƽ̹��
����Ҫ�c
6.1 ƽ̹���Ļ���ԭ��
6.2 ���y(t��ng)��ƽ̹������
6.2.1 ����
6.2.2 �ߜػ���
6.2.3 ��Ϳ������
6.3 ���M(j��n)��ƽ̹�����g(sh��)cmp
6.3.1 cmp��ԭ��
6.3.2 cmp�����c
6.3.3 cmp��Ҫ��ˇ����(sh��)
6.3.4 cmp�O(sh��)��
6.3.5 cmp�|(zh��)����Ӱ�����
6.4 cmpƽ̹���đ�(y��ng)��
6.4.1 ������cmp
6.4.2 �ྦྷ��cmp
6.4.3 ����cmp
6.4.4 cmp���g(sh��)�İl(f��)չ
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}6
��չģ�K
��7�� ���r���Ƃ�
����Ҫ�c
7.1 ��ξ����Ƃ�
7.1.1 �댧(d��o)�w���ϵ����|(zh��)�c�N�
7.1.2 �ྦྷ����Ƃ�
7.1.3 �ξ�����Ƃ�
7.2 �����|(zh��)���z�
7.2.1 �������ܵęz�
7.2.2 늌W(xu��)����(sh��)�ęz�
7.2.3 ���wȱ�ݵ��^��͙z�y
7.3 ��AƬ���Ƃ�
7.3.1 ����̎��
7.3.2 ����(zh��n)����ĥ
7.3.3 ����
7.3.4 ��Ƭ
7.3.5 ĥƬ
7.3.6 ����
7.3.7 ���g
7.3.8 ����
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}7
��8�� �M�b��ˇ
����Ҫ�c
8.1 оƬ�M�b��ˇ����
8.1.1 �M�b��ˇ����
8.1.2 ����p��
8.1.3 ��Ƭ
8.1.4 �NƬ
8.1.5 �I��
8.1.6 �ܷ�
8.1.7 ȥ�w߅ë��
8.1.8 ��
8.1.9 ����
8.1.10 ��a
8.1.11 �yԇ�Ͱ��b
8.2 �����I�ϼ��g(sh��)
8.2.1 �����I�ϵ�Ҫ��
8.2.2 �����I�ϵķ��
8.2.3 �����I�Ϲ���
8.2.4 �����I�ϵĻ�����ʽ
8.2.5 �����I���O(sh��)�估��ˇ�^��
8.2.6 �����I�ϵĹ�ˇ����(sh��)
8.2.7 �����I���|(zh��)������
8.2.8 �����I�ϵĿɿ���
8.3 ���b���g(sh��)
8.3.1 ���b��Ҫ��
8.3.2 ���b�ķ��
8.3.3 ��Ҋ�ķ��b��ʽ
8.3.4 ���b���g(sh��)�İl(f��)չ
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}8
��9�� �������g(sh��)
����Ҫ�c
9.1 �������g(sh��)�ȼ�
9.1.1 ʲô�ǝ������g(sh��)
9.1.2 �������g(sh��)�ȼ���(bi��o)��(zh��n)
9.2 �����O(sh��)��
9.2.1 �^�V��
9.2.2 ����������
9.2.3 �����҃�(n��i)�ij��m�O(sh��)��
9.2.4 ���������_
9.3 ��ϴ���g(sh��)
9.3.1 ��Ƭ�����s�|(zh��)մ��
9.3.2 ��Ƭ������ϴ��Ҫ��
9.3.3 ���͵���ϴ���
9.3.4 ����ϴ
9.3.5 �ɷ���ϴ
9.3.6 ������ϴ���g(sh��)
9.3.7 ��Ƭ��ϴ����
9.4 ��ϴ���g(sh��)�ĸ��M(j��n)
9.4.1 sc-1Һ�ĸ��M(j��n)
9.4.2 dhf�ĸ��M(j��n)
9.4.3 acd��ϴ
9.4.4 ��ϵ�y(t��ng)��Һ
9.4.5 ��Ƭʽ̎��
9.4.6 �ֲ���ϴ
9.5 ��ˮ�Ƃ�
9.5.1 �x�ӽ��Qԭ���g(sh��)
9.5.2 ���B͸���g(sh��)
9.5.3 늝B�����g(sh��)
9.5.4 �ȥ�x�Ӽ��g(sh��)
9.5.5 ȥ�x��ˮ�Ƃ�����
9.5.6 �Ƃ�ȥ�x��ˮ��ע�����
�����Y(ji��)
˼���c��(x��)�}9
����ģ�K
��10�� cmos�����·���칤

չ�_ȫ��

�����·���칤ˇ ���ߺ���

�OƼ Ů�������ڣ��Tʿ�W(xu��)λ�����I(y��)�ږ|�ϴ�W(xu��)����cͨ�Ź��̌��I(y��)���I(y��)���F(xi��n)�ν��K��Ϣš�I(y��)���g(sh��)�W(xu��)Ժ���ϵ������΢��Ӽ��g(sh��)���I(y��)���^����΢��Ӽ��g(sh��)���I(y��)�̌W(xu��)�F(tu��n)�ؓ(f��)؟(z��)�ˣ��齭�Kʡ���{(l��n)��������Ǹɽ̎������Ρ��댧(d��o)�w���g(sh��)���s־��������΢�{��Ӽ��g(sh��)�����µ�š�����������Ӽ��g(sh��)���I(y��)�����n�̵Ľ̌W(xu��)�c�о����������ֺͅ��c��헽̌W(xu��)���ƌW(xu��)�о��Ŀ��

��Ʒ�uՓ(0�l)
���o�uՓ����
�������]
��݋���]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�